微泰,，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥,。其特點(diǎn)是*使用加熱套或內(nèi)部加熱器加熱*加熱控制器*應(yīng)用:去除粉末/氣體設(shè)備,。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng)、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：ISO,、JIS、ASA,、CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動(dòng)壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 12 ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。微泰高壓閘閥的特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵,。全真空可嵌入閘閥手動(dòng)閥

微泰,，蝶閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰蝶閥其特點(diǎn)是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護(hù)? 應(yīng)用：半導(dǎo)體和工業(yè)過程的壓力控制,。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40,、DN50、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、閥門密封：FKM（VITON）,、執(zhí)行器：步進(jìn)電機(jī)、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1200 mbar ,、開啟壓差：≤ 30 mbar,、開啟壓差≤30mbar、氦泄漏率1X10 -9Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：250,000次、閥體溫度≤ 150 °,、控制器≤ 35 °C,、材料：閥體STS304/機(jī)制STS304、安裝位置：任意,、接口：RS232,、RS485、Devicenet,、Profibus,、EtherCat。有中國臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。控制閘閥SHIELD GATE VALVE高壓閘閥按閥桿螺紋的位置分外螺紋式,、內(nèi)螺紋式,、法蘭、焊接等,。按介質(zhì)的流向分,，有直通式、直流式和角式,。

微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨(dú)特的特點(diǎn)：其插板閥主滑閥采用球機(jī)構(gòu)方式,，并且在量產(chǎn)工藝設(shè)備上經(jīng)過了性能驗(yàn)證。該閘閥由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷與金屬接觸驅(qū)動(dòng)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生顆粒,。目前已向中國臺(tái)灣的 Micron、UMC,、AKT,，新加坡的 Micron、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,，日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認(rèn)可,，同時(shí)也完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證。與其他廠家閘閥的金屬與金屬接觸驅(qū)動(dòng)會(huì)產(chǎn)生大量顆粒不同,，微泰半導(dǎo)體閘閥采用鋼陶瓷球,，在與金屬摩擦?xí)r不會(huì)損壞，且金屬與陶瓷球之間不會(huì)產(chǎn)生 Particle,。半永久板簧（SUS 鋼板）的應(yīng)用確保了閥門驅(qū)動(dòng)的同步性,，同時(shí)還采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾伞Ｎ⑻┌雽?dǎo)體閘閥廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVIA閘閥,、VAT 閘閥,。此外，該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。

微泰半導(dǎo)體閘閥的工作原理主要是通過閘板的升降來控制流體的通斷。當(dāng)閘板升起時(shí),，閘閥打開,，允許流體通過；當(dāng)閘板降下時(shí),，閘閥關(guān)閉,，阻止流體通過。在具體工作中,，它利用各種機(jī)構(gòu)和設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn)精確的控制和可靠的密封,，以滿足半導(dǎo)體設(shè)備中對工藝控制的要求。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥。有中國臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁Ｎ⑻╅l閥可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，氣動(dòng)多位置閘閥,，氣動(dòng)多定位閘閥,，多定位插板閥，Pneumatic Multi Position 其特點(diǎn)是1,，全開和關(guān)閉位置使用帶有位置發(fā)射器的氣動(dòng)電磁閥進(jìn)行控制,；2，所有位置控制都由控制器進(jìn)行操作,。1)控制類型-全開：高速閘門全開操作-全閉：高速閘門全閉操作-位置（POS.）控制：將閘門移動(dòng)到設(shè)定的位置值,；2)操作時(shí)間-完全打開?完全關(guān)閉：<2秒（取決于速度控制器設(shè)置)-位置（POS。）控制： 0%?100%工作,，<MAX18秒（偏差： < ±0.5%）,。微泰氣動(dòng)多位置閘閥，氣動(dòng)多定位閘閥,，多定位插板閥,，Pneumatic Multi Position，有中國臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值，通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。UHV閘閥法蘭閘閥

真空閘閥廣泛應(yīng)用于各個(gè)行業(yè),，包括半導(dǎo)體制造、研發(fā),、分析類儀器和真空鍍膜,。全真空可嵌入閘閥手動(dòng)閥

微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導(dǎo)體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,，并極大限度地減少由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化，以維持腔室內(nèi)的真空壓力,。I型轉(zhuǎn)移閥由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。其特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng),，以確保完美的腔室壓力維持,。而L型轉(zhuǎn)移閥也由鋁或不銹鋼制造，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊,，易于維護(hù),。L型轉(zhuǎn)移閥的閘門在兩個(gè)階段從垂直到水平方向移動(dòng)，以確保完美的腔室壓力維護(hù),。這兩種類型的轉(zhuǎn)移閥都具有高耐用性和長壽命的優(yōu)點(diǎn),，并且在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動(dòng)，對溫度變化也非常穩(wěn)定,，以確保較長的使用壽命,。如果您需要了解更多關(guān)于微泰傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥的信息，請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。全真空可嵌入閘閥手動(dòng)閥