微泰控制系統(tǒng)閥門(mén)是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門(mén)?？刂葡到y(tǒng)閥門(mén)起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用，通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開(kāi)啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門(mén)分為三類(lèi)：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥、多定位閘閥,?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作，而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作,。一,、控制系統(tǒng)閘閥?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,。控制系統(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值,，通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。二、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過(guò)閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程,。蝶閥通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力。三,、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門(mén)。它在閥門(mén)的頂部有一個(gè)內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能，以應(yīng)對(duì)泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況,。微泰閘閥可替代HVA閘閥,、VAT閘閥。超真空閘閥Global Foundries

微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨(dú)特的三重保護(hù)保護(hù)環(huán)機(jī)能：采用鋁質(zhì)材料,，減輕重量的同時(shí)提高保護(hù)環(huán)內(nèi)部粗糙度,，有效防止工程副產(chǎn)物的堆積黏附；通過(guò)提升保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計(jì),，且保護(hù)環(huán)逐步收窄,，進(jìn)一步提升流速，防止粉塵黏附,；采用三元系 O 型圈,，確保保護(hù)環(huán)驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定，可保證 30 萬(wàn)次驅(qū)動(dòng),。該閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，能夠替代 HVA 閘閥,、VAT 閘閥,。此閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供,。超真空閘閥Global Foundries閘閥高度大,，啟閉時(shí)間長(zhǎng)。閘板的啟閉行程較大，升降是通過(guò)螺桿進(jìn)行的,。

半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的解決方案,，真空插板閥品牌—微泰?？刂葡到y(tǒng)閥門(mén)是安裝在半導(dǎo)體? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備中的主要閥門(mén)?？刂葡到y(tǒng)閥門(mén)起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開(kāi)啟和關(guān)閉。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門(mén)分為三類(lèi)：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥,、多定位閘閥?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,，而多定位閘閥、多位置閘閥使用氣動(dòng)控制操作,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，一,、控制系統(tǒng)閘閥,。控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值，通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。二,、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過(guò)閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程。蝶閥通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力,。三、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門(mén),。它在閥門(mén)的頂部有一個(gè)內(nèi)置控制器，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對(duì)泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。其特點(diǎn)之一是能夠遠(yuǎn)程檢查閥門(mén)狀態(tài),，并可用于具有不同法蘭類(lèi)型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動(dòng)方式操作,，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域,。采用手動(dòng)調(diào)節(jié)控制裝置控制，用戶可直接控制閘門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉,，以調(diào)節(jié)壓力,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。微泰,，高壓閘閥應(yīng)用于? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。

半導(dǎo)體真空插板閥是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的真空系統(tǒng)的閥門(mén),，主要作用是控制氣體的流動(dòng)，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定,。微泰半導(dǎo)體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點(diǎn)包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu),，能夠有效地防止氣體泄漏，保證真空系統(tǒng)的密封性,。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性,，能夠在半導(dǎo)體制造過(guò)程中的化學(xué)物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量,，滿足半導(dǎo)體制造工藝對(duì)精度的要求,。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開(kāi)啟和關(guān)閉,，以適應(yīng)半導(dǎo)體制造過(guò)程中的快速氣體控制需求。5. 可靠性高：設(shè)計(jì)和制造過(guò)程嚴(yán)格,，保證了其在長(zhǎng)期使用中的可靠性和穩(wěn)定性,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。微泰高壓閘閥的特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵。超真空閘閥Global Foundries

閘閥多應(yīng)用于石油,、天然氣等輸送管線上,，在半導(dǎo)體加工工程設(shè)備上也多用閘閥。超真空閘閥Global Foundries

微泰,，大閘閥,、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰大閘閥,、大型閘閥其特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥,。大閘閥、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?,、 法蘭型：ISO、JIS,、ASA ,、饋通：Viton O-Rin、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：可調(diào)節(jié)、工作壓力范圍：1×10-8 mbar to 1000 mbar ,、維護(hù)前可用次數(shù)：10,000 ~ 100,000次,、開(kāi)啟時(shí)壓差 ≤ 30 mba、泄漏率 < 1×10 -9  mbar ?/sec,、閥體溫度≤ 150 °,、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：6~ 8 bar。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?超真空閘閥Global Foundries