RuO2薄膜掠入射XRD-GID引言薄膜材料就是厚度介于一個(gè)納米到幾個(gè)微米之間的單層或者多層材料,。由于厚度比較薄，薄膜材通常依附于一定的襯底材料之上,。常規(guī)的XRD測試,，X射線的穿透深度一般在幾個(gè)微米到幾十個(gè)微米，這遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于薄膜的厚度,，導(dǎo)致薄膜的信號會(huì)受到襯底的影響（圖1）,。另外，如果衍射簡單較高,，那么X射線只能輻射到部分樣品,，無法利用整個(gè)樣品的體積，衍射信號弱,。薄膜掠入射衍射（GID：GrazingIncidenceX-RayDiffraction）很好的解絕了以上問題,。所謂掠入射是指使X射線以非常小小的入射角（＜5°）照射到薄膜上，小的入射角大大減小了在薄膜中的穿透深度,，同時(shí)增加衍射顆粒的數(shù)目和x射線在薄膜中的光程,。這里有兩點(diǎn)說明：GID需要硬件配置；常規(guī)GID只適合多晶薄膜和非晶薄膜,，不適合單晶外延膜,。可在數(shù)秒內(nèi),，輕松從先焦點(diǎn)切換到點(diǎn)焦點(diǎn),，從而擴(kuò)大應(yīng)用范圍，同事縮短重新匹配的時(shí)間,。杭州織構(gòu)檢測分析

D2PHASER—數(shù)據(jù)質(zhì)量D2PHASER所具備的數(shù)據(jù)質(zhì)量和數(shù)據(jù)采集速度遠(yuǎn)超目前人們對臺式XRD系統(tǒng)的認(rèn)知,。得益于出色的分辨率、低角度和低背景,，該儀器是從相識別,、定量相分析到晶體結(jié)構(gòu)分析的所有粉末衍射應(yīng)用的理想解決方案。不僅如此——只有布魯克AXS才能在整個(gè)角度范圍內(nèi),，保證實(shí)現(xiàn)儀器對準(zhǔn)（精度等于或優(yōu)于±0.02°2θ）,。加上遵循著嚴(yán)格的儀器驗(yàn)證協(xié)議,，它可為所有應(yīng)用提供準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。由于具有出色的適應(yīng)能力,，使用D8ADVANCE,，您就可對所有類型的樣品進(jìn)行測量：從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物,。深圳購買XRD衍射儀配件更換光學(xué)期間時(shí),，無需工具，亦無需對光,，因此您可輕松快速地更改配置,。

不論您的預(yù)算如何，D8ADVANCEECO系列都能通過儀器配置為您帶來好的性能,。由于降低了對水和電力等資源的需求,，其運(yùn)營成本降低。出色的儀器質(zhì)量為可靠性提供了保證,，同時(shí)布魯克還為之提供組件質(zhì)量保證,。無外部供水成本1kW高效發(fā)生器降低電力成本，無外部冷卻器耗電延長了X射線管的使用壽命X射線管質(zhì)量保證：D8ADVANCEECO可用的所有高亮度X射線源均享有3年保修測角儀質(zhì)量保證：測角儀采用免維護(hù)的堅(jiān)固設(shè)計(jì),，可為您帶來機(jī)械強(qiáng)度和較長的使用壽命,，因此能夠?yàn)槟峁┖玫臄?shù)據(jù)質(zhì)量。其中,，布魯克提供10年保修,。儀器準(zhǔn)直保證探測器質(zhì)量保證

