MEMS超表面對(duì)特性的調(diào)控：

1.超表面meta-surface對(duì)偏振的調(diào)控：在偏振方面,，超表面可實(shí)現(xiàn)偏振轉(zhuǎn)換、旋光,、矢量光束產(chǎn)生等功能,。

2.超表面meta-surface對(duì)振幅的調(diào)控。超表面可以實(shí)現(xiàn)光的非對(duì)稱透過,、消反射,、增透射、磁鏡,、類EIT效應(yīng)等,。

3.超表面meta-surface對(duì)頻率的調(diào)控。超表面的微結(jié)構(gòu)在共振情況下可實(shí)現(xiàn)較強(qiáng)的局域場(chǎng)增強(qiáng),，利用這些局域場(chǎng)增大效應(yīng),，可以實(shí)現(xiàn)非線性信號(hào)或熒光信號(hào)的增強(qiáng)。在可見光波段,，不同頻率的光對(duì)應(yīng)不同的顏色,，超表面的頻率選擇特性可以用于實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)色。

我們?cè)谧匀唤缰锌吹降念伾珡漠a(chǎn)生原理上可以分為兩大類,，一類是由材料的反射,、吸收、散射等特性決定的顏色,，比如常見的顏料,、塑料袋的顏色等；另一類是由物質(zhì)的結(jié)構(gòu),，而不是其所用材料來決定的顏色,，即所謂的結(jié)構(gòu)色，比如蝴蝶的顏色,、某些魚類的顏色等,。人們利用超表面，可以通過改變其結(jié)構(gòu)單元的尺寸,、形狀等幾何參數(shù)來實(shí)現(xiàn)對(duì)超表面的顏色的自由調(diào)控,，可用于高像素成像、可視化生物傳感Bio-sensor等領(lǐng)域,。 跨尺度加工技術(shù)結(jié)合 EBL 與紫外光刻,，在單一基板構(gòu)建納米至毫米級(jí)復(fù)合微納結(jié)構(gòu)。青海MEMS微納米加工聯(lián)系人

MEMS制作工藝柔性電子的常用材料：

碳納米管（CNT）由于其高的本征載流子遷移率,，導(dǎo)電性和機(jī)械靈活性而成為用于柔性電子學(xué)的有前途的材料,，既作為場(chǎng)效應(yīng)晶體管（FET）中的溝道材料又作為透明電極。管狀碳基納米結(jié)構(gòu)可以被設(shè)想成石墨烯卷成一個(gè)無縫的圓柱體，它們獨(dú)特的性質(zhì)使其成為理想的候選材料,。因?yàn)樗鼈兙哂懈叩墓逃休d流子遷移率和電導(dǎo)率,，機(jī)械靈活性以及低成本生產(chǎn)的潛力。另一方面,，薄膜基碳納米管設(shè)備為實(shí)現(xiàn)商業(yè)化提供了一條實(shí)用途徑,。 山東代理MEMS微納米加工高壓 SOI 工藝實(shí)現(xiàn)芯片內(nèi)高壓驅(qū)動(dòng)與低壓控制集成，耐壓超 200V 并降低寄生電容 40%,。

高壓SOI工藝在MEMS芯片中的應(yīng)用創(chuàng)新：高壓SOI（絕緣體上硅）工藝是制備高耐壓,、低功耗MEMS芯片的**技術(shù)，公司在0.18μm節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)了發(fā)射與開關(guān)電路的集成創(chuàng)新,。通過SOI襯底的埋氧層（厚度1μm）隔離高壓器件與低壓控制電路,，耐壓能力達(dá)200V以上，漏電流＜1nA,，適用于神經(jīng)電刺激,、超聲驅(qū)動(dòng)等高壓場(chǎng)景。在神經(jīng)電子芯片中,，高壓SOI工藝實(shí)現(xiàn)了128通道**驅(qū)動(dòng),，每通道輸出脈沖寬度1-1000μs可調(diào)，幅度0-100V可控,，脈沖邊沿抖動(dòng)＜5ns,，確保精細(xì)的神經(jīng)信號(hào)調(diào)制。與傳統(tǒng)體硅工藝相比,，SOI芯片的寄生電容降低40%,，功耗節(jié)省30%，芯片面積縮小50%,。公司優(yōu)化了SOI晶圓的鍵合與減薄工藝,，將襯底厚度控制在100μm以下，支持芯片的柔性化封裝,。該技術(shù)突破了高壓器件與低壓電路的集成瓶頸,，推動(dòng)MEMS芯片向高集成度、高可靠性方向發(fā)展,，在植入式醫(yī)療設(shè)備,、工業(yè)控制傳感器等領(lǐng)域具有廣闊應(yīng)用前景。

