微泰,傳輸閥,、轉換閥,、輸送閥,、轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的溝槽,。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關閉造成的真空壓力變化，使腔室內的真空壓力得以維持,。負責門控半導體晶圓轉移的傳輸閥,、轉換閥、輸送閥,、轉移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ,，50 x 336 / 56 x 500 ,，? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified Flanges ，轉移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室。本型的特點是葉片在垂直方向上快速移動,，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導向系統(tǒng)和單連桿的內部機構，保證高耐用性和長壽命,。二,、L型轉移閥。L型轉移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造,，其特點是設計緊湊,，易于維護。I型和L型轉移閥在在閘門開啟和關閉過程中極大限度地減少了振動,，并且對溫度變化非常穩(wěn)定,，確保了較長的使用壽命。此外,，即使長時間使用柵極,，它們產(chǎn)生的顆粒也很少，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染,。微泰不斷創(chuàng)新,，在開發(fā)先進的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力。高壓閘閥按閥桿螺紋的位置分外螺紋式,、內螺紋式,、法蘭、焊接等,。按介質的流向分,，有直通式、直流式和角式,?？刂崎l閥L型轉移閥

微泰，鋁閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。期特點是*不論什么工藝的設備都可以使用*由半永久性陶瓷球和彈簧組成*應用:隔離泵。鋁閘閥規(guī)格如下：驅動方式：手動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 10英寸,、閥體：AL6061 (Anodizing)、機械裝置：AL6061 (Anodizing),、閥門：O型圈(VITON),、真空密封：O型圈(VITON),、響應時間≤ 3 sec、驅動器：氣缸,、操作泄漏率< 1×10-10 mbar ?/sec,、壓力范圍：< 1×10-10 mbar ?/sec、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、初次維護前可用次數(shù)100,000次,、閥體溫度≤ 120 °執(zhí)行機構溫度≤ 60 °C、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績?？商娲鶹AT閥門,。低真空閘閥TRANSFER VALVE控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進電機操作，而多定位閘閥使用氣動控制操作,。

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥,，有氣動多位置閘閥（氣動多定位閘閥、多定位插板閥,、Pneumatic Multi Position）,、氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥，蝶閥,，Butterfly Valve,，步進電機插板閥Stepper Motor Gate Valve，加熱插板閥（加熱閘閥Heating gate valve）,，鋁閘閥（AL Gate Valve）,，三重防護閘閥，應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥，多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門,。它在閥門的頂部有一個內置控制器，可以在本地和遠程模式下操作,。它還具有緊急關閉功能,，以應對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。其特點之一是能夠遠程檢查閥門狀態(tài),，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作,，適用于需要壓力控制的所有加工領域。采用手動調節(jié)控制裝置控制,，用戶可直接控制閘門的開啟和關閉,，以調節(jié)壓力。微泰半導體多定位閘閥被廣泛應用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）、CVD（化學氣相沉積）等設備上,，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁Ｕ婵臻l閥是真空系統(tǒng)中用于控制氣體進出真空室的機械裝置,。

微泰半導體閘閥的特點：插板閥主滑閥的球機構方式-在量產(chǎn)工藝設備上的性能驗證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷和金屬觸摸驅動無顆粒-已向中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備,，設備廠批量供貨，已得到品質認可,，已完成對半導體Utility設備和批量生產(chǎn)設備的驗證,，而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅動產(chǎn)生大量顆粒。使用鋼陶瓷球,，與金屬摩擦時不會損壞,，金屬與陶瓷球之間不會產(chǎn)生Particle，半永久板簧（SUS鋼板）的應用確保閥門驅動同步性,，采用了固定球導向器和鋼陶瓷,。微泰半導體閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,?？商娲鶫VA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽＝饘俨牧细邏洪l閥主要有：碳鋼閥門,、合金鋼閥門,、不銹鋼閥門、鑄鐵閥門,、鈦合金閥門,、銅合金閥門等。多位閘閥楔式閘閥

閘閥高度大,，啟閉時間長,。閘板的啟閉行程較大，升降是通過螺桿進行的,?？刂崎l閥L型轉移閥

微泰轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的溝槽,。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關閉造成的真空壓力變化，使腔室內的真空壓力得以維持,。負責門控半導體晶圓轉移的轉移閥分為兩種類型:I型和L型,。一,、I型轉移閥。I型轉移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室,。本型的特點是葉片在垂直方向上快速移動，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導向系統(tǒng)和單連桿的內部機構,，保證高耐用性和長壽命。二,、L型轉移閥,。L型轉移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造，其特點是設計緊湊,，易于維護,。L型轉移閥的特點是閘門在兩個階段從垂直到水平方向移動，確保完美的腔室壓力維護,。它的內部機構,，包括一個LM導向系統(tǒng)和滯留彈簧和楔形營地結構,，保證了高耐用性和長壽命,，同時提供穩(wěn)定和精確的運動。I型和L型轉移閥在在閘門開啟和關閉過程中極大限度地減少了振動,，并且對溫度變化非常穩(wěn)定,，確保了較長的使用壽命。此外,，即使長時間使用柵極,，它們產(chǎn)生的顆粒也很少，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染,。微泰不斷創(chuàng)新,，在開發(fā)先進的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力?？刂崎l閥L型轉移閥