微泰半導(dǎo)體閘閥的特點,，首先介紹一下起三重保護的保護環(huán)機能,，采用鋁質(zhì)材料減少重量，并提高保護環(huán)的內(nèi)部粗糙度,，防止工程副產(chǎn)物堆積黏附,。提升保護環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計，保護環(huán)逐步收窄,，提升流速,，防止粉塵黏附。采用三元系O型圈,，保證保護環(huán)驅(qū)動穩(wěn)定（保證30萬次驅(qū)動）,。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶫VA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽Ｕ婵臻l閥由一個滑動門或板組成,，可以移動以阻止或允許通過真空閥體,，從而有效地將腔室與外部環(huán)境隔離。蝕刻閘閥TRANSFER VALVE

微泰半導(dǎo)體閘閥與其他類型閘閥相比,，具有以下一些優(yōu)勢：1. 高精度控制：能更精確地調(diào)節(jié)流體流量,。2. 適應(yīng)半導(dǎo)體環(huán)境：對溫度、真空等條件有更好的適應(yīng)性,。3. 低顆粒產(chǎn)生：減少對晶圓等的污染,。4. 長壽命和可靠性：確保穩(wěn)定運行，減少維護成本,。5. 多功能應(yīng)用：可適用于多種半導(dǎo)體工藝設(shè)備,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁０雽?dǎo)體閘閥蝶閥控制系統(tǒng)閘閥,?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。

微泰，大閘閥,、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。微泰大閘閥、大型閘閥其特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥,。大閘閥,、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?,、 法蘭型：ISO、JIS,、ASA ,、饋通：Viton O-Rin、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：可調(diào)節(jié)、工作壓力范圍：1×10-8 mbar to 1000 mbar ,、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 100,000次、開啟時壓差 ≤ 30 mba、泄漏率 < 1×10 -9  mbar ?/sec,、閥體溫度≤ 150 °,、機構(gòu)溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：6~ 8 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?

微泰,，超高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? 蝕刻? Diffusion?CVD等設(shè)備上。期特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:研發(fā)和工業(yè)中的UHV隔離,。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸、法蘭類型：CF,、連接方式：焊接波紋管（AM350或STS316L）,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：銅墊圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、初次維護前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 150 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C,、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。

微泰，傳輸閥 (L-MOTION),、L型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工,，半導(dǎo)體加工,，可替代VAT閘閥。其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 使用維修配件工具包易于維護? 應(yīng)用：半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,，傳輸閥 (L-MOTION),、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (L-MOTION),、左動轉(zhuǎn)換閥,、驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 ,、連接方式：焊接波紋管,、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、工作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1200 mbar、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、開啟時壓差： ≤ 1200 mbar r,、泄漏率不銹鋼：< 1×10 -9Mbar?/秒/鋁：< 1×10 -5  mbar ?/秒、維護前可用次數(shù)： ≥1,000,000次,、閥體溫度≤ 200 °,、機構(gòu)溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 200 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。 微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，三重防護閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）等設(shè)備。全真空閘閥Micron

真空閘閥的設(shè)計具有獨特的特征,。它們具有堅固的結(jié)構(gòu),，通常使用不銹鋼或鋁等材料來抵抗真空條件。蝕刻閘閥TRANSFER VALVE

微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400,、（內(nèi)徑）200×1800、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar,、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,000次,、閥體溫度≤ 200 °,、機構(gòu)溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：材料：不銹鋼304,、A5083~A7075、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：6 ~ 8 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。蝕刻閘閥TRANSFER VALVE