MEMS發(fā)展的目標(biāo)在于,，通過微型化,、集成化來探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng),，開辟一個(gè)新技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè),。MEMS可以完成大尺寸機(jī)電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù),，也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中，把自動(dòng)化,、智能化和可靠性水平提高到一個(gè)新的水平。21世紀(jì)MEMS將逐步從實(shí)驗(yàn)室走向?qū)嵱没?，?duì)工農(nóng)業(yè),、信息、環(huán)境,、生物工程,、醫(yī)療、空間技術(shù)和科學(xué)發(fā)展產(chǎn)生重大影響,。MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))大量用于汽車安全氣囊,，而后以MEMS傳感器的形式被大量應(yīng)用在汽車的各個(gè)領(lǐng)域，隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,，以及應(yīng)用終端“輕,、薄、短,、小”的特點(diǎn),，對(duì)小體積高性能的MEMS產(chǎn)品需求增勢(shì)迅猛，消費(fèi)電子,、醫(yī)療等領(lǐng)域也大量出現(xiàn)了MEMS產(chǎn)品的身影,。硅片、LN 等基板金屬電極加工工藝,，通過濺射沉積與剝離技術(shù)實(shí)現(xiàn)微米級(jí)電極圖案化,。

MEMS四種刻蝕工藝的不同需求：

絕緣層上的硅蝕刻即SOI器件刻蝕：先進(jìn)的微機(jī)電組件包含精細(xì)的可移動(dòng)性零組件，例如應(yīng)用于加速計(jì),、陀螺儀,、偏斜透鏡(tiltingmirrors).共振器(resonators)、閥門,、泵,、及渦輪葉片等組件的懸臂梁。這些許多的零組件,，是以深硅蝕刻方法在晶圓的正面制造,，接著藉由橫方向的等向性底部蝕刻的方法從基材脫離，此方法正是典型的表面細(xì)微加工技術(shù),。而此技術(shù)有一項(xiàng)特點(diǎn)是以掩埋的一層材料氧化硅作為針對(duì)非等向性蝕刻的蝕刻終止層,，達(dá)成以等向性蝕刻實(shí)現(xiàn)組件與基材間脫離的結(jié)構(gòu)(如懸臂梁)。由于二氧化硅在硅蝕刻工藝中,，具有高蝕刻選擇比且在各種尺寸的絕緣層上硅晶材料可輕易生成的特性,，通常被采用作為掩埋的蝕刻終止層材料,。 MEMS具有以下幾個(gè)基本特點(diǎn)？北京MEMS微納米加工發(fā)展趨勢(shì)

超薄石英玻璃雙面套刻加工技術(shù),，在 100μm 以上基板實(shí)現(xiàn)微流道與金屬電極的高精度集成,。青海MEMS微納米加工聯(lián)系人

MEMS特點(diǎn)：

1.微型化：MEMS器件體積小、重量輕,、耗能低,、慣性小、諧振頻率高,、響應(yīng)時(shí)間短,。

2.以硅為主要材料，機(jī)械電器性能優(yōu)良：硅的強(qiáng)度,、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng),，密度類似鋁，熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢,。

3.批量生產(chǎn)：用硅微加工工藝在一片硅片上可同時(shí)制造成百上千個(gè)微型機(jī)電裝置或完整的MEMS,。批量生產(chǎn)可降低生產(chǎn)成本。

4.集成化：可以把不同功能,、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體,，或形成微傳感器陣列,、微執(zhí)行器陣列,，甚至把多種功能的器件集成在一起,，形成復(fù)雜的微系統(tǒng),。微傳感器,、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性,、穩(wěn)定性很高的MEMS,。

5.多學(xué)科交叉：MEMS涉及電子,、機(jī)械,、材料,、制造、信息與自動(dòng)控制,、物理,、化學(xué)和生物等多種學(xué)科，并集約了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的許多成果,。 青海MEMS微納米加工聯(lián)系人