太赫茲柔性電極的雙面結(jié)構(gòu)設(shè)計與加工：太赫茲柔性電極以PI為基底,，采用雙面結(jié)構(gòu)設(shè)計，上層實現(xiàn)太赫茲波發(fā)射/接收,，下層集成信號處理電路，解決了傳統(tǒng)剛性太赫茲器件的便攜性難題,。加工工藝包括：首先在雙面拋光的PI基板上,，利用電子束光刻制備亞微米級金屬天線陣列（如蝴蝶結(jié)、螺旋結(jié)構(gòu)）,，特征尺寸達500nm,，周期1-2μm，實現(xiàn)對0.1-1THz頻段的高效耦合,；背面通過薄膜沉積技術(shù)制備氮化硅絕緣層,，濺射銅箔形成共面波導(dǎo)傳輸線，線寬控制精度±10nm,，特性阻抗匹配50Ω,。電極整體厚度＜50μm，彎曲狀態(tài)下信號衰減＜3dB,，適用于人體安檢,、非金屬材料檢測等場景。在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,，太赫茲柔性電極可非侵入式檢測皮膚水分含量,，分辨率達0.1%，檢測時間＜1秒,，較傳統(tǒng)電阻法精度提升5倍,。公司開發(fā)的納米壓印技術(shù)實現(xiàn)了天線陣列的低成本復(fù)制，單晶圓（4英寸）產(chǎn)能達1000片以上,，良率＞85%,，推動太赫茲技術(shù)從實驗室走向便攜式設(shè)備,，為無損檢測與生物傳感提供了全新維度的解決方案。MEMS的超透鏡是什么,？江蘇MEMS微納米加工材料區(qū)別

MEMS制作工藝-太赫茲特性：

1.相干性由于它是由相千電流驅(qū)動的電偶極子振蕩產(chǎn)生,，或又相千的激光脈沖通過非線性光學(xué)頻率差頻產(chǎn)生，因此有很好的相干性,。THz的相干測量技術(shù)能夠直接測量電場振幅和相位，從而方便提取檢測樣品的折射率,，吸收系數(shù)等,。

2.低能性:THz光子的能量只有10^-3量級，遠小于X射線的10^3量級,，不易破壞被檢測的物質(zhì),，適合于生物大分子與活性物質(zhì)結(jié)構(gòu)的研究。

3.穿透性:THz輻射對于很多非極性物質(zhì),，如塑料,，紙箱，布料等包裝材料有很強的穿透能力,，在環(huán)境控制與安全方面能有效發(fā)揮作用

4.吸收性:大多數(shù)極性分子對THz有強烈的吸收作用,，可以用來進行醫(yī)療診斷與產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)控

5.瞬態(tài)性:相比于傳統(tǒng)電磁波與光波，THz典型脈寬在皮秒量級,，通過光電取樣測量技術(shù),，能夠有效抑制背景輻射噪聲的干擾，在小于3THz時信噪比達10人4:1,。

6.寬帶性:THz脈沖光源通常包含諾千個周期的電磁振蕩,，!單個脈沖頻寬可以覆蓋從GHz至幾+THz的范圍，便于在大的范圍內(nèi)分析物質(zhì)的光譜信息,。 福建MEMS微納米加工扣件MEMS常見的產(chǎn)品-聲學(xué)傳感器,。

三維微納結(jié)構(gòu)的跨尺度加工技術(shù)：跨尺度加工技術(shù)實現(xiàn)了從納米級到毫米級結(jié)構(gòu)的一體化制造，滿足復(fù)雜微流控系統(tǒng)對多尺度功能單元的需求,。公司結(jié)合電子束光刻（EBL,，分辨率10nm）、紫外光刻（分辨率1μm）與機械加工（精度10μm）,，在單一基板上構(gòu)建跨3個數(shù)量級的微結(jié)構(gòu),。例如，在類***培養(yǎng)芯片中,，納米級表面紋理（粗糙度Ra＜50nm）促進細胞黏附,，微米級流道（寬度50μm）控制營養(yǎng)物質(zhì)輸送，毫米級進樣口（直徑1mm）兼容外部管路,。加工過程中,，通過工藝分層設(shè)計,，先進行納米結(jié)構(gòu)制備（如EBL定義細胞外基質(zhì)蛋白圖案），再通過紫外光刻形成中層流道,，***機械加工完成宏觀接口,，各層結(jié)構(gòu)對準誤差＜±2μm。該技術(shù)突破了單一工藝的尺度限制,，實現(xiàn)了功能的跨尺度集成,，在芯片實驗室（Lab-on-a-Chip）中具有重要應(yīng)用。公司已成功制備包含10nm電極間隙,、1μm流道與1mm閥門的復(fù)合芯片,，用于單分子電信號檢測，信號分辨率提升至10fA,，為納米生物技術(shù)與微流控工程的交叉融合提供了關(guān)鍵制造能力,。

