微泰半導體閘閥的特點：插板閥主滑閥的球機構方式-在量產(chǎn)工藝設備上的性能驗證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷和金屬觸摸驅動無顆粒-已向中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備,，設備廠批量供貨，已得到品質認可,，已完成對半導體Utility設備和批量生產(chǎn)設備的驗證,，而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅動產(chǎn)生大量顆粒。使用鋼陶瓷球,，與金屬摩擦時不會損壞,，金屬與陶瓷球之間不會產(chǎn)生Particle，半永久板簧（SUS鋼板）的應用確保閥門驅動同步性,，采用了固定球導向器和鋼陶瓷,。微泰半導體閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,?？商娲鶫VA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽ｉl閥的結構緊湊,，閥門剛性好,，通道流暢，流阻數(shù)小,，密封面采用不銹鋼和硬質合金,，使用壽命長。超大型真空閘閥法蘭閘閥

微泰,，加熱閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點是*使用加熱套或內(nèi)部加熱器加熱*加熱控制器*應用:去除粉末/氣體設備。加熱閘閥規(guī)格如下：驅動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：ISO、JIS,、ASA,、CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 12 ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機構溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。全真空閘閥三星半導體閘閥形體簡單，結構長度短,，制造工藝性好,，適用范圍廣。

微泰半導體主加工設備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，鋁閘閥（AL Gate Valve）-產(chǎn)品范圍：1.5英寸~10英寸-12英寸可生產(chǎn)的產(chǎn)品尺寸,，閥體材料：鋁、氣動,、緊湊設計,、重量輕。閘門,，閥蓋密封：Viton O-Ring使用次數(shù)：100000次,，易于維護，低顆粒（陶瓷球機構）,。- Body Material : Aluminum  - Pneumatic - Compact Design- Light of weight - Gate, Bonnet Seal : Viton O-Ring - Cycles until first service : 100,000 - Easy Maintenance - Low Particle (Ceramic Ball Mechanism),，微泰半導體主加工設備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥、VAT閘閥,。

微泰,，超高壓閘閥應用于? Evaporation? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? 蝕刻? Diffusion?CVD等設備上,。期特點是*陶瓷球機構產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應用:研發(fā)和工業(yè)中的UHV隔離,。高壓閘閥規(guī)格如下：驅動方式：手動或氣動、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：CF,、連接方式：焊接波紋管（AM350或STS316L）、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：銅墊圈,、響應時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、初次維護前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、CTemperature for Actuator≤ 150 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。金屬材料高壓閘閥主要有：碳鋼閥門,、合金鋼閥門、不銹鋼閥門,、鑄鐵閥門,、鈦合金閥門,、銅合金閥門等。

微泰,，傳輸閥 (I-MOTION),、I型轉換閥、輸送閥,、轉移閥應用于晶圓加工,，半導體加工，可替代VAT閘閥,。其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設計? 使用維修配件工具包易于維護? 應用：半導體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,，傳輸閥 (I-MOTION)、輸送閥,、轉移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (I-MOTION),、右動轉換閥、驅動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 ,、連接方式：焊接波紋管、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應時間：≤ 2 sec、工作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1200 mbar,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、開啟時壓差： ≤ 1200 mbar r、泄漏率不銹鋼：< 1×10 -9Mbar?/秒/鋁：< 1×10 -5  mbar ?/秒,、維護前可用次數(shù)： ≥1,000,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機構溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。閘閥（gate valve）是一個啟閉件閘板，閘板的運動方向與流體方向相垂直,，閘閥只能作全開和全關,。Diffusion閘閥L型轉移閥

真空閘閥廣泛應用于各種真空系統(tǒng)和工藝過程中，如半導體生產(chǎn),、電子設備制造,、科研實驗、航空航天等領域,。超大型真空閘閥法蘭閘閥

微泰,，大閘閥、大型閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。可替代VAT閘閥,。微泰大閘閥,、大型閘閥其特點是*陶瓷球機構產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥。大閘閥,、大型閘閥規(guī)格如下：驅動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?、 法蘭型：ISO,、JIS,、ASA 、饋通：Viton O-Rin,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應時間：可調(diào)節(jié),、工作壓力范圍：1×10-8 mbar to 1000 mbar ,、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 100,000次、開啟時壓差 ≤ 30 mba,、泄漏率 < 1×10 -9  mbar ?/sec,、閥體溫度≤ 150 °、機構溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：6~ 8 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。 超大型真空閘閥法蘭閘閥