MEMS組合慣性傳感器不是一種新的MEMS傳感器類型,，而是指加速度傳感器,、陀螺儀、磁傳感器等的組合,，利用各種慣性傳感器的特性,，立體運動的檢測。組合慣性傳感器的一個被廣為熟悉的應(yīng)用領(lǐng)域就是慣性導航,，比如飛機/導彈飛行控制,、姿態(tài)控制、偏航阻尼等控制應(yīng)用,、以及中程導彈制導,、慣性GPS導航等制導應(yīng)用。

慣性傳感器分為兩大類：一類是角速率陀螺,；另一類是線加速度計,。角速率陀螺又分為：機械式干式﹑液浮﹑半液浮﹑氣浮角速率陀螺；撓性角速率陀螺,；MEMS硅﹑石英角速率陀螺（含半球諧振角速率陀螺等）,；光纖角速率陀螺；激光角速率陀螺等,。線加速度計又分為：機械式線加速度計,；撓性線加速度計；MEMS硅﹑石英線加速度計（含壓阻﹑壓電線加速度計）,；石英撓性線加速度計等,。 超聲影像 SoC 芯片采用 0.18mm 高壓 SOI 工藝，發(fā)射與開關(guān)復(fù)用設(shè)計節(jié)省面積并提升性能,。黑龍江MEMS微納米加工之柔性電極定制

MEMS具有以下幾個基本特點,，微型化、智能化,、多功能,、高集成度和適于大批量生產(chǎn)。MEMS技術(shù)的目標是通過系統(tǒng)的微型化,、集成化來探索具有新原理,、新功能的元件和系統(tǒng)。 MEMS技術(shù)是一種典型的多學科交叉的前沿性研究領(lǐng)域,，幾乎涉及到自然及工程科學的所有領(lǐng)域,，如電子技術(shù)、機械技術(shù),、物理學,、化學,、生物醫(yī)學,、材料科學,、能源科學等。MEMS是一個單獨的智能系統(tǒng),，可大批量生產(chǎn),，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級,。例如,，常見的MEMS產(chǎn)品尺寸一般都在3mm×3mm×1.5mm，甚至更小,。微機電系統(tǒng)在國民經(jīng)濟和更高級別的系統(tǒng)方面將有著廣泛的應(yīng)用前景,。主要民用領(lǐng)域是電子、醫(yī)學,、工業(yè),、汽車和航空航天系統(tǒng)。吉林MEMS微納米加工加盟費用硅片,、LN 等基板金屬電極加工工藝,，通過濺射沉積與剝離技術(shù)實現(xiàn)微米級電極圖案化。

PDMS金屬流道芯片的復(fù)合加工工藝：PDMS金屬流道芯片通過在柔性PDMS流道內(nèi)集成金屬鍍層,，實現(xiàn)流體控制與電信號檢測的一體化設(shè)計,。加工流程包括：首先利用軟光刻技術(shù)在硅模上制備50-200μm寬度的流道結(jié)構(gòu)，澆筑PDMS預(yù)聚體并固化成型,；然后通過氧等離子體處理流道表面,，使其親水化以促進金屬前驅(qū)體吸附；采用磁控濺射技術(shù)沉積50-200nm厚度的金/鉑金屬層,，經(jīng)化學鍍增厚至1-5μm,，形成連續(xù)導電流道；***與PET基板通過等離子體鍵合密封,，確保流體無泄漏,。金屬流道的表面粗糙度＜50nm，電阻＜10Ω/cm,，適用于電化學檢測,、電滲泵驅(qū)動等場景。典型應(yīng)用如微流控電化學傳感器,，在10μL/min流速下,，對葡萄糖的檢測靈敏度達50μA?mM?1?cm?2，線性范圍0.1-20mM,，檢測下限＜50μM,。公司開發(fā)的自動化生產(chǎn)線可實現(xiàn)流道尺寸的精細控制（誤差＜±2%）,，并支持金屬層圖案化設(shè)計，如叉指電極,、螺旋流道等,，滿足不同傳感器的定制需求，為生物檢測與環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域提供了柔性化,、集成化的解決方案,。

