MEMS多重轉(zhuǎn)印工藝實(shí)現(xiàn)硬質(zhì)塑料芯片快速成型：MEMS多重轉(zhuǎn)印工藝是公司**技術(shù)之一，實(shí)現(xiàn)了從設(shè)計(jì)圖紙到硬質(zhì)塑料芯片的快速制造，**短周期*需10個(gè)工作日,。該工藝流程包括掩膜設(shè)計(jì)、硅基模具制備,、熱壓轉(zhuǎn)印及后處理三大環(huán)節(jié)：首先通過(guò)光刻技術(shù)在硅片上制備高精度模具，然后利用熱壓成型將微結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印至PMMA,、COC等硬質(zhì)塑料基板,，**終通過(guò)切割、打孔完成芯片封裝,。相比傳統(tǒng)注塑工藝，該技術(shù)***降低了小批量生產(chǎn)的模具成本（降幅達(dá)70%）,，尤其適合研發(fā)階段的快速迭代,。例如，某客戶(hù)開(kāi)發(fā)的便攜式血糖檢測(cè)芯片,，通過(guò)該工藝在2周內(nèi)完成3版樣品測(cè)試,，將研發(fā)周期縮短40%。公司可加工的塑料材質(zhì)覆蓋多種極性與非極性材料,，兼容熒光檢測(cè),、電化學(xué)傳感等功能模塊集成，為POCT設(shè)備廠(chǎng)商提供了低成本,、高效率的原型開(kāi)發(fā)與小批量生產(chǎn)解決方案,。為什么微流控芯片對(duì)我們很重要？陜西微流控芯片市場(chǎng)

心臟組織微流控芯片（HoC）是一種先進(jìn)的OoC,，它模仿了服用劑型或特定藥物分子后人類(lèi)心臟的整體生理學(xué),。使用該芯片已經(jīng)觀(guān)察到一些不良反應(yīng)。Mathur等人在2015年證明了動(dòng)物試驗(yàn)不足以估計(jì)測(cè)試藥物分子相對(duì)于人體的確切藥代動(dòng)力學(xué)和藥效學(xué)。為此,，微流控芯片技術(shù)在心血管疾病研究,，心血管相關(guān)藥物開(kāi)發(fā)，心臟毒性分析以及心臟組織再生研究中起著至關(guān)重要的作用,。Sidorov等人于2016年創(chuàng)建了一個(gè)I-wired HoC,。他們檢測(cè)到心肌收縮，這是通過(guò)倒置光學(xué)顯微鏡測(cè)量的,。此外,，工程化的3D心臟組織構(gòu)建體（ECTC）現(xiàn)在能夠在正常和患病條件下復(fù)制心臟組織的復(fù)雜生理學(xué)。圖1C顯示了心臟組織微流控芯片的示意圖,，其中上層由心臟上皮細(xì)胞組成,，下層由心臟內(nèi)皮細(xì)胞組成。兩層都被多孔膜隔開(kāi),。它還包括有助于抽血的真空室,。廣東微流控芯片的應(yīng)用微孔陣列技術(shù)實(shí)現(xiàn)液滴陣列化，用于數(shù)字 PCR,、高通量藥物篩選等場(chǎng)景,。

微米級(jí)尺度微流控芯片的精密加工與應(yīng)用：在0.5-5μm微米級(jí)尺度微流控芯片加工領(lǐng)域，公司依托MEMS光刻,、深硅刻蝕及納米壓印等技術(shù),，實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)精度的微流道、微孔陣列及三維結(jié)構(gòu)制造,。電鏡下可見(jiàn)的精細(xì)流道網(wǎng)絡(luò),，其寬度誤差可控制在±50nm以?xún)?nèi)，適用于單分子檢測(cè),、液滴生成等超高精度場(chǎng)景,。例如，在單分子免疫檢測(cè)芯片中,，微米級(jí)微孔陣列可實(shí)現(xiàn)單個(gè)生物分子的捕獲與熒光信號(hào)放大,，檢測(cè)靈敏度較傳統(tǒng)方法提升10倍以上。該尺度芯片的加工難點(diǎn)在于材料刻蝕均勻性與表面粗糙度控制,，公司通過(guò)干濕結(jié)合刻蝕工藝與表面化學(xué)修飾技術(shù),，解決了高深寬比結(jié)構(gòu)（如10:1以上）的加工瓶頸，成功應(yīng)用于外泌體分選,、循環(huán)腫瘤細(xì)胞捕獲等前沿生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,，為精細(xì)醫(yī)療提供器件支撐。

