微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。采用L型輸送閥L-motion防止產(chǎn)生微粒（Particle),，無需從設(shè)備上拆卸閥門，即可更換閘門和O形圈,。大量采用缸套運動導(dǎo)軌Liner (motion guide),，實現(xiàn)高精度、高耐用性.微泰晶圓輸送閥L型輸送閥L-motion,Transfer Valve,，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。這些真空閥可以手動、氣動或電子方式驅(qū)動,，從而可以根據(jù)具體應(yīng)用進(jìn)行多功能控制,。HV閘閥三星半導(dǎo)體

微泰，三(多)位閘閥,、三位閘閥、多位閘閥應(yīng)用于? 蒸發(fā)?濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? 涂層? 蝕刻? 擴(kuò)散?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。其特點是*3個位置功能-閥門打開,閥門關(guān)閉,第3位置*設(shè)備可通過連接到閥門的9 Pin D-Sub來讀取閥門狀態(tài)*手動和氣動閥門組合*應(yīng)用:需要壓力控制的任何其他過程*應(yīng)用:需要壓力控制的地方,。三位閘閥,、多位閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸：2.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型ISO, JIS, ASA, CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：Viton O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：2.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 60 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績HVA閘閥L型轉(zhuǎn)移閥閘閥不易產(chǎn)生水錘現(xiàn)象。原因是關(guān)閉時間長,。

微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨特的特點：其插板閥主滑閥采用球機(jī)構(gòu)方式,，并且在量產(chǎn)工藝設(shè)備上經(jīng)過了性能驗證。該閘閥由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷與金屬接觸驅(qū)動時不會產(chǎn)生顆粒,。目前已向中國臺灣的 Micron、UMC,、AKT,，新加坡的 Micron、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,，日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認(rèn)可,，同時也完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。與其他廠家閘閥的金屬與金屬接觸驅(qū)動會產(chǎn)生大量顆粒不同,，微泰半導(dǎo)體閘閥采用鋼陶瓷球,，在與金屬摩擦?xí)r不會損壞，且金屬與陶瓷球之間不會產(chǎn)生 Particle,。半永久板簧（SUS 鋼板）的應(yīng)用確保了閥門驅(qū)動的同步性,，同時還采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾伞Ｎ⑻┌雽?dǎo)體閘閥廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVIA閘閥,、VAT 閘閥,。此外，該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點：首先，它已向中國臺灣的 Micron,、UMC,、AKT 等，新加坡的 Micron,、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體，日本的 Micron,、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認(rèn)可，同時完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證,。其次,，該閘閥采用陶瓷球機(jī)構(gòu)，具有良好的抗沖擊和震動性能,，保證可使用 25 萬次,，且檢修方便，維護(hù)成本較低,。它無 Particle 產(chǎn)生，采用陶瓷球不會有腐蝕和顆粒產(chǎn)生,。此外,，它還具有屏蔽保護(hù)功能，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm,，能有效防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性。其保護(hù)環(huán)設(shè)計也很獨特,，Protecrion Ring 通過流速上升設(shè)計防止粉末凝固,，并通過打磨（研磨）工藝防止粉末堆積。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供,。非金屬材料高壓閘閥有陶瓷閥門,、玻璃閥門、塑料閥門,。

微泰,，大閘閥、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰大閘閥,、大型閘閥其特點是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥。大閘閥,、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?、 法蘭型：ISO,、JIS,、ASA 、饋通：Viton O-Rin,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時間：可調(diào)節(jié),、工作壓力范圍：1×10-8 mbar to 1000 mbar ,、維護(hù)前可用次數(shù)：10,000 ~ 100,000次、開啟時壓差 ≤ 30 mba,、泄漏率 < 1×10 -9  mbar ?/sec,、閥體溫度≤ 150 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：6~ 8 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。 高壓閘閥,，屬于強(qiáng)制密封式閥門，所以在閥門關(guān)閉時,，必須向閘板施加壓力,，以強(qiáng)制密封面不泄漏。蒸發(fā)閘閥手動閥

閘閥（gate valve）是一個啟閉件閘板,，閘板的運動方向與流體方向相垂直,，閘閥只能作全開和全關(guān)。HV閘閥三星半導(dǎo)體

微泰,，鋁閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。期特點是*不論什么工藝的設(shè)備都可以使用*由半永久性陶瓷球和彈簧組成*應(yīng)用:隔離泵,。鋁閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 10英寸、閥體：AL6061 (Anodizing),、機(jī)械裝置：AL6061 (Anodizing),、閥門：O型圈(VITON)、真空密封：O型圈(VITON),、響應(yīng)時間≤ 3 sec,、驅(qū)動器：氣缸、操作泄漏率< 1×10-10 mbar ?/sec,、壓力范圍：< 1×10-10 mbar ?/sec、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、初次維護(hù)前可用次數(shù)100,000次,、閥體溫度≤ 120 °執(zhí)行機(jī)構(gòu)溫度≤ 60 °C、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。可替代VAT閥門,。HV閘閥三星半導(dǎo)體