氮化硅（Si?N?）是一種非常堅硬,、耐高溫和化學穩(wěn)定的陶瓷材料，廣泛應用于高溫環(huán)境中的機械零件,、刀具和半導體工業(yè)中,。氮化硅具有優(yōu)異的物理和化學性質(zhì)，使其在工程領域中備受青睞。然而,，由于其高硬度和脆性,，傳統(tǒng)的加工方法往往會導致較大的切削力和熱應力，可能會損傷工件或?qū)е鹿ぜ?。在這種情況下,，飛秒激光技術成為了一種備受關注的氮化硅加工方法。飛秒激光切割和打孔是一種高精度,、低熱影響的加工方法,，適用于氮化硅等高硬度材料。這種方法利用飛秒激光器產(chǎn)生的極短脈沖激光束,，使得材料在極短的時間內(nèi)被加熱至高溫,，從而實現(xiàn)切割或打孔。飛秒激光新技術應用剛剛興起,，主要應用行業(yè)包括： 半導體產(chǎn)業(yè),、太陽能產(chǎn)業(yè)(特別是薄膜技術)、平面顯示業(yè)等,。超精密飛秒激光MLCC

所謂飛秒激光鉆孔,，即使用頻率非常高的激光對材料進行鉆孔，飛秒是時間單位,，1飛秒等于一千萬億分之一秒,，相對于傳統(tǒng)激光加工設備，飛秒激光由于脈沖時間極短,，被加工物體不會被加熱,，特別適合加工30微米以下的高精度小孔。對于飛秒激光而言,，脈沖作用時間已經(jīng)實際小于1ps,，電子沒有足夠的時間將能量傳遞給晶格。從而在材料表面生成眾多等離子體,，能量伴隨著材料的去除而消散,，因此出現(xiàn)強烈的燒蝕效果。用飛秒激光進行加工,，激光脈沖能量極快地注入很小的作用區(qū)域,，瞬間高能量密度沉積使電子吸收和運動方式發(fā)生變化，從根本上改變了激光與物質(zhì)相互作用機制,。超精密飛秒激光MLCC飛秒激光鉆孔尤其擅長加工?0.2以下的微孔,。

秒激光在鉬片上打沉頭孔的應用鉬片作為一種重要的工業(yè)材料，具有高熔點,、高導電,、高導熱等優(yōu)良性能，廣泛應用于電子,、能源,、航空航天等領域。在鉬片上打沉頭孔是鉬片加工中的一項重要技術,，傳統(tǒng)的加工方式存在加工效率低下,、精度不高等問題。而飛秒激光技術在鉬片上打沉頭孔的應用,，則可以很好地解決這些問題,。飛秒激光在鉬片上打沉頭孔的原理是利用飛秒激光的超快、超短,、高能束的特點,，在極短時間內(nèi)對鉬片進行加工，形成所需的沉頭孔,。加工過程中,，飛秒激光的能量被精確地控制，避免了熱影響和熱損傷等問題,，保證了加工質(zhì)量和精度,。同時，飛秒激光加工速度極快,，可以大幅提高加工效率,。

