微泰，超高壓閘閥應用于? Evaporation? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? 蝕刻? Diffusion?CVD等設備上,。期特點是*陶瓷球機構產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應用:研發(fā)和工業(yè)中的UHV隔離。高壓閘閥規(guī)格如下：驅動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：CF、連接方式：焊接波紋管（AM350或STS316L）,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：銅墊圈、響應時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次維護前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °,、CTemperature for Actuator≤ 150 °C、烤爐溫度≤ 200 °C,、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。正確安裝、定期維護以及遵守制造商指南對于這些閥門的性能發(fā)揮和使用壽命至關重要,。Diffusion閘閥法蘭閘閥

微泰,傳輸閥,、轉換閥、輸送閥,、轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的溝槽,。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關閉造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負責門控半導體晶圓轉移的傳輸閥,、轉換閥,、輸送閥、轉移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ,，50 x 336 / 56 x 500 ,，? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified Flanges ，轉移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室,。本型的特點是葉片在垂直方向上快速移動，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機構,，保證高耐用性和長壽命。二,、L型轉移閥,。L型轉移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造，其特點是設計緊湊,，易于維護,。I型和L型轉移閥在在閘門開啟和關閉過程中極大限度地減少了振動，并且對溫度變化非常穩(wěn)定,，確保了較長的使用壽命,。此外，即使長時間使用柵極,，它們產(chǎn)生的顆粒也很少,，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染。微泰不斷創(chuàng)新,，在開發(fā)先進的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力,。多定位閘閥SHIELD GATE VALVE閘閥多應用于石油、天然氣等輸送管線上,，在半導體加工工程設備上也多用閘閥,。

微泰半導體主加工設備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥Heating gate valve，加熱插板閥,，加熱閘閥,，加熱器的加熱溫度為180-200度（可通過控制器設置溫度）-規(guī)格：適用雙金屬（達到200度時，斷電后溫度下降后重新啟動）,，應用于去除粉末/氣體設備,。微泰，加熱閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。加熱閘閥規(guī)格如下：驅動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：ISO、JIS,、ASA,、CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 12 ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：200,000次、,、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。

微泰半導體主加工設備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，這里介紹一下閥門控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸,。1，開放/關閉速度LCD顯示,；2,，當閥門或泵錯誤時，燈點亮：3,，自動關閉功能-防止泵跳閘中的逆流,；4,，有閥門開關位置的信號輸出信號；5,，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進行快速操作,；6，無噪音,，功耗低,；7,，歷史管理-打開/關閉/泵關閉等,；8,，UPS功能（1秒），微泰半導體主加工設備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。非金屬材料高壓閘閥有陶瓷閥門、玻璃閥門,、塑料閥門。

微泰,，多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。可替代VAT閘閥,。微泰多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥其特點是?操作模式：本地和遠程?緊急情況：自動關閉?慢速泵送功能。多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304,， 機制 STS304、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 4英寸~10英寸,、閘門密封 FKM(VITON),、開/關振動 無振動,、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec,、閘門壓差 ≤1.4 bar,、分子流動電導（ISO100）1891 l/s,、閥座 1X10-10 mbar?L/秒,、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec,、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar,、閘門上任一方向的壓差≤1.4 bar,、安裝位置：任意,。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。 控制系統(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。濺射閘閥BUTTERFLY VALVE

高壓閘閥按閥桿螺紋的位置分外螺紋式,、內(nèi)螺紋式,、法蘭,、焊接等,。按介質的流向分，有直通式,、直流式和角式,。Diffusion閘閥法蘭閘閥

微泰高壓閘閥可以應用于多種設備，如蒸發(fā),、濺射,、金剛石生長、PECV,、PVD集群,、卷對卷、涂層,、蝕刻,、擴散和CVD等。它具有陶瓷球機構產(chǎn)生的低顆粒和易于維護等特點,，可替代VAT閘閥,。該閥門的規(guī)格包括手動或氣動驅動方式、1.5英寸至14英寸的法蘭尺寸,、CF法蘭類型、焊接波紋管連接方式,、氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM閥門密封,、氟橡膠O型圈閥蓋密封、≤2秒響應時間,、1.5?至6?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1400 mbar,，8?至14?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1200 mbar、≤30 mbar的開始時壓差,、≤1400 mbar的6?以下閘門差動壓力和≤1200 mbar的8?至14?閘門差動壓力,、<1×10 -10 Mbar/秒的泄漏率、250,000次維護前可用次數(shù),、閥體溫度≤200°,、機構溫度≤80°C、烤爐溫度≤150°C,、閥體不銹鋼304或316L和驅動器鋁6061陽極氧化,、任意安裝位置和4至7 bar的N2操作壓力。此外,，微泰高壓閘閥已在中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其他設備上得到應用,。如果您需要了解更多關于微泰高壓閘閥的信息,，請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。Diffusion閘閥法蘭閘閥