微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：首先,，它已向中國(guó)臺(tái)灣的 Micron,、UMC,、AKT 等,，新加坡的 Micron,、Global Foundries,，馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,，日本的 Micron,、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認(rèn)可，同時(shí)完成了對(duì)半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證,。其次,，該閘閥采用陶瓷球機(jī)構(gòu)，具有良好的抗沖擊和震動(dòng)性能,，保證可使用 25 萬(wàn)次,，且檢修方便，維護(hù)成本較低,。它無(wú) Particle 產(chǎn)生,，采用陶瓷球不會(huì)有腐蝕和顆粒產(chǎn)生,。此外,，它還具有屏蔽保護(hù)功能，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm,，能有效防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性。其保護(hù)環(huán)設(shè)計(jì)也很獨(dú)特,，Protecrion Ring 通過(guò)流速上升設(shè)計(jì)防止粉末凝固,，并通過(guò)打磨（研磨）工藝防止粉末堆積。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。微泰控制系統(tǒng)閥門(mén)是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門(mén)?？刂葡到y(tǒng)閥門(mén)起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,。韓國(guó)進(jìn)口閘閥ALUMINUM GATE VALVE

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，鋁閘閥（AL Gate Valve）-產(chǎn)品范圍：1.5英寸~10英寸-12英寸可生產(chǎn)的產(chǎn)品尺寸，閥體材料：鋁,、氣動(dòng),、緊湊設(shè)計(jì)、重量輕,。閘門(mén),，閥蓋密封：Viton O-Ring使用次數(shù)：100000次，易于維護(hù),，低顆粒（陶瓷球機(jī)構(gòu)）,。- Body Material : Aluminum  - Pneumatic - Compact Design- Light of weight - Gate, Bonnet Seal : Viton O-Ring - Cycles until first service : 100,000 - Easy Maintenance - Low Particle (Ceramic Ball Mechanism)，微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥。韓國(guó)進(jìn)口閘閥ALUMINUM GATE VALVE控制系統(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值,，通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門(mén),。它在閥門(mén)的頂部有一個(gè)內(nèi)置控制器，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對(duì)泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。其特點(diǎn)之一是能夠遠(yuǎn)程檢查閥門(mén)狀態(tài),，并可用于具有不同法蘭類(lèi)型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動(dòng)方式操作,，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域,。采用手動(dòng)調(diào)節(jié)控制裝置控制，用戶可直接控制閘門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉,，以調(diào)節(jié)壓力,。微泰半導(dǎo)體多定位閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）,、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）,、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。該閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供,。

微泰控制系統(tǒng)閥門(mén)是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門(mén),?？刂葡到y(tǒng)閥門(mén)起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開(kāi)啟和關(guān)閉。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門(mén)分為三類(lèi)：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥,、多定位閘閥?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,，而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作。一,、控制系統(tǒng)閘閥,。控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值，通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。二,、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu)，通過(guò)閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程。蝶閥通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力,。三、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門(mén),。它在閥門(mén)的頂部有一個(gè)內(nèi)置控制器，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對(duì)泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。微泰閘閥可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，有氣動(dòng)多位置閘閥（氣動(dòng)多定位閘閥,、多定位插板閥,、Pneumatic Multi Position）、氣動(dòng)（鎖定）閘閥和手動(dòng)（鎖定）閘閥,，蝶閥,，Butterfly Valve，步進(jìn)電機(jī)插板閥Stepper Motor Gate Valve,，加熱插板閥（加熱閘閥Heating gate valve）,，鋁閘閥（AL Gate Valve），三重防護(hù)閘閥,，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。閘閥多應(yīng)用于石油,、天然氣等輸送管線上，在半導(dǎo)體加工工程設(shè)備上也多用閘閥,。HVA閘閥UMC

精確控制腔內(nèi)壓力的閥門(mén)分為三類(lèi)：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥,、多定位閘閥。韓國(guó)進(jìn)口閘閥ALUMINUM GATE VALVE

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：其閥門(mén)驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過(guò)精心防護(hù)處理,，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）,，通過(guò)三重預(yù)防方式有效切斷粉末（Powder），從而延長(zhǎng)閥門(mén)驅(qū)動(dòng)及使用壽命,。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式中的 Shield 功能,，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部，同時(shí)具備三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán),，可延長(zhǎng) GV 壽命的 Shield 方法,，并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備,。此外,，擋板與閥體之間的距離小于 1mm，能夠強(qiáng)力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成,，充分考慮了其復(fù)原力，并通過(guò) Viton 粉末熱壓工藝制成,。而三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能則包括：AL 材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善,、保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加以及三元環(huán)的應(yīng)用確保了驅(qū)動(dòng)性能的提升。韓國(guó)進(jìn)口閘閥ALUMINUM GATE VALVE