微泰，蝶閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。可替代VAT閘閥,。微泰蝶閥其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設計? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護? 應用：半導體和工業(yè)過程的壓力控制,。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40、DN50,、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、閥門密封：FKM（VITON）、執(zhí)行器：步進電機,、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1200 mbar 、開啟壓差：≤ 30 mbar,、開啟壓差≤30mbar,、氦泄漏率1X10 -9Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：250,000次、閥體溫度≤ 150 °,、控制器≤ 35 °C、材料：閥體STS304/機制STS304,、安裝位置：任意,、接口：RS232、RS485,、Devicenet,、Profibus、EtherCat,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽＞_控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥,、多定位閘閥。HVA閘閥BUTTERFLY VALVE

微泰半導體閘閥的特點：已向中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備,，設備廠批量供貨,，已得到品質(zhì)認可，已完成對半導體Utility設備和批量生產(chǎn)設備的驗證,。1,，采用陶瓷球機構(gòu)，抗沖擊和震動,，保證使用25萬次,，檢修方便，較低維護成本,。2,，無Particle（顆粒）產(chǎn)生，采用陶瓷球無腐蝕和顆粒產(chǎn),。3,，屏蔽保護：屏蔽式保護功能，閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm,，可防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性。4,，保護環(huán)：Protecrion Ring通過流速上升設計防止粉末凝固,，并通過打磨（研磨）工藝防止粉末堆積。微泰半導體閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽６ㄖ崎l閥Micron閘閥的結(jié)構(gòu)比較簡單,，一般由閥體,、閥座、閥桿,、閘板、閥蓋,、密封圈幾部分組成,。

微泰，大閘閥,、大型閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰大閘閥,、大型閘閥其特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥,。大閘閥、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?,、 法蘭型：ISO、JIS,、ASA ,、饋通：Viton O-Rin、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應時間：可調(diào)節(jié)、工作壓力范圍：1×10-8 mbar to 1000 mbar ,、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 100,000次,、開啟時壓差 ≤ 30 mba、泄漏率 < 1×10 -9  mbar ?/sec,、閥體溫度≤ 150 °,、機構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：6~ 8 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。

微泰主要產(chǎn)品有1,、-手動鎖定閥：操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭：2、特殊閥門：全金屬配件構(gòu)成,，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成,；3、三位閥：半開功能的壓力控制閥,。氣動閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次?響應時間：0.2秒~3秒,；手動（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次；專門用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次,，響應時間：0.2秒客戶指定的法蘭,，可安裝角閥；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：20萬次?響應時間：0.2秒~3秒,；有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽ｉl閥體內(nèi)設一個與介質(zhì)流向成垂直方向的平面閘板,，靠這一閘板的升降來開啟或關(guān)閉介質(zhì)的通路,。

微泰，高壓閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,?？商娲鶹AT閘閥,。其特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應用:隔離泵。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 14英寸,、法蘭類型：CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：250,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。閘閥不易產(chǎn)生水錘現(xiàn)象。原因是關(guān)閉時間長,。定制閘閥Micron

真空閘閥通過使用滑動閘門機構(gòu)來控制氣體的通過,。HVA閘閥BUTTERFLY VALVE

微泰，三(多)位閘閥,、三位閘閥,、多位閘閥應用于? 蒸發(fā)?濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? 涂層? 蝕刻? 擴散?CVD（化學氣相沉積）等設備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點是*3個位置功能-閥門打開,閥門關(guān)閉,第3位置*設備可通過連接到閥門的9 Pin D-Sub來讀取閥門狀態(tài)*手動和氣動閥門組合*應用:需要壓力控制的任何其他過程*應用:需要壓力控制的地方,。三位閘閥、多位閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸：2.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：Viton O型圈、響應時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：2.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、維護前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °,、機構(gòu)溫度≤ 60 °C、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績HVA閘閥BUTTERFLY VALVE