超薄HfO2薄膜XRR測試引言隨著晶體管節(jié)點(diǎn)技術(shù)的發(fā)展,，薄膜厚度越來越薄,。比如高-柵介電薄膜HfO2的厚度往往小于2nm。在該技術(shù)節(jié)點(diǎn)的a20范圍內(nèi)。超薄膜的均勻性是制備Hf基柵氧化物的主要工藝難題之一,。為了控制超薄HfO2薄膜的厚度和密度，XRR是的測量技術(shù),。由于具有出色的適應(yīng)能力,，使用D8ADVANCE，您就可對所有類型的樣品進(jìn)行測量：從液體到粉末,、從薄膜到固體塊狀物,。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶，都可簡單快捷,、不出錯(cuò)地對配置進(jìn)行更改,。這都是通過布魯克獨(dú)特的DAVINCI設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)的：配置儀器時(shí)，免工具,、免準(zhǔn)直,，同時(shí)還受到自動化的實(shí)時(shí)組件識別與驗(yàn)證的支持。不止如此——布魯克提供基于NIST標(biāo)樣剛玉（SRM1976）的準(zhǔn)直保證,。目前,，在峰位、強(qiáng)度和分辨率方面,，市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE,。在DIFFRAC.TEXTURE中，使用球諧函數(shù)和分量方法,，生成極圖,、取向分布函數(shù)（ODF）和體積定量分析。江蘇檢測實(shí)驗(yàn)室XRD衍射儀

RuO2薄膜掠入射XRD-GID引言薄膜材料就是厚度介于一個(gè)納米到幾個(gè)微米之間的單層或者多層材料。由于厚度比較薄,，薄膜材通常依附于一定的襯底材料之上,。常規(guī)的XRD測試，X射線的穿透深度一般在幾個(gè)微米到幾十個(gè)微米,，這遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于薄膜的厚度,，導(dǎo)致薄膜的信號會受到襯底的影響（圖1）。另外,，如果衍射簡單較高,，那么X射線只能輻射到部分樣品，無法利用整個(gè)樣品的體積,，衍射信號弱,。薄膜掠入射衍射（GID：GrazingIncidenceX-RayDiffraction）很好的解絕了以上問題。所謂掠入射是指使X射線以非常小小的入射角（＜5°）照射到薄膜上,，小的入射角大大減小了在薄膜中的穿透深度,，同時(shí)增加衍射顆粒的數(shù)目和x射線在薄膜中的光程。這里有兩點(diǎn)說明：GID需要硬件配置,；常規(guī)GID只適合多晶薄膜和非晶薄膜,，不適合單晶外延膜。x射線衍射在DIFFRAC.LEPTOS中,，對多層樣品進(jìn)行XRR分析,，測定其薄膜厚度、晶格失配和混合晶體濃度,。

D8DISCOVER應(yīng)用范圍材料研究殘余應(yīng)力分析,、織構(gòu)和極圖、微區(qū)X射線衍射,、廣角X射線散射（WAXS）XRD可研究材料的結(jié)構(gòu)和物理特性,，是重要的材料研究工具之一。D8DISCOVER就是布魯克推出的,、用于材料研究的旗艦款XRD儀器,。D8DISCOVER配備了技術(shù)超過的組件，可為您帶來較好的性能和充分的靈活性,，同時(shí)讓研究人員對材料進(jìn)行細(xì)致入微的表征：定性相分析和結(jié)構(gòu)測定微米應(yīng)變和微晶尺寸分析應(yīng)力和織構(gòu)分析粒度和粒度分布測定使用微米大小的X射線束進(jìn)行局部XRD分析倒易空間掃描

蒙脫石散及雜質(zhì)的鑒定引言蒙脫石散常見的用于用于成人及兒童急,、慢性腹瀉的藥物。蒙脫石散的主要成分為層狀結(jié)構(gòu)的粘土礦物蒙脫石,。根據(jù)中國藥典，蒙脫石散的鑒別和雜質(zhì)含量的分析的主要手段為XRD,。不論在何種應(yīng)用場合,，它都是您的推薦探測器：高的計(jì)數(shù)率、動態(tài)范圍和能量分辨率。布魯克提供基于NIST標(biāo)樣剛玉（SRM1976c）整個(gè)角度范圍內(nèi)的準(zhǔn)直保證,。D8衍射儀系列平臺的D8ADVANCE,，是所有X射線粉末衍射和散射應(yīng)用的理想之選，如：典型的X射線粉末衍射（XRD）對分布函數(shù)（PDF）分析小角X射線散射（SAXS）和廣角X射線散射（WAXS）在DIFFRAC.LEPTOS中,，對多層樣品的薄膜厚度,、界面粗糙度和密度進(jìn)行XRR分析。

對于需要探索材料極限的工業(yè)金屬樣品,，通常需要進(jìn)行殘余應(yīng)力和織構(gòu)測量,。通過消除樣品表面的拉應(yīng)力或引起壓應(yīng)力，可延長其功能壽命,。這可通過熱處理或噴丸處理等物理工藝來完成,。構(gòu)成塊狀樣品的微晶的取向，決定了裂紋的生長方式,。而通過在材料中形成特定的織構(gòu),，可顯著增強(qiáng)其特性。這兩種技術(shù)在優(yōu)化制造法（例如增材制造）領(lǐng)域也占有一席之地,。由于具有出色的適應(yīng)能力,，使用D8ADVANCE，您就可對所有類型的樣品進(jìn)行測量：從液體到粉末,、從薄膜到固體塊狀物,。UMC樣品臺通常用于分析大塊樣品、掃描測量應(yīng)用和涂層分析,，也能測量多個(gè)小樣品或用于執(zhí)行非環(huán)境實(shí)驗(yàn),。廣州布魯克XRD衍射儀配件

D8測角儀巨有市場超前地精確度，為布魯克獨(dú)有的準(zhǔn)直保證奠定了基礎(chǔ),。江蘇檢測實(shí)驗(yàn)室XRD衍射儀

薄膜和涂層分析采用的原理與XRPD相同,，不過進(jìn)一步提供了光束調(diào)節(jié)和角度控制功能。典型示例包括但不限于相鑒定,、晶體質(zhì)量,、殘余應(yīng)力、織構(gòu)分析,、厚度測定以及組分與應(yīng)變分析,。在對薄膜和涂層進(jìn)行分析時(shí)，著重對厚度在nm和μm之間的層狀材料進(jìn)行特性分析（從非晶和多晶涂層到外延生長薄膜）,。D8ADVANCE和DIFFRAC.SUITE軟件可進(jìn)行以下高質(zhì)量的薄膜分析：掠入射衍射X射線反射法高分辨率X射線衍射倒易空間掃描由于具有出色的適應(yīng)能力,，使用D8ADVANCE，您就可對所有類型的樣品進(jìn)行測量：從液體到粉末,、從薄膜到固體塊狀物,。江蘇檢測實(shí)驗(yàn)室XRD衍射儀