MEMS具有以下幾個基本特點，微型化、智能化,、多功能、高集成度和適于大批量生產(chǎn),。MEMS技術(shù)的目標是通過系統(tǒng)的微型化,、集成化來探索具有新原理,、新功能的元件和系統(tǒng)。 MEMS技術(shù)是一種典型的多學科交叉的前沿性研究領(lǐng)域,，幾乎涉及到自然及工程科學的所有領(lǐng)域,，如電子技術(shù)、機械技術(shù),、物理學,、化學、生物醫(yī)學,、材料科學,、能源科學等。MEMS是一個單獨的智能系統(tǒng),，可大批量生產(chǎn),，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級,。例如,，常見的MEMS產(chǎn)品尺寸一般都在3mm×3mm×1.5mm，甚至更小,。微機電系統(tǒng)在國民經(jīng)濟和更高級別的系統(tǒng)方面將有著廣泛的應(yīng)用前景,。主要民用領(lǐng)域是電子、醫(yī)學,、工業(yè),、汽車和航空航天系統(tǒng)。MEMS技術(shù)常用工藝技術(shù)組合有：紫外光刻,、電子束光刻EBL,、PVD磁控濺射、IBE刻蝕,、ICP-RIE深刻蝕,。寧夏MEMS微納米加工之柔性電極定制

在腦科學與精細醫(yī)療領(lǐng)域，公司開發(fā)的MEA柔性電極采用超薄MEMS工藝,，兼具物相容性與高導電性,，可定制化設(shè)計“觸凸”電極陣列，***降低植入式腦機接口的手術(shù)創(chuàng)傷,，同時提升神經(jīng)信號采集的信噪比,。針對藥物遞送與檢測需求，通過干濕結(jié)合刻蝕技術(shù)制備的微針器件,，既可實現(xiàn)組織間液的無痛提取,，又能集成電化學傳感功能，為糖尿病動態(tài)監(jiān)測,、透皮給藥系統(tǒng)提供硬件支持,。此外,，公司**的MEMS多重轉(zhuǎn)印工藝，可將光刻硅片模板快速轉(zhuǎn)化為PMMA,、COC等硬質(zhì)塑料芯片,，支持10個工作日內(nèi)完成從設(shè)計圖紙到塑料芯片成型的全流程，極大加速微流控產(chǎn)品的研發(fā)驗證周期,。青海哪些是MEMS微納米加工MEMS微納米加工的未來發(fā)展是什么,？

MEMS技術(shù)的主要分類：生物MEMS技術(shù)是用MEMS技術(shù)制造的化學/生物微型分析和檢測芯片或儀器，統(tǒng)稱為Bio-sensor技術(shù),，是一類在襯底上制造出的微型驅(qū)動泵,、微控制閥、通道網(wǎng)絡(luò),、樣品處理器,、混合池、計量,、增擴器,、反應(yīng)器、分離器以及檢測器等元器件并集成為多功能芯片,。可以實現(xiàn)樣品的進樣,、稀釋,、加試劑、混合,、增擴,、反應(yīng)、分離,、檢測和后處理等分析全過程,。它把傳統(tǒng)的分析實驗室功能微縮在一個芯片上。生物MEMS系統(tǒng)具有微型化,、集成化,、智能化、成本低的特點,。功能上有獲取信息量大,、分析效率高、系統(tǒng)與外部連接少,、實時通信,、連續(xù)檢測的特點。國際上生物MEMS的研究已成為熱點,，不久將為生物,、化學分析系統(tǒng)帶來一場重大的革新,。

MEMS制作工藝-微流控芯片：

微流控芯片技術(shù)(Microfluidics)是把生物、化學,、醫(yī)學分析過程的樣品制備,、反應(yīng)、分離,、檢測等基本操作單元集成到一塊微米尺度的芯片上,，自動完成分析全過程。微流控芯片（microfluidicchip）是當前微全分析系統(tǒng)（MiniaturizedTotalAnalysisSystems）發(fā)展的熱點領(lǐng)域,。

