MEMS制作工藝-聲表面波器件的特點(diǎn)：

1.由于聲表面波器件是在單晶材料上用半導(dǎo)體平面工藝制作的，所以它具有很好的一致性和重復(fù)性，易于大量生產(chǎn),，而且當(dāng)使用某些單晶材料或復(fù)合材料時(shí)，聲表面波器件具有極高的溫度穩(wěn)定性。

2.聲表面波器件的抗輻射能力強(qiáng)，動(dòng)態(tài)范圍很大,，可達(dá)100dB。這是因?yàn)樗玫氖蔷w表面的彈性波而不涉及電子的遷移過(guò)程此外,，在很多情況下,，聲表面波器件的性能還遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了很好的電磁波器件所能達(dá)到的水平。比如用聲表面波可以作成時(shí)間-帶寬乘積大于五千的脈沖壓縮濾波器,，在UHF頻段內(nèi)可以作成Q值超過(guò)五萬(wàn)的諧振腔,，以及可以作成帶外抑制達(dá)70dB、頻率達(dá)1低Hz的帶通濾波器 硅片,、LN 等基板金屬電極加工工藝，通過(guò)濺射沉積與剝離技術(shù)實(shí)現(xiàn)微米級(jí)電極圖案化,。北京采用微納米加工的MEMS微納米加工

通過(guò)MEMS技術(shù)制作的生物傳感器,，圍繞細(xì)胞分選檢測(cè)、生物分子檢測(cè),、人工聽(tīng)覺(jué)微系統(tǒng)等方向,，突破了高通量細(xì)胞圖形化、片上細(xì)胞聚焦分選,、耳蝸內(nèi)聲電混合刺激,、高時(shí)空分辨率相位差分檢測(cè)等一批具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的關(guān)鍵技術(shù)，取得了一批原創(chuàng)性成果,，研制了具有世界很高水平的高通量原位細(xì)胞多模式檢測(cè)系統(tǒng),、流式細(xì)胞儀、系列流式細(xì)胞檢測(cè)芯片等檢測(cè)儀器，打破了相關(guān)領(lǐng)域國(guó)際廠商的技術(shù)封鎖和壟斷,?？傊嫦蜥t(yī)療健康領(lǐng)域的重大需求,，經(jīng)過(guò)多年持續(xù)的努力,，我們?nèi)〉靡幌盗芯哂袊?guó)際先進(jìn)水平的科研成果，部分技術(shù)處于國(guó)際前列地位,，其中多項(xiàng)技術(shù)尚屬國(guó)際開(kāi)創(chuàng),。國(guó)產(chǎn)MEMS微納米加工技術(shù)指導(dǎo)MEMS微流控芯片是什么？

超薄PDMS與光學(xué)玻璃的鍵合工藝優(yōu)化：超薄PDMS（100μm以上）與光學(xué)玻璃的鍵合技術(shù)實(shí)現(xiàn)了柔性微流控芯片與高透光基板的集成,，適用于熒光顯微成像,、單細(xì)胞觀測(cè)等場(chǎng)景。鍵合前,，PDMS基板經(jīng)氧等離子體處理（功率50W,，時(shí)間20秒）實(shí)現(xiàn)表面羥基化，光學(xué)玻璃通過(guò)UV-Ozone清洗去除有機(jī)物污染,；然后在潔凈環(huán)境下對(duì)準(zhǔn)貼合,，施加0.2MPa壓力并室溫固化2小時(shí)，形成不可逆共價(jià)鍵,，透光率＞95%@400-800nm,，鍵合界面缺陷率＜1%。超薄PDMS的柔韌性（彈性模量1-3MPa）可減少玻璃基板的應(yīng)力集中,，耐彎曲半徑＞10mm,，適用于動(dòng)態(tài)培養(yǎng)環(huán)境下的細(xì)胞觀測(cè)。在單分子檢測(cè)芯片中,，鍵合后的玻璃表面可直接進(jìn)行熒光標(biāo)記物修飾,，背景噪聲較傳統(tǒng)塑料基板降低60%，檢測(cè)靈敏度提升至單分子級(jí)別,。公司開(kāi)發(fā)的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),，定位精度±2μm，支持4英寸晶圓級(jí)批量鍵合,，產(chǎn)能達(dá)500片/小時(shí),，良率＞98%。該工藝解決了軟質(zhì)材料與硬質(zhì)光學(xué)元件的集成難題,，為高精度生物檢測(cè)與醫(yī)學(xué)影像芯片提供了理想的封裝方案,。