MEMS制作工藝-太赫茲超導混頻陣列的MEMS體硅集成天線與封裝技術(shù)：

太赫茲波是天文探測領(lǐng)域的重要波段，太赫茲波探測對提升人類認知宇宙的能力有重要意義,。太赫茲超導混頻接收機是具有代表性的高靈敏天文探測設(shè)備,。天線及混頻芯片封裝是太赫茲接收前端系統(tǒng)的關(guān)鍵組件。當前,，太赫茲超導接收機多采用單獨的金屬喇叭天線和金屬封裝,，很難進行高集成度陣列擴展。大規(guī)模太赫茲陣列接收機發(fā)展很大程度受到天線及芯片封裝技術(shù)的制約,。課題擬研究基于MEMS體硅工藝技術(shù)的適合大規(guī)模太赫茲超導接收陣列應(yīng)用的0.4THz以上頻段高性能集成波紋喇叭天線,，及該天線與超導混頻芯片一體化封裝。通過電磁場理論分析,、電磁場數(shù)值建模與仿真,、低溫超導實驗驗證等手段， MEMS的單分子免疫檢測是什么,？

加速度傳感器是很早廣泛應(yīng)用的MEMS之一,。MEMS，作為一個機械結(jié)構(gòu)為主的技術(shù),，可以通過設(shè)計使一個部件(圖中橙色部件)相對底座substrate產(chǎn)生位移（這也是絕大部分MEMS的工作原理）,，這個部件稱為質(zhì)量塊（proofmass）。質(zhì)量塊通過錨anchor,，鉸鏈hinge,，或彈簧spring與底座連接。鉸鏈或懸臂梁部分固定在底座,。當感應(yīng)到加速度時,，質(zhì)量塊相對底座產(chǎn)生位移。通過一些換能技術(shù)可以將位移轉(zhuǎn)換為電能,，如果采用電容式傳感結(jié)構(gòu)（電容的大小受到兩極板重疊面積或間距影響）,，電容大小的變化可以產(chǎn)生電流信號供其信號處理單元采樣。通過梳齒結(jié)構(gòu)可以極大地擴大傳感面積,，提高測量精度,，降低信號處理難度。加速度計還可以通過壓阻式,、力平衡式和諧振式等方式實現(xiàn),。柔性電極表面改性技術(shù)通過 PEG 復(fù)合涂層,，降低蛋白吸附 90% 并提升體內(nèi)植入生物相容性。定制MEMS微納米加工電話

MEMS具有以下幾個基本特點,？黑龍江MEMS微納米加工之柔性電極定制

熱敏柔性電極的PI三明治結(jié)構(gòu)加工技術(shù)：熱敏柔性電極采用PI（聚酰亞胺）三明治結(jié)構(gòu),，底層PI作為柔性基板，中間層為金屬電極,，上層PI實現(xiàn)絕緣保護,，開窗漏出Pad引線位置，兼具柔韌性與電學性能,。加工過程中，首先在25μm厚度的PI基板上通過濺射沉積5μm厚度的銅/金電極層,，利用光刻膠作為掩膜進行濕法刻蝕,，形成10-50μm寬度的電極圖案，線條邊緣粗糙度＜1μm,；然后涂覆10μm厚度的PI絕緣層,，通過激光切割開設(shè)引線窗口，窗口定位精度±5μm,；***經(jīng)300℃高溫亞胺化處理,，提升層間結(jié)合力（剝離強度＞10N/cm）。該電極的彎曲半徑可達5mm,，耐彎折次數(shù)＞10萬次,，表面電阻＜5Ω/□，適用于可穿戴體溫監(jiān)測,、心率傳感器等設(shè)備,。在醫(yī)療領(lǐng)域，用于術(shù)后傷口熱敷的柔性加熱電極,，可通過調(diào)節(jié)輸入電壓實現(xiàn)37-42℃精細控溫,，溫度均勻性誤差＜±0.5℃，避免局部過熱損傷組織,。公司支持電極圖案的個性化設(shè)計,，可集成熱電偶、NTC熱敏電阻等傳感器,，實現(xiàn)“感知-驅(qū)動”一體化,，推動柔性電子技術(shù)在醫(yī)療健康與智能設(shè)備中的廣泛應(yīng)用。黑龍江MEMS微納米加工之柔性電極定制