微泰，蝶閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰蝶閥其特點(diǎn)是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護(hù)? 應(yīng)用：半導(dǎo)體和工業(yè)過程的壓力控制。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40,、DN50,、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、閥門密封：FKM（VITON）,、執(zhí)行器：步進(jìn)電機(jī)、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1200 mbar ,、開啟壓差：≤ 30 mbar,、開啟壓差≤30mbar,、氦泄漏率1X10 -9Mbar/秒、維護(hù)前可用次數(shù)：250,000次,、閥體溫度≤ 150 °,、控制器≤ 35 °C、材料：閥體STS304/機(jī)制STS304,、安裝位置：任意,、接口：RS232、RS485,、Devicenet,、Profibus、EtherCat,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。為了避免在顆粒敏感應(yīng)用中產(chǎn)生顆粒,，滑動閘門機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)旨在避免閥殼處的摩擦。超真空閘閥蝶形控制閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，這里介紹一下閥門控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸,。1，開放/關(guān)閉速度LCD顯示,；2,，當(dāng)閥門或泵錯誤時(shí)，燈點(diǎn)亮：3,，自動關(guān)閉功能-防止泵跳閘中的逆流,；4，有閥門開關(guān)位置的信號輸出信號,；5,，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進(jìn)行快速操作；6,，無噪音,，功耗低；7,，歷史管理-打開/關(guān)閉/泵關(guān)閉等,；8,，UPS功能（1秒），微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥、VAT閘閥,。超真空閘閥蝶形控制閥高壓閘閥只許介質(zhì)單向流動,，安裝時(shí)有方向性。它的結(jié)構(gòu)長度大于閘閥,，同時(shí)流體阻力大,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，有氣動多位置閘閥（氣動多定位閘閥,、多定位插板閥,、Pneumatic Multi Position）、氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥,，蝶閥,，Butterfly Valve，步進(jìn)電機(jī)插板閥Stepper Motor Gate Valve,，加熱插板閥（加熱閘閥Heating gate valve）,，鋁閘閥（AL Gate Valve），三重防護(hù)閘閥,，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。

微泰,，傳輸閥 (I-MOTION)、I型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工,，半導(dǎo)體加工,，可替代VAT閘閥,。其特點(diǎn)是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 使用維修配件工具包易于維護(hù)? 應(yīng)用：半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離，傳輸閥 (I-MOTION),、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (I-MOTION)、右動轉(zhuǎn)換閥,、驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 、連接方式：焊接波紋管,、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec,、工作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1200 mbar,、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、開啟時(shí)壓差： ≤ 1200 mbar r,、泄漏率不銹鋼：< 1×10 -9Mbar?/秒/鋁：< 1×10 -5  mbar ?/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)： ≥1,000,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽Ｕ婵臻l閥廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)和工藝過程中,，如半導(dǎo)體生產(chǎn),、電子設(shè)備制造、科研實(shí)驗(yàn),、航空航天等領(lǐng)域,。

微泰,，多位閘閥，多位置閘閥,，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。微泰多位閘閥，多位置閘閥,，多定位閘閥其特點(diǎn)是?操作模式：本地和遠(yuǎn)程?緊急情況：自動關(guān)閉?慢速泵送功能,。多位閘閥，多位置閘閥,，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304,， 機(jī)制 STS304、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 4英寸~10英寸,、閘門密封 FKM(VITON),、開/關(guān)振動 無振動、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec,、閘門壓差 ≤1.4 bar,、分子流動電導(dǎo)（ISO100）1891 l/s、閥座 1X10-10 mbar?L/秒,、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec,、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar、閘門上任一方向的壓差≤1.4 bar,、安裝位置：任意,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。 閘閥按閘板結(jié)構(gòu)形式分為單閘板和雙閘板兩種。專門用閘閥三星半導(dǎo)體

當(dāng)真空閥打開時(shí),，閘門移出流路,，使氣體以高電導(dǎo)率通過。超真空閘閥蝶形控制閥

半導(dǎo)體真空插板閥是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的真空系統(tǒng)的閥門，主要作用是控制氣體的流動,，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定,。微泰半導(dǎo)體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點(diǎn)包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu)，能夠有效地防止氣體泄漏,，保證真空系統(tǒng)的密封性,。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性，能夠在半導(dǎo)體制造過程中的化學(xué)物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作,。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量,，滿足半導(dǎo)體制造工藝對精度的要求,。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開啟和關(guān)閉,，以適應(yīng)半導(dǎo)體制造過程中的快速氣體控制需求。5. 可靠性高：設(shè)計(jì)和制造過程嚴(yán)格,，保證了其在長期使用中的可靠性和穩(wěn)定性,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。超真空閘閥蝶形控制閥