硅片微流道加工在微納器件中的應(yīng)用拓展：硅片作為MEMS工藝的主流材料,，在微流控芯片中兼具機(jī)械強(qiáng)度與加工精度優(yōu)勢,。公司利用深硅刻蝕（DRIE）技術(shù)實(shí)現(xiàn)高深寬比（>20:1）微流道加工，深度可達(dá)500μm以上,，適用于高壓流體控制,、微反應(yīng)器等場景。硅片表面通過熱氧化或氮化處理形成絕緣層,，可集成微電極,、壓力傳感器等功能單元，構(gòu)建“芯片實(shí)驗(yàn)室”（Lab-on-a-Chip）系統(tǒng),。例如,，在腦機(jī)接口柔性電極芯片中，硅基微流道與鉑銥電極的集成設(shè)計(jì),，實(shí)現(xiàn)了神經(jīng)信號記錄與藥物微灌注的同步功能,，其生物相容性通過表面PEG涂層優(yōu)化，可長期植入體內(nèi)穩(wěn)定工作,。公司還開發(fā)了硅片與PDMS,、玻璃的異質(zhì)鍵合技術(shù),，解決了不同材料熱膨脹系數(shù)差異導(dǎo)致的應(yīng)力問題，推動(dòng)硅基微流控芯片在生物醫(yī)學(xué),、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域的跨學(xué)科應(yīng)用,。推動(dòng)微流控芯片技術(shù)的進(jìn)步,。遼寧微流控芯片分析儀

微流控芯片的硅質(zhì)材料加工工藝：是在硅材料的加工中,，光刻(lithography)和濕法刻蝕(wetetching)技術(shù)是2種常規(guī)工藝,。由于硅材料具有良好的光潔度和很成熟的加工工藝,，主要用于加工微泵、微閥等液流驅(qū)動(dòng)和控制器件,，或者在熱壓法和模塑法中作為高分子聚合物材料加工的陽模,。光刻是用光膠、掩模和紫外光進(jìn)行微制造,。光刻和濕法蝕刻技術(shù)通常由薄膜沉淀,、光刻、刻蝕3個(gè)工序組成,。在薄膜表面用甩膠機(jī)均勻地附上一層光膠,。然后將掩模上的圖像轉(zhuǎn)移到光膠層上，此步驟首先在基片上覆蓋一層薄膜,，為光刻,。再將光刻上的圖像，轉(zhuǎn)移到薄膜,，并在基片上加工一定深度的微結(jié)構(gòu),，此步驟完成了蝕刻。陜西微流控芯片檢測系統(tǒng)微流控芯片技術(shù)用于單細(xì)胞分析,。

微流控芯片與傳感器集成的模塊化加工方案：為滿足“芯片即實(shí)驗(yàn)室”的集成化需求,，公司提供微流控芯片與傳感器的模塊化加工服務(wù)，實(shí)現(xiàn)流體控制與信號檢測的一體化設(shè)計(jì),。在生物傳感芯片中,，微流道下游集成電化學(xué)傳感器（如碳電極陣列）或光學(xué)傳感器（如熒光檢測窗口），通過微閥控制實(shí)現(xiàn)樣品進(jìn)樣,、清洗及信號讀取的自動(dòng)化,。例如，POCT血糖儀芯片將血樣引入微流道后,，通過酶電極實(shí)時(shí)檢測葡萄糖氧化反應(yīng)電流,，整個(gè)過程在30秒內(nèi)完成，檢測精度與傳統(tǒng)血糖儀一致,，但體積縮小80%,。加工過程中,，公司解決了傳感器與流道的密封兼容性問題，采用激光焊接與導(dǎo)電膠鍵合技術(shù),，確保信號傳輸穩(wěn)定性與流體零泄漏,。該模塊化方案支持定制化功能組合，適用于食品安全快速篩查等便攜式設(shè)備,，為現(xiàn)場即時(shí)檢測（POCT）提供了高效集成平臺,。

微流控芯片技術(shù)是生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域的新興工具。微流控芯片具有在不同材料（玻璃,，硅或聚合物,，如聚二甲基硅氧烷或PDMS，聚甲基丙烯酸甲酯或PMMA）上的一組凹槽或微通道,。形成微流控芯片的微通道彼此互連以獲得期望的結(jié)果,。微流控芯片中的微通道的組織通過穿透芯片的輸入和輸出與外部相關(guān)聯(lián)，作為宏觀和微觀世界之間的界面,。在泵和芯片的幫助下,，微流控芯片有助于確定微流控的行為變化。芯片內(nèi)部有微流控通道,，可以處理流體,。微流控芯片具有許多優(yōu)點(diǎn)，包括較少的時(shí)間和試劑利用率,，除此之外,，它還可以同時(shí)執(zhí)行許多操作。芯片的微型尺寸隨著表面積的增加而加快反應(yīng),。在接下來的文章中,，我們著重討論各種微流控芯片的設(shè)計(jì)及其生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用。利用微流控芯片對cancer標(biāo)志物檢測,。

微流控芯片在石英和玻璃的加工中,，常常利用不同化學(xué)方法對其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術(shù)將微通道等微結(jié)構(gòu)加工在上面,。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異,，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機(jī)均勻的覆蓋一層光刻膠,；2)利用光刻掩模遮擋,，用紫外光照射，光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng),；3)用顯影法去掉已曝光的光膠,，用化學(xué)腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案；4)用適當(dāng)?shù)目涛g劑在基片上刻蝕通道,；5)刻蝕結(jié)束后,，除去光刻膠,，打孔后和玻璃蓋片鍵合。標(biāo)準(zhǔn)光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環(huán)境,，無法實(shí)現(xiàn)快速批量生產(chǎn),。利用微流控芯片做抗體檢測。青海微流控芯片誠信合作

基于MEMS發(fā)展而來的微流控芯片技術(shù),。遼寧微流控芯片分析儀

微流控芯片反應(yīng)信號的收集和分析的難題：由于反應(yīng)體系較小,，故而只產(chǎn)生較低的信號強(qiáng)度，如何收集并分析芯片中產(chǎn)生的信號,，是微流控芯片研究的另一項(xiàng)重點(diǎn),，因此，微流控芯片大多需要龐大的信號讀取和分析設(shè)備,。近年來便攜性,、自動(dòng)化,、敏感的新型微流控芯片讀取設(shè)備受到科研人員關(guān)注,。Hu等設(shè)計(jì)和制造的自動(dòng)化微流控芯片檢測儀器，體積小,，功能完善,，能夠自動(dòng)連接微流控芯片壓力出口和蠕動(dòng)泵的負(fù)壓連接器，精確地操控微量液體,，并通過內(nèi)置檢測和分析模塊,，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化、可重復(fù)的快速免疫分析,。此外一些團(tuán)隊(duì)已設(shè)計(jì)出體積更小的手持式設(shè)備用于定量測量反應(yīng)信號遼寧微流控芯片分析儀