微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥,，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400,、（內(nèi)徑）200×1800,、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類(lèi)型：定制、饋通焊接波紋管/O形密封圈,、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開(kāi)始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、閘門(mén)上的壓差≤1000 mbar,、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,000次,、閥體溫度≤ 200 °,、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：材料：不銹鋼304,、A5083~A7075,、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：6 ~ 8 bar。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。微泰高壓閘閥的特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵,。專(zhuān)門(mén)用閘閥BUTTERFLY VALVE

微泰，高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。其特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵,。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng),、法蘭尺寸：1.5英寸~ 14英寸,、法蘭類(lèi)型：CF、連接方式：焊接波紋管、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開(kāi)始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar,、閘門(mén)的差動(dòng)壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：250,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。高壓閘閥AKT高壓閘閥,，屬于強(qiáng)制密封式閥門(mén),，所以在閥門(mén)關(guān)閉時(shí),，必須向閘板施加壓力,，以強(qiáng)制密封面不泄漏。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥蝶閥Butterfly Valve。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過(guò)閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程,。蝶閥通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶(hù)指定的值，保持一致的真空壓力?？梢栽诟哒婵窄h(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶(hù)指定的值,，通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，這里介紹一下閥門(mén)控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸,。1,，開(kāi)放/關(guān)閉速度LCD顯示；2,，當(dāng)閥門(mén)或泵錯(cuò)誤時(shí),，燈點(diǎn)亮：3，自動(dòng)關(guān)閉功能-防止泵跳閘中的逆流,；4,，有閥門(mén)開(kāi)關(guān)位置的信號(hào)輸出信號(hào)；5,，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進(jìn)行快速操作,；6，無(wú)噪音,，功耗低,；7，歷史管理-打開(kāi)/關(guān)閉/泵關(guān)閉等,；8,，UPS功能（1秒）,，微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，可替代HVA閘閥、VAT閘閥,。閘閥流動(dòng)阻力小,。閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的，介質(zhì)成直線流動(dòng),，流動(dòng)阻力小,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，氣動(dòng)多位置閘閥,，氣動(dòng)多定位閘閥,，多定位插板閥，Pneumatic Multi Position 其特點(diǎn)是1,，全開(kāi)和關(guān)閉位置使用帶有位置發(fā)射器的氣動(dòng)電磁閥進(jìn)行控制,；2，所有位置控制都由控制器進(jìn)行操作,。1)控制類(lèi)型-全開(kāi)：高速閘門(mén)全開(kāi)操作-全閉：高速閘門(mén)全閉操作-位置（POS.）控制：將閘門(mén)移動(dòng)到設(shè)定的位置值,；2)操作時(shí)間-完全打開(kāi)?完全關(guān)閉：<2秒（取決于速度控制器設(shè)置)-位置（POS。）控制： 0%?100%工作,，<MAX18秒（偏差： < ±0.5%）,。微泰氣動(dòng)多位置閘閥，氣動(dòng)多定位閘閥,，多定位插板閥,，Pneumatic Multi Position，有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。金屬材料高壓閘閥主要有：碳鋼閥門(mén),、合金鋼閥門(mén)、不銹鋼閥門(mén),、鑄鐵閥門(mén),、鈦合金閥門(mén),、銅合金閥門(mén)等。PVD閘閥角控制閥

真空閘閥是真空系統(tǒng)中用于控制氣體進(jìn)出真空室的機(jī)械裝置,。專(zhuān)門(mén)用閘閥BUTTERFLY VALVE

微泰控制系統(tǒng)閥門(mén)是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門(mén),。控制系統(tǒng)閥門(mén)起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開(kāi)啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門(mén)分為三類(lèi)：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥,、多定位閘閥,。控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,，而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作,。一、控制系統(tǒng)閘閥,?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動(dòng)方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶(hù)指定的值,，通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力。二,、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu)，通過(guò)閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程。蝶閥通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶(hù)指定的值,，保持一致的真空壓力,。三、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門(mén),。它在閥門(mén)的頂部有一個(gè)內(nèi)置控制器，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對(duì)泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。專(zhuān)門(mén)用閘閥BUTTERFLY VALVE