微泰高壓閘閥可以應(yīng)用于多種設(shè)備,，如蒸發(fā),、濺射、金剛石生長,、PECV,、PVD集群、卷對卷,、涂層,、蝕刻、擴散和CVD等,。它具有陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒和易于維護等特點,，可替代VAT閘閥。該閥門的規(guī)格包括手動或氣動驅(qū)動方式,、1.5英寸至14英寸的法蘭尺寸,、CF法蘭類型、焊接波紋管連接方式,、氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM閥門密封,、氟橡膠O型圈閥蓋密封、≤2秒響應(yīng)時間,、1.5?至6?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1400 mbar,，8?至14?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1200 mbar、≤30 mbar的開始時壓差,、≤1400 mbar的6?以下閘門差動壓力和≤1200 mbar的8?至14?閘門差動壓力,、<1×10 -10 Mbar/秒的泄漏率、250,000次維護前可用次數(shù),、閥體溫度≤200°,、機構(gòu)溫度≤80°C、烤爐溫度≤150°C,、閥體不銹鋼304或316L和驅(qū)動器鋁6061陽極氧化,、任意安裝位置和4至7 bar的N2操作壓力。此外,，微泰高壓閘閥已在中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其他設(shè)備上得到應(yīng)用,。如果您需要了解更多關(guān)于微泰高壓閘閥的信息，請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。非金屬材料高壓閘閥有陶瓷閥門、玻璃閥門,、塑料閥門,。晶圓閘閥手動閥

微泰，高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。其特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:隔離泵,。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動、法蘭尺寸：1.5英寸~ 14英寸,、法蘭類型：CF,、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、維護前可用次數(shù)：250,000次,、閥體溫度≤ 200 °,、機構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。手動閘閥TRANSFER VALVE真空閘閥廣泛應(yīng)用于各個行業(yè)，包括半導(dǎo)體制造,、研發(fā),、分析類儀器和真空鍍膜。

微泰主要產(chǎn)品有1,、-手動鎖定閥：操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭：2,、特殊閥門：全金屬配件構(gòu)成，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成,；3,、三位閥：半開功能的壓力控制閥。氣動閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；手動（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次,；專門用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次，響應(yīng)時間：0.2秒客戶指定的法蘭,，可安裝角閥,；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒；有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，控制系統(tǒng)閘閥，控制閘閥,、控制系統(tǒng)插板閥,、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁Ｎ⑻┌雽?dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，三重防護閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）等設(shè)備,。

微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨特的三重保護保護環(huán)機能：采用鋁質(zhì)材料，減輕重量的同時提高保護環(huán)內(nèi)部粗糙度，有效防止工程副產(chǎn)物的堆積黏附,；通過提升保護環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計,，且保護環(huán)逐步收窄，進一步提升流速,，防止粉塵黏附,；采用三元系 O 型圈，確保保護環(huán)驅(qū)動穩(wěn)定,，可保證 30 萬次驅(qū)動,。該閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，能夠替代 HVA 閘閥,、VAT 閘閥。此閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。控制系統(tǒng)閘閥,?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。手動閘閥TRANSFER VALVE

為了避免在顆粒敏感應(yīng)用中產(chǎn)生顆粒，滑動閘門機構(gòu)的設(shè)計旨在避免閥殼處的摩擦,。晶圓閘閥手動閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。這節(jié)介紹加熱閘閥,、加熱式閘閥護套、加熱器插入式閥門,。帶加熱器閘閥,，加熱器插入閘閥：產(chǎn)品范圍：2~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒；客戶指定法蘭，加熱溫度：450℃,；蝶形閥,；蝶閥：產(chǎn)品范圍：DN40、DN50隔離?泄漏率：1.0E-9mbar·l/秒,；有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰揪A閘閥手動閥