微泰半導體閘閥具有獨特的特點：其插板閥主滑閥采用球機構方式,，并且在量產工藝設備上經(jīng)過了性能驗證,。該閘閥由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成，陶瓷與金屬接觸驅動時不會產生顆粒,。目前已向中國臺灣的 Micron,、UMC、AKT,，新加坡的 Micron,、Global Foundries，馬來西亞的英菲尼亞半導體,，日本的 Micron,、三星半導體等眾多設備廠批量供貨，且品質得到認可,，同時也完成了對半導體 Utility 設備和批量生產設備的驗證,。與其他廠家閘閥的金屬與金屬接觸驅動會產生大量顆粒不同，微泰半導體閘閥采用鋼陶瓷球,，在與金屬摩擦時不會損壞,，且金屬與陶瓷球之間不會產生 Particle,。半永久板簧（SUS 鋼板）的應用確保了閥門驅動的同步性,，同時還采用了固定球導向器和鋼陶瓷。微泰半導體閘閥廣泛應用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）,、CVD（化學氣相沉積）等設備上，可替代 HVIA閘閥,、VAT 閘閥,。此外，該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。閘閥（gate valve）是一個啟閉件閘板，閘板的運動方向與流體方向相垂直,，閘閥只能作全開和全關,。超真空閘閥I型轉移閥

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥，控制系統(tǒng)閘閥,，控制閘閥,、控制系統(tǒng)插板閥、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導體等高真空工藝應用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。微泰半導體閘閥被廣泛應用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）,、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴散）,、CVD（化學氣相沉積）等設備上,，可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥,。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁U散閘閥微泰,，高壓閘閥能應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD,。

微泰，蝶閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。可替代VAT閘閥,。微泰蝶閥其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設計? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護? 應用：半導體和工業(yè)過程的壓力控制,。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內徑)：DN40、DN50,、饋通：旋轉饋通,、閥門密封：FKM（VITON）、執(zhí)行器：步進電機,、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1200 mbar ,、開啟壓差：≤ 30 mbar、開啟壓差≤30mbar,、氦泄漏率1X10 -9Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：250,000次、閥體溫度≤ 150 °,、控制器≤ 35 °C,、材料：閥體STS304/機制STS304、安裝位置：任意,、接口：RS232,、RS485、Devicenet,、Profibus,、EtherCat。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?/p>

微泰半導體閘閥的特點：已向中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備,，設備廠批量供貨,，已得到品質認可，已完成對半導體Utility設備和批量生產設備的驗證,。1,，采用陶瓷球機構，抗沖擊和震動,，保證使用25萬次,，檢修方便，較低維護成本,。2,，無Particle（顆粒）產生，采用陶瓷球無腐蝕和顆粒產,。3,，屏蔽保護：屏蔽式保護功能，閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm,，可防止粉末侵入閥內,，壽命為半永久性。4,，保護環(huán)：Protecrion Ring通過流速上升設計防止粉末凝固,，并通過打磨（研磨）工藝防止粉末堆積。微泰半導體閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進電機操作,，而多定位閘閥使用氣動控制操作。

微泰,，多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。可替代VAT閘閥,。微泰多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥其特點是?操作模式：本地和遠程?緊急情況：自動關閉?慢速泵送功能,。多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304,， 機制 STS304,、法蘭尺寸(內徑) 4英寸~10英寸、閘門密封 FKM(VITON),、開/關振動 無振動,、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec、閘門壓差 ≤1.4 bar,、分子流動電導（ISO100）1891 l/s,、閥座 1X10-10 mbar?L/秒、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec,、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar,、閘門上任一方向的壓差≤1.4 bar、安裝位置：任意,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。 高壓閘閥只許介質單向流動,，安裝時有方向性。它的結構長度大于閘閥,，同時流體阻力大,。超真空閘閥I型轉移閥

微泰,，高壓閘閥應用于? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。超真空閘閥I型轉移閥

半導體真空插板閥是一種用于半導體制造過程中的真空系統(tǒng)的閥門,，主要作用是控制氣體的流動，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定,。微泰半導體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結構,，能夠有效地防止氣體泄漏,，保證真空系統(tǒng)的密封性,。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性，能夠在半導體制造過程中的化學物質環(huán)境中穩(wěn)定工作,。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量,，滿足半導體制造工藝對精度的要求。4. 快速響應：可以快速地開啟和關閉,，以適應半導體制造過程中的快速氣體控制需求,。5. 可靠性高：設計和制造過程嚴格，保證了其在長期使用中的可靠性和穩(wěn)定性,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供,。超真空閘閥I型轉移閥