基于MEMS技術(shù)的SAW器件的工作模式和原理：

聲表面波器件一般使用壓電晶體(例如石英晶體等)作為媒介,，然后通過外加一正電壓產(chǎn)生聲波,，并通過襯底進(jìn)行傳播，然后轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出,。聲表面波傳感器中起主導(dǎo)作用的主要是壓電效應(yīng),，其設(shè)計(jì)時(shí)需要考慮多種因素:如相對(duì)尺寸、敏感性,、效率等,。一般地，無線無源聲表面波傳感器的信號(hào)頻率范圍從40MHz到幾個(gè)GHz,。圖2所示為聲表面波傳感器常見的結(jié)構(gòu),，主要部分包括壓電襯底天線、敏感薄膜,、IDT等,。傳感器的敏感層通過改變聲表面波的速度來實(shí)現(xiàn)頻率的變化。

無線無源聲表面波系統(tǒng)包:發(fā)射器,、接收器,、聲表面波器件、通信頻道,。發(fā)射器和接收器組合成收發(fā)器或者解讀器的單一模塊,。圖3為聲表面波系統(tǒng)及其相互關(guān)聯(lián)的基礎(chǔ)部件。解讀器將功率傳送給聲表面波器件,，該功率可以是收發(fā)器輸入的連續(xù)波,，脈沖或者喝啾。一般地,，聲表面波器件獲得的功率大小具有一定限制,，以降低發(fā)射功率，從而得到相同平均功率的喝啾,。根據(jù)各向同性的輻射體,，接收的信號(hào)一般能通過高效的輻射功率天線發(fā)射。 電子束光刻是 MEMS 微納米加工中一種高分辨率的加工方法,，能制造出極其微小的結(jié)構(gòu),。山西MEMS微納米加工結(jié)構(gòu)

MEMS技術(shù)的主要分類：傳感MEMS技術(shù)是指用微電子微機(jī)械加工出來的、用敏感元件如電容,、壓電,、壓阻、熱電耦,、諧振、隧道電流等來感受轉(zhuǎn)換電信號(hào)的器件和系統(tǒng)。它包括速度,、壓力,、濕度、加速度,、氣體,、磁、光,、聲,、生物、化學(xué)等各種傳感器,，按種類分主要有:面陣觸覺傳感器,、諧振力敏感傳感器、微型加速度傳感器,、真空微電子傳感器等,。傳感器的發(fā)展方向是陣列化、集成化,、智能化,。由于傳感器是人類探索自然界的觸角，是各種自動(dòng)化裝置的神經(jīng)元,，且應(yīng)用領(lǐng)域大,，未來將備受世界各國(guó)的重視。黑龍江MEMS微納米加工代加工多圖拼接測(cè)量技術(shù)通過 SEM 圖像融合,，實(shí)現(xiàn)大尺寸微納結(jié)構(gòu)的亞微米級(jí)精度全景表征,。

MEMS制作工藝-聲表面波器件的特點(diǎn)：

1.聲表面波具有極低的傳播速度和極短的波長(zhǎng)，它們各自比相應(yīng)的電磁波的傳播速度的波長(zhǎng)小十萬倍,。在VHF和UHF波段內(nèi),，電磁波器件的尺寸是與波長(zhǎng)相比擬的。同理,，作為電磁器件的聲學(xué)模擬聲表面波器件SAW,，它的尺寸也是和信號(hào)的聲波波長(zhǎng)相比擬的。因此,，在同一頻段上,，聲表面波器件的尺寸比相應(yīng)電磁波器件的尺寸減小了很多，重量也隨之大為減輕,。

2.由于聲表面波系沿固體表面?zhèn)鞑?，加上傳播速度極慢，這使得時(shí)變信號(hào)在給定瞬時(shí)可以完全呈現(xiàn)在晶體基片表面上,。于是當(dāng)信號(hào)在器件的輸入和輸出端之間行進(jìn)時(shí),，就容易對(duì)信號(hào)進(jìn)行取樣和變換,。這就給聲表面波器件以極大的靈活性，使它能以非常簡(jiǎn)單的方式去,。完成其它技術(shù)難以完成或完成起來過于繁重的各種功能,。

3.采用MEMS工藝，以鈮酸鋰LNO和鉭酸鋰LTO為例子的襯底,，通過光刻（含EBL光刻）,、鍍膜等微納米加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)的SAW器件,，在聲表面器件的濾波,、波束整形等方面提供了極大的工藝和性能支撐。