D8ADVANCEECO可提供高亮度1kW線焦點(diǎn)X射線源，其能耗極低,，無需外設(shè)水冷,，對實(shí)驗(yàn)室基礎(chǔ)設(shè)施亦無特殊要求。您只需準(zhǔn)備家用壁式插座即可,。因此,，您將能簡單快捷地完成安裝和定位。D8ADVANCEECO將在分析性能不打折扣的前提下,，將擁有成本和立式XRD儀器的生態(tài)足跡降至,。插件分析：無需外設(shè)水冷：每年可節(jié)約高達(dá)1.700m3的自來水耗電減少50％左右需單相電源，由于具有出色的適應(yīng)能力,，使用D8ADVANCE,，您就可對所有類型的樣品進(jìn)行測量：從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物,。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶，都可簡單快捷,、不出錯(cuò)地對配置進(jìn)行更改,。這都是通過布魯克獨(dú)特的DAVINCI設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)的：配置儀器時(shí),，免工具、免準(zhǔn)直,，同時(shí)還受到自動(dòng)化的實(shí)時(shí)組件識別與驗(yàn)證的支持,。布魯克提供基于NIST標(biāo)樣剛玉（SRM1976）的準(zhǔn)直保證。目前,，在峰位,、強(qiáng)度和分辨率方面，市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE,。在DIFFRAC.LEPTOS中,，進(jìn)行晶片分析：分析晶片的層厚度和外延層濃度的均勻性。

多層膜XRR引言X射線反射率（XRR：X-RayReflectivity）單層薄膜或多層膜中各層薄膜的密度,、膜厚,、粗糙度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的有效無損檢測手段。由于具有出色的適應(yīng)能力,，使用D8ADVANCE,，您就可對所有類型的樣品進(jìn)行測量：從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物,。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶,，都可簡單快捷、不出錯(cuò)地對配置進(jìn)行更改,。這都是通過布魯克獨(dú)特的DAVINCI設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)的：配置儀器時(shí),，免工具、免準(zhǔn)直,，同時(shí)還受到自動(dòng)化的實(shí)時(shí)組件識別與驗(yàn)證的支持,。不止如此——布魯克提供基于NIST標(biāo)樣剛玉（SRM1976）的準(zhǔn)直保證。目前,，在峰位,、強(qiáng)度和分辨率方面，市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE,。無論面對何種應(yīng)用,，DIFFRAC.DAVINCI都會(huì)指引用戶選擇較好的儀器配置。珠海全新XRD衍射儀

總散射分析：Bragg衍射,、對分布函數(shù)（PDF）,、小角X射線散射（SAXS）。杭州織構(gòu)檢測分析

D8DISCOVER特點(diǎn)：微焦源IμS配備了MONTEL光學(xué)器件的IμS微焦源可提供小X射線束,，非常適合小范圍或小樣品的研究,。1.毫米大小的光束：高亮度和很低背景2.綠色環(huán)保設(shè)計(jì)：低功耗、無耗水,、使用壽命延長3.MONTEL光學(xué)器件可優(yōu)化光束形狀和發(fā)散度4.與布魯克大量組件,、光學(xué)器件和探測器完全兼容,。5.提供各種技術(shù)前列的全集成X射線源，用于產(chǎn)生X射線,。6.工業(yè)級金屬陶瓷密封管,，可實(shí)現(xiàn)線焦斑或點(diǎn)焦斑。7.專業(yè)的TWIST-TUBE（旋轉(zhuǎn)光管）技術(shù),，可快速簡便地切換線焦斑和點(diǎn)焦斑,。8.微焦斑X射線源（IμS）可提高極小焦斑面積上的X射線通量，而功耗卻很低,。9.TURBOX射線源（TXS）旋轉(zhuǎn)陽極可為線焦斑,、點(diǎn)焦斑和微焦斑等應(yīng)用提供比較高X射線通量。10.性液態(tài)金屬靶METALJET技術(shù),，可提供無出其右的X射線光源亮度,。11.高效TurboX射線源（TXS-HE）可為點(diǎn)焦斑和線焦斑應(yīng)用提供比較高X射線通量，適用于D8DISCOVERPlus,。12.這些X射線源結(jié)合指定使用X射線光學(xué)元件,，可高效捕獲X射線，并將之轉(zhuǎn)化為針對您的應(yīng)用而優(yōu)化的X射線束,。杭州織構(gòu)檢測分析