微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：首先,，它已向中國(guó)臺(tái)灣的 Micron,、UMC、AKT 等,，新加坡的 Micron,、Global Foundries，馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,，日本的 Micron,、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨，且品質(zhì)得到認(rèn)可,，同時(shí)完成了對(duì)半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證,。其次，該閘閥采用陶瓷球機(jī)構(gòu),，具有良好的抗沖擊和震動(dòng)性能,，保證可使用 25 萬(wàn)次，且檢修方便,，維護(hù)成本較低,。它無(wú) Particle 產(chǎn)生，采用陶瓷球不會(huì)有腐蝕和顆粒產(chǎn)生,。此外,，它還具有屏蔽保護(hù)功能，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm,，能有效防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性。其保護(hù)環(huán)設(shè)計(jì)也很獨(dú)特,，Protecrion Ring 通過(guò)流速上升設(shè)計(jì)防止粉末凝固,，并通過(guò)打磨（研磨）工藝防止粉末堆積。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥。該閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供,。閘閥形體簡(jiǎn)單,，結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度短，制造工藝性好,，適用范圍廣,。多位閘閥AKT

微泰主要產(chǎn)品有1、-手動(dòng)鎖定閥：操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門(mén)切斷現(xiàn)象的源頭：2,、特殊閥門(mén)：全金屬配件構(gòu)成,，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成；3,、三位閥：半開(kāi)功能的壓力控制閥,。氣動(dòng)閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬(wàn)次?響應(yīng)時(shí)間：0.2秒~3秒；手動(dòng)（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬(wàn)次,；專門(mén)用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬(wàn)次,，響應(yīng)時(shí)間：0.2秒客戶指定的法蘭，可安裝角閥,；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：20萬(wàn)次?響應(yīng)時(shí)間：0.2秒~3秒,；有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。手動(dòng)閘閥角控制閥閘閥高度大，啟閉時(shí)間長(zhǎng),。閘板的啟閉行程較大,，升降是通過(guò)螺桿進(jìn)行的。

微泰,，多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥。微泰多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥其特點(diǎn)是?操作模式：本地和遠(yuǎn)程?緊急情況：自動(dòng)關(guān)閉?慢速泵送功能。多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304， 機(jī)制 STS304,、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 4英寸~10英寸,、閘門(mén)密封 FKM(VITON)、開(kāi)/關(guān)振動(dòng) 無(wú)振動(dòng),、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec,、閘門(mén)壓差 ≤1.4 bar、分子流動(dòng)電導(dǎo)（ISO100）1891 l/s,、閥座 1X10-10 mbar?L/秒,、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar,、閘門(mén)上任一方向的壓差≤1.4 bar,、安裝位置：任意。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng)。采用L型輸送閥L-motion防止產(chǎn)生微粒（Particle),，無(wú)需從設(shè)備上拆卸閥門(mén),，即可更換閘門(mén)和O形圈。大量采用缸套運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌Liner (motion guide),，實(shí)現(xiàn)高精度,、高耐用性.微泰晶圓輸送閥L型輸送閥L-motion,Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。閘板有剛性閘板和彈性閘板,，根據(jù)閘板的不同,，閘閥分為剛性閘閥和彈性閘閥。

微泰半導(dǎo)體閘閥與其他類型閘閥相比,，具有以下一些優(yōu)勢(shì)：1. 高精度控制：能更精確地調(diào)節(jié)流體流量,。2. 適應(yīng)半導(dǎo)體環(huán)境：對(duì)溫度、真空等條件有更好的適應(yīng)性,。3. 低顆粒產(chǎn)生：減少對(duì)晶圓等的污染,。4. 長(zhǎng)壽命和可靠性：確保穩(wěn)定運(yùn)行，減少維護(hù)成本,。5. 多功能應(yīng)用：可適用于多種半導(dǎo)體工藝設(shè)備,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供,。真空閘閥廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)和工藝過(guò)程中，如半導(dǎo)體生產(chǎn),、電子設(shè)備制造,、科研實(shí)驗(yàn)、航空航天等領(lǐng)域。轉(zhuǎn)移閘閥英菲尼亞半導(dǎo)體

控制系統(tǒng)閘閥,?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動(dòng)方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制,。多位閘閥AKT

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：已向中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備，設(shè)備廠批量供貨,，已得到品質(zhì)認(rèn)可,，已完成對(duì)半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證。1,，采用陶瓷球機(jī)構(gòu),，抗沖擊和震動(dòng)，保證使用25萬(wàn)次,，檢修方便,，較低維護(hù)成本。2,，無(wú)Particle（顆粒）產(chǎn)生,，采用陶瓷球無(wú)腐蝕和顆粒產(chǎn)。3,，屏蔽保護(hù)：屏蔽式保護(hù)功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm，可防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性,。4，保護(hù)環(huán)：Protecrion Ring通過(guò)流速上升設(shè)計(jì)防止粉末凝固,，并通過(guò)打磨（研磨）工藝防止粉末堆積,。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶫VA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。多位閘閥AKT