微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，步進(jìn)電機(jī)插板閥Stepper Motor Gate Valve,，-產(chǎn)品范圍：2.5“~10”-壓力控制-使用步進(jìn)電機(jī)Stepper Motor GV,- Product Range : 2.5” ~ 10”- Pressure Controlled- Using Stepper Motor，用步進(jìn)電機(jī)/控制器操作閥門-通過步進(jìn)電機(jī)/控制器精確控制閥門的壓力-根據(jù)產(chǎn)品的不同,，控制器可以安裝在客戶需要的地方,，微泰，步進(jìn)電機(jī)插板閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。微泰步進(jìn)電機(jī)插板閥Stepper Motor Gate Valve有中國臺灣Micron、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。閘閥的結(jié)構(gòu)比較簡單,，一般由閥體、閥座,、閥桿,、閘板、閥蓋,、密封圈幾部分組成,。韓國進(jìn)口閘閥Global Foundries

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，插板閥,，氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥-按產(chǎn)品尺寸和法蘭類型排列-ID為1.5英寸至30英寸,，ISO、CF&JIS和ASA法蘭等-現(xiàn)有手動閘閥的鎖定功能（Exist Manual GV of Locking Function）,。微泰氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。真空閘閥UMC真空閘閥廣泛應(yīng)用于各個行業(yè),，包括半導(dǎo)體制造、研發(fā),、分析類儀器和真空鍍膜,。

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點：閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都進(jìn)行了防護(hù)處理,，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預(yù)防方式切斷粉末（Powder），延長閥門驅(qū)動和使用壽命,。三重預(yù)防驅(qū)動方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，有三重保護(hù)驅(qū)動保護(hù)環(huán)，長久延長GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導(dǎo)體T公司,、M公司和I公司Utility設(shè)備,。擋板與閥體的距離小于1mm，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料,，考慮了復(fù)原力，并采用Viton粉末熱壓制成,。三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能說明-AL材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善-保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加-三元環(huán)應(yīng)用確保驅(qū)動性能,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥Heating gate valve，加熱插板閥,，加熱閘閥,，加熱器的加熱溫度為180-200度（可通過控制器設(shè)置溫度）-規(guī)格：適用雙金屬（達(dá)到200度時，斷電后溫度下降后重新啟動）,，應(yīng)用于去除粉末/氣體設(shè)備,。微泰，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸、法蘭類型：ISO,、JIS,、ASA、CF,、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 12 ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次,、、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。

微泰,，多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥,。微泰多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥其特點是?操作模式：本地和遠(yuǎn)程?緊急情況：自動關(guān)閉?慢速泵送功能,。多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304,， 機(jī)制 STS304,、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 4英寸~10英寸、閘門密封 FKM(VITON),、開/關(guān)振動 無振動,、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec、閘門壓差 ≤1.4 bar,、分子流動電導(dǎo)（ISO100）1891 l/s,、閥座 1X10-10 mbar?L/秒、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec,、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar,、閘門上任一方向的壓差≤1.4 bar、安裝位置：任意,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門,?？刂葡到y(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用。HV閘閥ALUMINUM GATE VALVE

高壓閘閥結(jié)構(gòu)簡單,，制造和維修比較方便,。工作行程小，啟閉時間短,。密封性好,，密封面間磨擦力小，壽命較長,。韓國進(jìn)口閘閥Global Foundries

微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥,，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400、（內(nèi)徑）200×1800,、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：材料：不銹鋼304、A5083~A7075,、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：6 ~ 8 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。韓國進(jìn)口閘閥Global Foundries