微泰半導體主加工設備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，一,、控制系統(tǒng)閘閥?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導體等高真空工藝應用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。二,、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力。三,、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能，以應對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況,。其特點之一是能夠遠程檢查閥門狀態(tài),，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作,，適用于需要壓力控制的所有加工領域。采用手動調(diào)節(jié)控制裝置控制,，用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉,，以調(diào)節(jié)壓力。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。閘閥通過閥座和閘板接觸進行密封,，通常密封面會堆焊金屬材料以增加耐磨性。超大型真空閘閥氣動閥

微泰高壓閘閥可以應用于多種設備,，如蒸發(fā),、濺射、金剛石生長,、PECV,、PVD集群,、卷對卷、涂層,、蝕刻,、擴散和CVD等。它具有陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒和易于維護等特點,，可替代VAT閘閥,。該閥門的規(guī)格包括手動或氣動驅(qū)動方式、1.5英寸至14英寸的法蘭尺寸,、CF法蘭類型,、焊接波紋管連接方式、氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM閥門密封,、氟橡膠O型圈閥蓋密封,、≤2秒響應時間、1.5?至6?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1400 mbar,，8?至14?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1200 mbar,、≤30 mbar的開始時壓差、≤1400 mbar的6?以下閘門差動壓力和≤1200 mbar的8?至14?閘門差動壓力,、<1×10 -10 Mbar/秒的泄漏率,、250,000次維護前可用次數(shù)、閥體溫度≤200°,、機構(gòu)溫度≤80°C,、烤爐溫度≤150°C、閥體不銹鋼304或316L和驅(qū)動器鋁6061陽極氧化,、任意安裝位置和4至7 bar的N2操作壓力。此外,，微泰高壓閘閥已在中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其他設備上得到應用,。如果您需要了解更多關(guān)于微泰高壓閘閥的信息，請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。超大型真空閘閥氣動閥精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥,、多定位閘閥,。

微泰半導體閘閥的工作原理主要是通過閘板的升降來控制流體的通斷,。當閘板升起時，閘閥打開,，允許流體通過,；當閘板降下時，閘閥關(guān)閉,，阻止流體通過,。在具體工作中，它利用各種機構(gòu)和設計來實現(xiàn)精確的控制和可靠的密封,，以滿足半導體設備中對工藝控制的要求,。微泰半導體閘閥被廣泛應用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）,、CVD（化學氣相沉積）等設備上，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。

微泰半導體閘閥具有諸多特點：其閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過精心防護處理，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）,，通過三重預防方式有效切斷粉末（Powder）,，從而延長閥門驅(qū)動及使用壽命。該閘閥采用的三重預防驅(qū)動方式中的 Shield 功能,，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，同時具備三重保護驅(qū)動保護環(huán)，可延長 GV 壽命的 Shield 方法，并已供應給海外半導體 T 公司,、M 公司和 I 公司的 Utility 設備,。此外，擋板與閥體之間的距離小于 1mm,，能夠強力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成，充分考慮了其復原力,，并通過 Viton 粉末熱壓工藝制成,。而三重保護保護環(huán)的主要功能則包括：AL 材料的重量減輕和保護環(huán)內(nèi)部照明的改善、保護環(huán)內(nèi)部流速的增加以及三元環(huán)的應用確保了驅(qū)動性能的提升,。閘閥的結(jié)構(gòu)比較簡單,，一般由閥體、閥座,、閥桿,、閘板、閥蓋,、密封圈幾部分組成,。

微泰，三(多)位閘閥,、三位閘閥,、多位閘閥應用于? 蒸發(fā)?濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? 涂層? 蝕刻? 擴散?CVD（化學氣相沉積）等設備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點是*3個位置功能-閥門打開,閥門關(guān)閉,第3位置*設備可通過連接到閥門的9 Pin D-Sub來讀取閥門狀態(tài)*手動和氣動閥門組合*應用:需要壓力控制的任何其他過程*應用:需要壓力控制的地方。三位閘閥,、多位閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸：2.5英寸~ 12英寸、法蘭類型ISO, JIS, ASA, CF,、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：Viton O型圈,、響應時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：2.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °、機構(gòu)溫度≤ 60 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績用真空閘閥時，應考慮與工藝氣體的兼容性,、工作壓力范圍,、循環(huán)速度和維護要求等因素。韓國進口閘閥蝶閥

閘閥按閘板結(jié)構(gòu)形式分為單閘板和雙閘板兩種,。超大型真空閘閥氣動閥

微泰半導體主加工設備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有氣動多位置閘閥（氣動多定位閘閥、多定位插板閥,、Pneumatic Multi Position）,、氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥，蝶閥,，Butterfly Valve,，步進電機插板閥Stepper Motor Gate Valve，加熱插板閥（加熱閘閥Heating gate valve）,，鋁閘閥（AL Gate Valve）,，三重防護閘閥，應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績。超大型真空閘閥氣動閥