MEMS傳感器的主要應(yīng)用領(lǐng)域有哪些,？

運(yùn)動(dòng)追蹤在運(yùn)動(dòng)員的日常訓(xùn)練中,，MEMS傳感器可以用來進(jìn)行3D人體運(yùn)動(dòng)測(cè)量，通過基于聲學(xué)TOF,，或者基于光學(xué)的TOF技術(shù),，對(duì)每一個(gè)動(dòng)作進(jìn)行記錄，教練們對(duì)結(jié)果分析,，反復(fù)比較,，以便提高運(yùn)動(dòng)員的成績(jī)。隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,，MEMS傳感器的價(jià)格也會(huì)隨著降低,，這在大眾健身房中也可以廣泛應(yīng)用。在滑雪方面,，3D運(yùn)動(dòng)追蹤中的壓力傳感器,、加速度傳感器、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力,，除了可提供滑雪板的移動(dòng)數(shù)據(jù)外,，還可以記錄使用者的位置和距離。在沖浪方面也是如此,，安裝在沖浪板上的3D運(yùn)動(dòng)追蹤,，可以記錄海浪高度、速度,、沖浪時(shí)間,、漿板距離、水溫以及消耗的熱量等信息,。 MEMS 微納米加工技術(shù)是現(xiàn)代制造業(yè)中的關(guān)鍵領(lǐng)域,，它能夠在微觀尺度上制造出高精度的器件。

射頻MEMS器件分為MEMS濾波器,、MEMS開關(guān),、MEMS諧振器等,。射頻前端模組主要由濾波器、低噪聲放大器,、功率放大器,、射頻開關(guān)等器件組成,，其中濾波器是射頻前端中重要的分立器件,，濾波器的工藝就是MEMS，在射頻前端模組中占比超過50%,，主要由村田制作所等國(guó)外公司生產(chǎn),。因?yàn)闆]有適用的國(guó)產(chǎn)5GMEMS濾波器，因此華為手機(jī)只能用4G,，也是這個(gè)原因,，可見MEMS濾波器的重要性。濾波器（SAW,、BAW,、FBAR等），負(fù)責(zé)接收通道的射頻信號(hào)濾波,，將接收的多種射頻信號(hào)中特定頻率的信號(hào)輸出,，將其他頻率信號(hào)濾除。以SAW聲表面波為例,，通過電磁信號(hào)-聲波-電磁信號(hào)的兩次轉(zhuǎn)換,，將不受歡迎的頻率信號(hào)濾除。以PI為特色的柔性電子在太赫茲超表面器件上的應(yīng)用很廣,。安徽什么是MEMS微納米加工

MEMS的超材料介紹與講解,。山西MEMS微納米加工結(jié)構(gòu)

超聲影像芯片的全集成MEMS設(shè)計(jì)與性能突破：針對(duì)超聲PZT換能器及CMUT/PMUT新型傳感器的收發(fā)需求，公司開發(fā)了**SoC超聲收發(fā)芯片,，采用0.18mm高壓SOI工藝實(shí)現(xiàn)發(fā)射與開關(guān)復(fù)用,，大幅節(jié)省芯片面積的同時(shí)提升性能。在發(fā)射端,，通過MEMS高壓驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì),，實(shí)現(xiàn)±100V峰值輸出電壓與1A持續(xù)輸出電流，較TI同類產(chǎn)品提升30%,，滿足深部組織成像的能量需求,；接收端集成12位ADC，采樣率可達(dá)100Msps,，信噪比（SNR）達(dá)73.5dB,，有效提升弱信號(hào)檢測(cè)能力。芯片采用多層金屬布線與硅通孔（TSV）技術(shù),，實(shí)現(xiàn)3D堆疊集成,，封裝尺寸較傳統(tǒng)方案縮小40%,。在二次諧波抑制方面，通過優(yōu)化版圖布局與寄生參數(shù)補(bǔ)償,，將5MHz信號(hào)的二次諧波降至-40dBc,，優(yōu)于行業(yè)基準(zhǔn)-45dBc，***提升圖像分辨率,。目前TX芯片已完成流片,，與掌上超聲企業(yè)合作開發(fā)便攜式超聲設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)腹部,、心血管等部位的實(shí)時(shí)成像,，探頭尺寸*30mm×20mm，重量＜50g,，推動(dòng)超聲診斷設(shè)備向小型化,、智能化邁進(jìn)，助力基層醫(yī)療場(chǎng)景普及,。山西MEMS微納米加工結(jié)構(gòu)