MEMS制作工藝-太赫茲超導(dǎo)混頻陣列的MEMS體硅集成天線與封裝技術(shù)：

太赫茲波是天文探測領(lǐng)域的重要波段，太赫茲波探測對提升人類認知宇宙的能力有重要意義,。太赫茲超導(dǎo)混頻接收機是具有代表性的高靈敏天文探測設(shè)備,。天線及混頻芯片封裝是太赫茲接收前端系統(tǒng)的關(guān)鍵組件。當前,，太赫茲超導(dǎo)接收機多采用單獨的金屬喇叭天線和金屬封裝,，很難進行高集成度陣列擴展。大規(guī)模太赫茲陣列接收機發(fā)展很大程度受到天線及芯片封裝技術(shù)的制約,。課題擬研究基于MEMS體硅工藝技術(shù)的適合大規(guī)模太赫茲超導(dǎo)接收陣列應(yīng)用的0.4THz以上頻段高性能集成波紋喇叭天線,，及該天線與超導(dǎo)混頻芯片一體化封裝。通過電磁場理論分析,、電磁場數(shù)值建模與仿真,、低溫超導(dǎo)實驗驗證等手段， MEMS聲表面波（即SAW）器件是什么,？

MEMS制作工藝柔性電子的常用材料-PI：

柔性PI膜是一種由聚酰亞胺（PI）構(gòu)成的薄膜材料,，它是通過將均苯四甲酸二酐（PMDA）與二胺基二苯醚（ODA）在強極性溶劑中進行縮聚反應(yīng)，然后流延成膜,，然后經(jīng)過亞胺化處理得到的高分子絕緣材料,。柔性PI膜擁有許多獨特的優(yōu)點，如高絕緣性,、良好的粘結(jié)性,、強的耐輻射性和耐高溫性能，使其成為一種綜合性能很好的有機高分子材料,。

柔性PI膜的應(yīng)用非常廣,，尤其在電子、液晶顯示,、機械,、航空航天,、計算機、光伏電池等領(lǐng)域有著重要的用途,。特別是在液晶顯示行業(yè)中,，柔性PI膜因其優(yōu)越的性能而被用作新型材料，用于制造折疊屏手機的基板,、蓋板和觸控材料,。由于OLED顯示技術(shù)的快速發(fā)展，柔性PI膜已成為替代傳統(tǒng)ITO玻璃的新材料之一,，廣泛應(yīng)用于智能手機和其他可折疊設(shè)備的制造,。 跨尺度加工技術(shù)結(jié)合 EBL 與紫外光刻，在單一基板構(gòu)建納米至毫米級復(fù)合微納結(jié)構(gòu),。福建MEMS微納米加工哪里買

MEMS 微納米加工的成本效益隨著技術(shù)的成熟逐漸提高，為其大規(guī)模商業(yè)化應(yīng)用奠定了基礎(chǔ),。江蘇MEMS微納米加工材料區(qū)別

MEMS制作工藝壓電器件的常用材料：

氧化鋅是一種眾所周知的寬帶隙半導(dǎo)體材料（室溫下3.4eV,，晶體），它有很多應(yīng)用,，如透明導(dǎo)體,，壓敏電阻，表面聲波,，氣體傳感器,，壓電傳感器和UV檢測器。并因為可能應(yīng)用于薄膜晶體管方面正受到相當?shù)年P(guān)注,。同時氧化鋅還具有相當良好的生物相容性,，可降解性。E.Fortunato教授介紹了基于氧化鋅的新型薄膜晶體管所帶來的主要優(yōu)勢,，這些薄膜晶體管在下一代柔性電子器件中非常有前途,。除此之外，還有眾多的二維材料被應(yīng)用于柔性電子領(lǐng)域,，包括石墨烯,、半導(dǎo)體氧化物，納米金等,。2014年發(fā)表在chemicalreview和naturenanotechnology上的兩篇經(jīng)典綜述詳盡闡述了二維材料在柔性電子的應(yīng)用,。 江蘇MEMS微納米加工材料區(qū)別