不只是汽車行業(yè)的噴油器微孔，微細小型化是當下的一個明顯趨勢,，迫使各行業(yè)的制造商去挑戰(zhàn)精密微細零件的生產(chǎn),，并有效控制每個零件的生產(chǎn)成本。1）工作空間的有效利用：航空航天應用的理想選擇高成本效益的發(fā)動機葉片和燃燒室內(nèi)襯的鉆孔和成型是MicrolutionML-10的特長領域,，該解決方案是根據(jù)航空航天業(yè)的需求而設計的,。其占地面積小，可以有效降低每平方米的生產(chǎn)成本,。該機床內(nèi)嵌光學相干斷層成像(OCT)系統(tǒng),，允許非接觸式測量、穿透檢測/深度跟蹤,、形狀分析和燒蝕實時監(jiān)測,，眾多益處觸手可得。2）簡化醫(yī)用管材切割的復雜加工過程使用超快MLTC激光管材切割平臺可以消除大部分甚至所有的后續(xù)加工步驟,。這一用于醫(yī)療設備行業(yè)及其他應用的解決方案的特點是能夠以極高的精度快速準確地加工金屬和聚合物管材,。飛秒激光加工3）實現(xiàn)優(yōu)異的邊緣和表面質(zhì)量以及筆直的側壁創(chuàng)造獨特的形狀，如負錐度孔,、變形孔（包括圓形入口和橢圓形出口）,、星形圖案等,。由于該解決方案采用五軸掃描測頭，可以加工出在機械設備上不可能實現(xiàn)的形狀,。飛秒激光加工設備是光,、機、電,、自動化技術為一體的綜合科學,，是一種先進的智能工具。

飛秒激光是一種激光技術,，其脈沖時間極短,，一般在飛秒（即百萬億分之一秒）量級。這種極短的脈沖時間使得飛秒激光在材料加工領域具有獨特的優(yōu)勢,，尤其在對材料進行精細加工時表現(xiàn)突出,。利用飛秒激光對碳化硅進行打孔和切割可以實現(xiàn)精密、高效的加工,。由于飛秒激光的脈沖時間極短,，它可以在幾乎不引起熱損傷的情況下加工材料，從而避免了碳化硅等難加工材料常見的裂紋和變形問題,。同時,，飛秒激光加工的高精度和高靈活性也使得它成為對碳化硅進行微細加工的理想選擇。飛秒激光加工碳化硅的關鍵是選擇合適的激光參數(shù)（例如激光功率,、脈沖頻率,、聚焦方式等），以及適當?shù)墓に嚳刂疲ɡ鐨怏w保護,、加工速度等）,，以確保實現(xiàn)所需的加工質(zhì)量和精度。此外,，后續(xù)的表面處理也可能是必要的,，以去除可能形成的氧化物或殘留物，并使加工表面達到所需的光滑度和質(zhì)量,。飛秒激光適用于在各類金屬,、非金屬、復合材料等多種材料上進行盲孔/異型孔等結構的可控錐度精細加工,。上海半導體飛秒激光MLCC垂直刀片

飛秒激光的脈沖寬度極短,，峰值功率極高，利用飛秒激光加工金屬具有熱影響區(qū)小,、加工精度高等優(yōu)點,。超精密飛秒激光MLCC

我們的超快激光微加工平臺，只需簡單裝夾即可滿足對于單個噴油嘴上多個不同尺寸噴孔的需求,。設計人員可以輕松改變各個孔的直徑來微調(diào)每個噴孔所產(chǎn)生的噴霧,。擺脫了鉆孔和電火花加工等方法的工藝束縛,，從而快速制作噴油器設計原型并測試新的燃燒方案。全球?qū)I(yè)GDI噴油嘴廠商多年前就已經(jīng)開始采用飛秒激光加工的這一先進制造方案,，并通過多次檢測證明通過此方案生產(chǎn)的噴油嘴流量誤差可以控制在1%以內(nèi),。相較其他加工技術流量誤差在3%以上，飛秒激光技術所帶來的穩(wěn)定性優(yōu)勢尤為明顯,。市面上已經(jīng)出現(xiàn)此類的批量生產(chǎn)機型，微孔檢測+激光鉆噴孔或機械鉆盲孔+激光鉆噴孔是該機型的兩款衍生機型,，滿足客戶的各種工藝需求,，是專為GDI大批量生產(chǎn)提供的全自動化的交鑰匙解決方案。目前,，這些超快激光微孔加工解決方案正在世界各地的工廠工作,，協(xié)助汽車制造商生產(chǎn)出高效的噴油器，提高發(fā)動機性能,，并滿足管理機構嚴格的排放要求,。超精密飛秒激光MLCC