微泰，多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥其特點是?操作模式：本地和遠程?緊急情況：自動關(guān)閉?慢速泵送功能。多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304， 機制 STS304,、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 4英寸~10英寸,、閘門密封 FKM(VITON)、開/關(guān)振動 無振動,、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec,、閘門壓差 ≤1.4 bar、分子流動電導(dǎo)（ISO100）1891 l/s,、閥座 1X10-10 mbar?L/秒,、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar,、閘門上任一方向的壓差≤1.4 bar,、安裝位置：任意。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進電機操作,，而多定位閘閥使用氣動控制操作,。極高真空閘閥英菲尼亞半導(dǎo)體

微泰主要產(chǎn)品有1、-手動鎖定閥：操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭：2,、特殊閥門：全金屬配件構(gòu)成,，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成,；3、三位閥：半開功能的壓力控制閥,。氣動閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；手動（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次；專門用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次,，響應(yīng)時間：0.2秒客戶指定的法蘭,，可安裝角閥；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。加熱閘閥角控制閥微泰,，高壓閘閥能應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD。

半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的解決方案,，真空插板閥品牌—微泰,。控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備中的主要閥門,。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過控制系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥,、多定位閘閥,。控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進電機操作,，而多定位閘閥,、多位置閘閥使用氣動控制操作。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。

微泰,，傳輸閥 (I-MOTION)、I型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工，半導(dǎo)體加工,，可替代VAT閘閥,。其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 使用維修配件工具包易于維護? 應(yīng)用：半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離，傳輸閥 (I-MOTION),、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (I-MOTION)、右動轉(zhuǎn)換閥,、驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 、連接方式：焊接波紋管,、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、工作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1200 mbar,、開始時的壓差：≤ 30 mbar、開啟時壓差： ≤ 1200 mbar r,、泄漏率不銹鋼：< 1×10 -9Mbar?/秒/鋁：< 1×10 -5  mbar ?/秒,、維護前可用次數(shù)： ≥1,000,000次,、閥體溫度≤ 200 °,、機構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。高壓閘閥只許介質(zhì)單向流動，安裝時有方向性,。它的結(jié)構(gòu)長度大于閘閥,，同時流體阻力大。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，一,、控制系統(tǒng)閘閥?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。二,、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力。三,、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。其特點之一是能夠遠程檢查閥門狀態(tài),，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作,，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域,。采用手動調(diào)節(jié)控制裝置控制，用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉,，以調(diào)節(jié)壓力,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。正確安裝,、定期維護以及遵守制造商指南對于這些閥門的性能發(fā)揮和使用壽命至關(guān)重要,。電動閘閥AKT

微泰高壓閘閥的特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:隔離泵。極高真空閘閥英菲尼亞半導(dǎo)體

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點：已向中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備,，設(shè)備廠批量供貨,，已得到品質(zhì)認可，已完成對半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證,。1,，采用陶瓷球機構(gòu)，抗沖擊和震動,，保證使用25萬次,，檢修方便，較低維護成本,。2,，無Particle（顆粒）產(chǎn)生，采用陶瓷球無腐蝕和顆粒產(chǎn),。3,，屏蔽保護：屏蔽式保護功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm，可防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性,。4，保護環(huán)：Protecrion Ring通過流速上升設(shè)計防止粉末凝固,，并通過打磨（研磨）工藝防止粉末堆積,。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶫VA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽O高真空閘閥英菲尼亞半導(dǎo)體