MEMS發(fā)展的目標(biāo)在于，通過(guò)微型化,、集成化來(lái)探索新原理,、新功能的元件和系統(tǒng),，開(kāi)辟一個(gè)新技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。MEMS可以完成大尺寸機(jī)電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù),，也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中,，把自動(dòng)化、智能化和可靠性水平提高到一個(gè)新的水平,。21世紀(jì)MEMS將逐步從實(shí)驗(yàn)室走向?qū)嵱没?，?duì)工農(nóng)業(yè)、信息,、環(huán)境,、生物工程、醫(yī)療,、空間技術(shù)和科學(xué)發(fā)展產(chǎn)生重大影響,。MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))大量用于汽車安全氣囊，而后以MEMS傳感器的形式被大量應(yīng)用在汽車的各個(gè)領(lǐng)域,，隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,，以及應(yīng)用終端“輕、薄,、短,、小”的特點(diǎn)，對(duì)小體積高性能的MEMS產(chǎn)品需求增勢(shì)迅猛,，消費(fèi)電子,、醫(yī)療等領(lǐng)域也大量出現(xiàn)了MEMS產(chǎn)品的身影。MEMS微納米加工的未來(lái)發(fā)展是什么,？

MEMS制作工藝-太赫茲超導(dǎo)混頻陣列的MEMS體硅集成天線與封裝技術(shù)：

太赫茲波是天文探測(cè)領(lǐng)域的重要波段,，太赫茲波探測(cè)對(duì)提升人類認(rèn)知宇宙的能力有重要意義。太赫茲超導(dǎo)混頻接收機(jī)是具有代表性的高靈敏天文探測(cè)設(shè)備,。天線及混頻芯片封裝是太赫茲接收前端系統(tǒng)的關(guān)鍵組件,。當(dāng)前，太赫茲超導(dǎo)接收機(jī)多采用單獨(dú)的金屬喇叭天線和金屬封裝,，很難進(jìn)行高集成度陣列擴(kuò)展,。大規(guī)模太赫茲陣列接收機(jī)發(fā)展很大程度受到天線及芯片封裝技術(shù)的制約。課題擬研究基于MEMS體硅工藝技術(shù)的適合大規(guī)模太赫茲超導(dǎo)接收陣列應(yīng)用的0.4THz以上頻段高性能集成波紋喇叭天線,，及該天線與超導(dǎo)混頻芯片一體化封裝,。通過(guò)電磁場(chǎng)理論分析,、電磁場(chǎng)數(shù)值建模與仿真,、低溫超導(dǎo)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證等手段， 可降解聚合物加工工藝儲(chǔ)備,，為體內(nèi)短期植入檢測(cè)芯片提供生物相容性材料解決方案,。中國(guó)澳門MEMS微納米加工之SAW器件

基于 0.35/0.18μm 高壓工藝的神經(jīng)電刺激 SoC 芯片,，實(shí)現(xiàn)多通道控制與生物相容性優(yōu)化。北京采用微納米加工的MEMS微納米加工

MEMS超表面對(duì)特性的調(diào)控：

1.超表面meta-surface對(duì)偏振的調(diào)控：在偏振方面,，超表面可實(shí)現(xiàn)偏振轉(zhuǎn)換,、旋光、矢量光束產(chǎn)生等功能,。

2.超表面meta-surface對(duì)振幅的調(diào)控,。超表面可以實(shí)現(xiàn)光的非對(duì)稱透過(guò)、消反射,、增透射,、磁鏡、類EIT效應(yīng)等,。

3.超表面meta-surface對(duì)頻率的調(diào)控,。超表面的微結(jié)構(gòu)在共振情況下可實(shí)現(xiàn)較強(qiáng)的局域場(chǎng)增強(qiáng)，利用這些局域場(chǎng)增大效應(yīng),，可以實(shí)現(xiàn)非線性信號(hào)或熒光信號(hào)的增強(qiáng),。在可見(jiàn)光波段，不同頻率的光對(duì)應(yīng)不同的顏色,，超表面的頻率選擇特性可以用于實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)色,。

我們?cè)谧匀唤缰锌吹降念伾珡漠a(chǎn)生原理上可以分為兩大類，一類是由材料的反射,、吸收,、散射等特性決定的顏色，比如常見(jiàn)的顏料,、塑料袋的顏色等,；另一類是由物質(zhì)的結(jié)構(gòu)，而不是其所用材料來(lái)決定的顏色,，即所謂的結(jié)構(gòu)色,，比如蝴蝶的顏色、某些魚(yú)類的顏色等,。人們利用超表面,，可以通過(guò)改變其結(jié)構(gòu)單元的尺寸、形狀等幾何參數(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)超表面的顏色的自由調(diào)控,，可用于高像素成像,、可視化生物傳感Bio-sensor等領(lǐng)域。 北京采用微納米加工的MEMS微納米加工