微泰轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的溝槽,。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關閉造成的真空壓力變化，使腔室內的真空壓力得以維持,。負責門控半導體晶圓轉移的轉移閥分為兩種類型:I型和L型,。一、I型轉移閥,。I型轉移閥產品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室。本型的特點是葉片在垂直方向上快速移動,，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導向系統(tǒng)和單連桿的內部機構,，保證高耐用性和長壽命。二,、L型轉移閥,。L型轉移閥產品由鋁或不銹鋼制造，其特點是設計緊湊,，易于維護,。L型轉移閥的特點是閘門在兩個階段從垂直到水平方向移動，確保完美的腔室壓力維護,。它的內部機構,，包括一個LM導向系統(tǒng)和滯留彈簧和楔形營地結構，保證了高耐用性和長壽命,，同時提供穩(wěn)定和精確的運動,。I型和L型轉移閥在在閘門開啟和關閉過程中極大限度地減少了振動，并且對溫度變化非常穩(wěn)定,，確保了較長的使用壽命,。此外，即使長時間使用柵極,，它們產生的顆粒也很少,，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染。微泰不斷創(chuàng)新,，在開發(fā)先進的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力,。真空閘閥廣泛應用于各個行業(yè)，包括半導體制造,、研發(fā),、分析類儀器和真空鍍膜。鋁閘閥插板閥

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥、轉換閥,、輸送閥,、轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。I型輸送閥,，-閘門動作時無震動或沖擊-通過饋通波紋管Feedthrough bellows防止閥體污染,，確保高耐用性-采用LM導軌和單鏈路（LM-guide&Single Link）結構/小齒輪驅動方式，使其具有簡單的運動,、耐用性和高精度,。I型輸送閥有爪式（Jaw type）和夾式（Clamp type）。微泰晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥,、轉換閥,、輸送閥、轉移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。低真空閘閥SHIELD GATE VALVE真空閘閥廣泛應用于各種真空系統(tǒng)和工藝過程中，如半導體生產,、電子設備制造,、科研實驗、航空航天等領域,。

微泰,，屏蔽閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? 濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)? Coating（涂層）? Etch? Diffusion?CVD（化學氣相沉積）等設備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點是*閥體和阻斷器之間的間隙小于1mm*防止流入的氣體（粉末）進入閥體內部*使用維修配件工具包易于維護*應用:隔離泵，氣流中的高水平工藝,。屏蔽閘閥規(guī)格如下：驅動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：2.5英寸~ 10英寸、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF,、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：Viton O型圈,、響應時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：2.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 10? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：2.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 10? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、維護前可用次數：200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機構溫度≤ 60 °C、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績

微泰半導體閘閥具有諸多特點：其閥門驅動部分的所有滾子和軸承都經過精心防護處理,，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）,，通過三重預防方式有效切斷粉末（Powder），從而延長閥門驅動及使用壽命,。該閘閥采用的三重預防驅動方式中的 Shield 功能,，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內部，同時具備三重保護驅動保護環(huán),，可延長 GV 壽命的 Shield 方法,，并已供應給海外半導體 T 公司、M 公司和 I 公司的 Utility 設備,。此外,，擋板與閥體之間的距離小于 1mm，能夠強力阻擋內部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成,，充分考慮了其復原力，并通過 Viton 粉末熱壓工藝制成,。而三重保護保護環(huán)的主要功能則包括：AL 材料的重量減輕和保護環(huán)內部照明的改善,、保護環(huán)內部流速的增加以及三元環(huán)的應用確保了驅動性能的提升。微泰高壓閘閥的特點是*陶瓷球機構產生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應用:隔離泵,。

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥,，三重防護閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。有-屏蔽閘閥：防止氣體和粉末進入閥內的隔離閥,，-三重防護閘閥：屏蔽1和2+保護環(huán)的3重隔離系統(tǒng)，還有步進電機閘閥和鋁閘閥,，屏蔽門閥：產品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數：25萬次?響應時間：0.2秒~3秒,；三級預防閘閥，三重防護閘閥：產品范圍：4~10英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數：25萬次?包括屏蔽功能,；步進電機閘閥：產品范圍：2.5~10英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數：25萬次?包括屏蔽功能,；步進電機閘閥；鋁閘閥：產品范圍：2.5~12英寸?高壓氣動?維護前可用次數：10萬次?響應時間：0.2秒~3秒,；有中國臺灣Micron,、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。介質可向兩側任意方向流動，易于安裝,。閘閥通道兩側是對稱的,。鋁閘閥插板閥

微泰，高壓閘閥應用于? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）?CVD（化學氣相沉積）等設備上。鋁閘閥插板閥

微泰半導體閘閥的特點：閥門驅動部分的所有滾子和軸承都進行了防護處理,，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預防方式切斷粉末（Powder）,，延長閥門驅動和使用壽命。三重預防驅動方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內部,，有三重保護驅動保護環(huán),，長久延長GV壽命的Shield方法-供應給海外半導體T公司、M公司和I公司Utility設備,。擋板與閥體的距離小于1mm,，阻擋內部粉末和氣體的流入，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料,，考慮了復原力,，并采用Viton粉末熱壓制成。三重保護保護環(huán)的主要功能說明-AL材料的重量減輕和保護環(huán)內部照明的改善-保護環(huán)內部流速的增加-三元環(huán)應用確保驅動性能,。鋁閘閥插板閥