RuO2薄膜掠入射XRD-GID引言薄膜材料就是厚度介于一個納米到幾個微米之間的單層或者多層材料。由于厚度比較薄,,薄膜材通常依附于一定的襯底材料之上,。常規(guī)的XRD測試,X射線的穿透深度一般在幾個微米到幾十個微米,,這遠遠大于薄膜的厚度,,導致薄膜的信號會受到襯底的影響(圖1)。另外,,如果衍射簡單較高,,那么X射線只能輻射到部分樣品,無法利用整個樣品的體積,,衍射信號弱,。薄膜掠入射衍射(GID:GrazingIncidenceX-RayDiffraction)很好的解絕了以上問題,。所謂掠入射是指使X射線以非常小小的入射角(<5°)照射到薄膜上,小的入射角大大減小了在薄膜中的穿透深度,,同時增加衍射顆粒的數(shù)目和x射線在薄膜中的光程,。這里有兩點說明:GID需要硬件配置;常規(guī)GID只適合多晶薄膜和非晶薄膜,,不適合單晶外延膜,。可在數(shù)秒內(nèi),,輕松從先焦點切換到點焦點,,從而擴大應用范圍,同事縮短重新匹配的時間,。杭州織構(gòu)檢測分析
D2PHASER—數(shù)據(jù)質(zhì)量D2PHASER所具備的數(shù)據(jù)質(zhì)量和數(shù)據(jù)采集速度遠超目前人們對臺式XRD系統(tǒng)的認知,。得益于出色的分辨率、低角度和低背景,,該儀器是從相識別,、定量相分析到晶體結(jié)構(gòu)分析的所有粉末衍射應用的理想解決方案,。不僅如此——只有布魯克AXS才能在整個角度范圍內(nèi),,保證實現(xiàn)儀器對準(精度等于或優(yōu)于±0.02°2θ)。加上遵循著嚴格的儀器驗證協(xié)議,,它可為所有應用提供準確數(shù)據(jù),。由于具有出色的適應能力,使用D8ADVANCE,,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末,、從薄膜到固體塊狀物。深圳購買XRD衍射儀配件更換光學期間時,,無需工具,,亦無需對光,因此您可輕松快速地更改配置,。
不論您的預算如何,,D8ADVANCEECO系列都能通過儀器配置為您帶來好的性能。由于降低了對水和電力等資源的需求,,其運營成本降低,。出色的儀器質(zhì)量為可靠性提供了保證,同時布魯克還為之提供組件質(zhì)量保證,。無外部供水成本1kW高效發(fā)生器降低電力成本,,無外部冷卻器耗電延長了X射線管的使用壽命X射線管質(zhì)量保證:D8ADVANCEECO可用的所有高亮度X射線源均享有3年保修測角儀質(zhì)量保證:測角儀采用免維護的堅固設計,可為您帶來機械強度和較長的使用壽命,,因此能夠為您提供好的數(shù)據(jù)質(zhì)量,。其中,,布魯克提供10年保修。儀器準直保證探測器質(zhì)量保證
D8ADVANCEECO可提供高亮度1kW線焦點X射線源,,其能耗極低,,無需外設水冷,對實驗室基礎設施亦無特殊要求,。您只需準備家用壁式插座即可,。因此,您將能簡單快捷地完成安裝和定位,。D8ADVANCEECO將在分析性能不打折扣的前提下,,將擁有成本和立式XRD儀器的生態(tài)足跡降至。插件分析:無需外設水冷:每年可節(jié)約高達1.700m3的自來水耗電減少50%左右需單相電源,,由于具有出色的適應能力,,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末,、從薄膜到固體塊狀物,。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶,都可簡單快捷,、不出錯地對配置進行更改,。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設計實現(xiàn)的:配置儀器時,免工具,、免準直,,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持。布魯克提供基于NIST標樣剛玉(SRM1976)的準直保證,。目前,,在峰位、強度和分辨率方面,,市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE,。在DIFFRAC.LEPTOS中,進行晶片分析:分析晶片的層厚度和外延層濃度的均勻性,。
多層膜XRR引言X射線反射率(XRR:X-RayReflectivity)單層薄膜或多層膜中各層薄膜的密度,、膜厚、粗糙度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的有效無損檢測手段,。由于具有出色的適應能力,,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末,、從薄膜到固體塊狀物,。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶,都可簡單快捷、不出錯地對配置進行更改,。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設計實現(xiàn)的:配置儀器時,,免工具、免準直,,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持,。不止如此——布魯克提供基于NIST標樣剛玉(SRM1976)的準直保證。目前,,在峰位,、強度和分辨率方面,市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE,。無論面對何種應用,,DIFFRAC.DAVINCI都會指引用戶選擇較好的儀器配置。珠海全新XRD衍射儀
總散射分析:Bragg衍射,、對分布函數(shù)(PDF),、小角X射線散射(SAXS)。杭州織構(gòu)檢測分析
D8DISCOVER特點:微焦源IμS配備了MONTEL光學器件的IμS微焦源可提供小X射線束,,非常適合小范圍或小樣品的研究,。1.毫米大小的光束:高亮度和很低背景2.綠色環(huán)保設計:低功耗、無耗水,、使用壽命延長3.MONTEL光學器件可優(yōu)化光束形狀和發(fā)散度4.與布魯克大量組件,、光學器件和探測器完全兼容。5.提供各種技術(shù)前列的全集成X射線源,,用于產(chǎn)生X射線,。6.工業(yè)級金屬陶瓷密封管,可實現(xiàn)線焦斑或點焦斑,。7.專業(yè)的TWIST-TUBE(旋轉(zhuǎn)光管)技術(shù),可快速簡便地切換線焦斑和點焦斑,。8.微焦斑X射線源(IμS)可提高極小焦斑面積上的X射線通量,,而功耗卻很低。9.TURBOX射線源(TXS)旋轉(zhuǎn)陽極可為線焦斑,、點焦斑和微焦斑等應用提供比較高X射線通量,。10.性液態(tài)金屬靶METALJET技術(shù),可提供無出其右的X射線光源亮度,。11.高效TurboX射線源(TXS-HE)可為點焦斑和線焦斑應用提供比較高X射線通量,,適用于D8DISCOVERPlus。12.這些X射線源結(jié)合指定使用X射線光學元件,,可高效捕獲X射線,,并將之轉(zhuǎn)化為針對您的應用而優(yōu)化的X射線束。杭州織構(gòu)檢測分析