美國(guó)圣母大學(xué)(University of Notre Dame)的Hsueh-Chia Chang博士與微生物學(xué)家和免疫檢測(cè)professor合作研究,，提高了微流控分析設(shè)備檢測(cè)細(xì)胞和生物分子的速度和靈敏性,。同時(shí),，Chang對(duì)交流電動(dòng)電學(xué)進(jìn)行了改善，因?yàn)樗J(rèn)為交流電（AC）可作為選擇平臺(tái),，驅(qū)動(dòng)流體通過(guò)用于醫(yī)學(xué)和研究的微流控分析儀,。微流控分析儀的驅(qū)動(dòng)機(jī)制是常規(guī)的直流電動(dòng)電學(xué)，但是使用時(shí)容易產(chǎn)生氣泡并引起物質(zhì)在電極發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的缺點(diǎn)限制了直流電的應(yīng)用,，此外,，為保證其對(duì)流量的精確控制，直流電極必須放置在儲(chǔ)液池中,，不能直接連接在電路中,。apparatus微流控芯片的應(yīng)用。

柔性電極芯片在腦機(jī)接口中的關(guān)鍵加工工藝：腦機(jī)接口技術(shù)對(duì)柔性電極的超薄化,、生物相容性及信號(hào)穩(wěn)定性提出極高要求,。公司利用MEMS薄膜沉積與光刻技術(shù)，在聚酰亞胺（PI）或PDMS柔性基板上制備厚度<10μm的金屬電極陣列,，電極間距可達(dá)20μm,，實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)神經(jīng)元電信號(hào)的精細(xì)記錄。通過(guò)濕法刻蝕形成柔性支撐結(jié)構(gòu),，配合邊緣圓潤(rùn)化處理,，將手術(shù)植入時(shí)的腦組織損傷風(fēng)險(xiǎn)降低60%以上。表面涂層采用聚乙二醇（PEG）與氮化硅復(fù)合層,，有效抑制蛋白吸附與炎癥反應(yīng),，使電極壽命延長(zhǎng)至6個(gè)月以上。典型產(chǎn)品MEA柔性電極已應(yīng)用于癲癇病灶定位與神經(jīng)康復(fù)設(shè)備,，其高柔韌性可貼合腦溝回復(fù)雜曲面,，信號(hào)信噪比提升30%，為神經(jīng)科學(xué)研究與臨床醫(yī)治提供了突破性解決方案,。微流控技術(shù)能夠把樣本檢測(cè)整個(gè)過(guò)程集中在幾厘米的芯片上,。多功能微流控芯片組成

微流控芯片通過(guò)設(shè)計(jì)可以呈現(xiàn)多流道的形式。陜西微流控芯片市場(chǎng)

什么是微流控技術(shù),？微流控技術(shù)是一門(mén)精確控制和操縱流體的科學(xué)技術(shù)，這些流體在幾何空間上被限制在小規(guī)模流道中,，通常流道系統(tǒng)的直徑低于100μm,。對(duì)于科學(xué)家和工程師來(lái)講，微流體一詞的使用方式存在不同,；對(duì)許多教授來(lái)說(shuō),，微流控是一個(gè)科學(xué)領(lǐng)域，主要應(yīng)用于通過(guò)直徑在100微米（μm）到1微米之間的流道研究和操縱微量流體,。對(duì)微流控工程師來(lái)講,，微流控芯片（通常稱(chēng)為：生物MEMS芯片）的制造,，主要是為了引導(dǎo)流體在直徑為100μm至1μm的流道系統(tǒng)中流動(dòng)。陜西微流控芯片市場(chǎng)