微流控芯片分析以芯片為操作平臺,同時以分析化學為基礎(chǔ),以微機電加工技術(shù)為依托,以微管道網(wǎng)絡(luò)為結(jié)構(gòu)特征,以生命科學為目前主要應(yīng)用對象,，是當前微全分析系統(tǒng)領(lǐng)域發(fā)展的重點。它的目標是把整個化驗室的功能,包括采樣,、稀釋,、加試劑、反應(yīng),、分離,、檢測等集成在微芯片上,且可以多次使用。 超薄 PDMS（100μm 以上）與光學玻璃鍵合工藝,，兼顧柔性流道與高透光性檢測需求,。

MEMS微納加工的產(chǎn)業(yè)化能力與技術(shù)儲備：公司在MEMS微納加工領(lǐng)域構(gòu)建了完整的技術(shù)體系與產(chǎn)業(yè)化能力，涵蓋從設(shè)計仿真（使用COMSOL,、Lumerical等軟件）到工藝開發(fā)（10+種主流加工工藝）,、批量生產(chǎn)（萬級潔凈車間，月產(chǎn)能50,000片）的全鏈條服務(wù),。技術(shù)儲備方面,，持續(xù)投入下一代微納加工技術(shù)，包括：①納米壓印技術(shù)實現(xiàn)10nm級結(jié)構(gòu)復制,，支持單分子測序芯片開發(fā),；②激光誘導正向轉(zhuǎn)移（LIFT）技術(shù)實現(xiàn)金屬電極的無掩膜直寫，加工速度提升5倍,；③可降解聚合物加工工藝,，開發(fā)聚乳酸基微流控芯片，適用于體內(nèi)短期植入檢測,。在設(shè)備端,，引進了電子束曝光機（分辨率5nm）、電感耦合等離子體刻蝕機（ICP,，刻蝕速率20μm/min）,、全自動鍵合機（對準精度±1μm）等裝備，構(gòu)建了快速打樣與規(guī)模生產(chǎn)的柔性制造平臺,。未來,，公司將聚焦“微納加工+生物傳感+智能集成”的戰(zhàn)略方向,，推動MEMS技術(shù)在精細醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測,、消費電子等領(lǐng)域的深度應(yīng)用,，通過持續(xù)創(chuàng)新保持技術(shù)**地位，成為全球先進的微納器件解決方案供應(yīng)商,。硅片,、LN 等基板金屬電極加工工藝，通過濺射沉積與剝離技術(shù)實現(xiàn)微米級電極圖案化,。重慶MEMS微納米加工之超透鏡定制

PDMS 金屬流道加工技術(shù)可在柔性流道內(nèi)沉積金屬鍍層,，實現(xiàn)電化學檢測與流體控制一體化。寧夏MEMS微納米加工之柔性電極定制

熱壓印技術(shù)在硬質(zhì)塑料微流控芯片中的應(yīng)用：熱壓印技術(shù)是實現(xiàn)PMMA,、PS,、COC、COP等硬質(zhì)塑料微結(jié)構(gòu)快速成型的**工藝,，較傳統(tǒng)注塑工藝具有成本低,、周期短、圖紙變更靈活等優(yōu)勢,。工藝流程包括：首先利用光刻膠在硅片上制備高精度模具,，微結(jié)構(gòu)高度5-100μm，側(cè)壁垂直度＞89°,；然后將塑料基板加熱至玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上（如PMMA為110℃）,，在5-10MPa壓力下將模具結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印至基板，冷卻后脫模,。該技術(shù)可實現(xiàn)0.5μm的特征尺寸分辨率，流道尺寸誤差＜±1%,，適用于微流道,、微孔陣列、透鏡陣列等結(jié)構(gòu)加工,。以數(shù)字PCR芯片為例,，熱壓印制備的50μm直徑微腔陣列，單芯片可容納20,000個反應(yīng)單元,，配合熒光檢測實現(xiàn)核酸分子的***定量,，檢測靈敏度達0.1%突變頻率。公司開發(fā)的快速換模系統(tǒng)可在30分鐘內(nèi)完成模具更換,，支持小批量生產(chǎn)（100-10,000片）,，從設(shè)計圖紙到樣品交付**短*需10個工作日，較注塑縮短70%周期,。此外,，通過表面涂層處理（如疏水化,、親水化），可定制芯片表面潤濕性,，滿足不同檢測場景的流體控制需求,，成為研發(fā)階段快速迭代與中小批量生產(chǎn)的優(yōu)先工藝。寧夏MEMS微納米加工之柔性電極定制