微泰,傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負責門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ,，50 x 336 / 56 x 500 ,，? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified Flanges ，轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。本型的特點是葉片在垂直方向上快速移動，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機構(gòu),，保證高耐用性和長壽命。二,、L型轉(zhuǎn)移閥,。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造，其特點是設(shè)計緊湊,，易于維護,。I型和L型轉(zhuǎn)移閥在在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動，并且對溫度變化非常穩(wěn)定,，確保了較長的使用壽命,。此外，即使長時間使用柵極,，它們產(chǎn)生的顆粒也很少,，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染。微泰不斷創(chuàng)新,，在開發(fā)先進的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力,。真空閘閥對于隔離不同的真空室、控制工藝過程中的氣流以及在不影響真空環(huán)境的情況下促進維護或維修很重要,?？刂崎l閥ALUMINUM GATE VALVE

真空閘閥的維護保養(yǎng)為了確保真空閘閥的正常運行和延長使用壽命，需要進行定期的維護保養(yǎng),。以下是一些常見的維護保養(yǎng)措施：1.定期檢查閥門的密封性能,，確保閥瓣和閥座之間的密封良好，防止氣體泄漏,。2.定期對閥門進行清洗,，去除閥門內(nèi)部的雜質(zhì)和污垢，保持閥門的通暢,。3.檢查閥門的驅(qū)動裝置,，確保其工作正常。對于電動或氣動執(zhí)行機構(gòu),，應(yīng)定期檢查電源或氣源供應(yīng)情況,，確保執(zhí)行機構(gòu)的穩(wěn)定運行。4.對于長期未使用的閥門,，應(yīng)定期進行啟閉操作,，以防止閥門因長期靜止而出現(xiàn)故障。5.在使用過程中,，應(yīng)避免對閥門施加過大的力矩或沖擊力,，以免損壞閥門或影響其密封性能。Diffusion閘閥BUTTERFLY VALVE閘閥體內(nèi)設(shè)一個與介質(zhì)流向成垂直方向的平面閘板,，靠這一閘板的升降來開啟或關(guān)閉介質(zhì)的通路,。

微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導(dǎo)體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,，并極大限度地減少由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化，以維持腔室內(nèi)的真空壓力,。I型轉(zhuǎn)移閥由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。其特點是葉片在垂直方向上快速移動,，以確保完美的腔室壓力維持,。而L型轉(zhuǎn)移閥也由鋁或不銹鋼制造，其特點是設(shè)計緊湊,，易于維護,。L型轉(zhuǎn)移閥的閘門在兩個階段從垂直到水平方向移動，以確保完美的腔室壓力維護,。這兩種類型的轉(zhuǎn)移閥都具有高耐用性和長壽命的優(yōu)點,，并且在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動，對溫度變化也非常穩(wěn)定,，以確保較長的使用壽命,。如果您需要了解更多關(guān)于微泰傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥的信息,，請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?/p>

閘閥（gate valve）是一個啟閉件閘板,，閘板的運動方向與流體方向相垂直,，閘閥只能作全開和全關(guān)，不能作調(diào)節(jié)和節(jié)流,。閘閥通過閥座和閘板接觸進行密封,，通常密封面會堆焊金屬材料以增加耐磨性，如堆焊1Cr13,、STL6,、不銹鋼等。閘板有剛性閘板和彈性閘板,，根據(jù)閘板的不同,，閘閥分為剛性閘閥和彈性閘閥。閘閥關(guān)閉時，密封面可以只依靠介質(zhì)壓力來密封,，即只依靠介質(zhì)壓力將閘板的密封面壓向另一側(cè)的閥座來保證密封面的密封,，這就是自密封。大部分閘閥是采用強制密封的,，即閥門關(guān)閉時,，要依靠外力強行將閘板壓向閥座， 以保證密封面的密封性,。為了避免在顆粒敏感應(yīng)用中產(chǎn)生顆粒，滑動閘門機構(gòu)的設(shè)計旨在避免閥殼處的摩擦,。

插板閥保養(yǎng)方法：1.檢查插板閥外觀,，確保無損壞、銹蝕或泄漏,。2.檢查閥體與管道連接是否牢固,。3.檢查閥板運動是否順暢，無卡澀現(xiàn)象,。4.檢查密封件是否完好,，如有損壞應(yīng)及時更換。5.定期對閥體進行清潔,，去除污垢和雜質(zhì),。6.檢查并潤滑閥桿和軸承部分。7.檢查電動執(zhí)行器（如有）是否正常工作,，接線無松動,。8.檢查閥門開啟和關(guān)閉指示是否準確。9.按照制造商的推薦周期進行有效的維護保養(yǎng),。定期進行有效保養(yǎng)能保證插板閥的正常工作,，延長使用壽命。閘閥形體簡單,，結(jié)構(gòu)長度短,，制造工藝性好，適用范圍廣,。Etch閘閥蝶形控制閥

控制系統(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力?？刂崎l閥ALUMINUM GATE VALVE

插板閥,，又稱手動刀型閘閥。是閘閥的一種,。刀形閘閥是一種閘板與閥座始終緊密接觸密封的閥門,，其原理是閘板上開有一個通徑大小的圓口，通過閘板啟閉使得閘板上圓口跟通徑做完全脫離和相吻合的動作。此閥門的優(yōu)點在于閥體通徑無凹槽,，介質(zhì)不會卡阻堵塞,，并且具有全通徑流通特性，其密封結(jié)構(gòu)可以分軟密封,、硬密封結(jié)構(gòu),。穿透式刀閘閥是具有精密構(gòu)造，工藝性好,，結(jié)構(gòu)緊湊等特點,，密封閥座為活動結(jié)構(gòu)設(shè)計，有防磨損和自動補償功能,，因而壽命更長,。在關(guān)閉和開啟過程中閥座跟閘板一直緊貼運動，使得閥門啟閉力穩(wěn)定,，并且具有切斷介質(zhì)等特點,。控制閘閥ALUMINUM GATE VALVE