基于MEMS技術的SAW器件：

聲表面波(SAW)傳感器是近年來發(fā)展起來的一種新型微聲傳感器,，是種用聲表面波器件作為傳感元件,，將被測量的信息通過聲表面波器件中聲表面波的速度或頻率的變化反映出來,，并轉換成電信號輸出的傳感器,。聲表面波傳感器能夠精確測量物理,、化學等信息(如溫度,、應力,、氣體密度),。由于體積小,，聲表面波器件被譽為開創(chuàng)了無線,、小型傳感器的新紀元，同時,，其與集成電路兼容性強,，在模擬數(shù)字通信及傳感領域獲得了廣泛的應用。聲表面波傳感器能將信號集中于基片表面,、工作頻率高,，具有極高的信息敏感精度,，能迅速地將檢測到的信息轉換為電信號輸出，具有實時信息檢測的特性,，另外,，聲表面波傳感器還具有微型化、集成化,、無源,、低成本、低功耗,、直接頻率信號輸出等優(yōu)點,。 隨著科技的不斷進步，MEMS 微納米加工的精度正在持續(xù)提高,，趨近于原子級別的操控,。廣西MEMS微納米加工風格

熱敏柔性電極的PI三明治結構加工技術：熱敏柔性電極采用PI（聚酰亞胺）三明治結構，底層PI作為柔性基板,，中間層為金屬電極,，上層PI實現(xiàn)絕緣保護，開窗漏出Pad引線位置,，兼具柔韌性與電學性能,。加工過程中，首先在25μm厚度的PI基板上通過濺射沉積5μm厚度的銅/金電極層,，利用光刻膠作為掩膜進行濕法刻蝕,，形成10-50μm寬度的電極圖案，線條邊緣粗糙度＜1μm,；然后涂覆10μm厚度的PI絕緣層,，通過激光切割開設引線窗口，窗口定位精度±5μm,；***經(jīng)300℃高溫亞胺化處理,，提升層間結合力（剝離強度＞10N/cm）。該電極的彎曲半徑可達5mm,，耐彎折次數(shù)＞10萬次,，表面電阻＜5Ω/□，適用于可穿戴體溫監(jiān)測,、心率傳感器等設備,。在醫(yī)療領域，用于術后傷口熱敷的柔性加熱電極,，可通過調節(jié)輸入電壓實現(xiàn)37-42℃精細控溫,，溫度均勻性誤差＜±0.5℃，避免局部過熱損傷組織。公司支持電極圖案的個性化設計,，可集成熱電偶,、NTC熱敏電阻等傳感器，實現(xiàn)“感知-驅動”一體化,，推動柔性電子技術在醫(yī)療健康與智能設備中的廣泛應用,。陜西MEMS微納米加工常見問題MEMS的深硅刻蝕是什么？

PDMS金屬流道芯片的復合加工工藝：PDMS金屬流道芯片通過在柔性PDMS流道內集成金屬鍍層,，實現(xiàn)流體控制與電信號檢測的一體化設計,。加工流程包括：首先利用軟光刻技術在硅模上制備50-200μm寬度的流道結構，澆筑PDMS預聚體并固化成型,；然后通過氧等離子體處理流道表面,，使其親水化以促進金屬前驅體吸附；采用磁控濺射技術沉積50-200nm厚度的金/鉑金屬層,，經(jīng)化學鍍增厚至1-5μm,，形成連續(xù)導電流道；***與PET基板通過等離子體鍵合密封,，確保流體無泄漏,。金屬流道的表面粗糙度＜50nm，電阻＜10Ω/cm,，適用于電化學檢測,、電滲泵驅動等場景。典型應用如微流控電化學傳感器,，在10μL/min流速下,，對葡萄糖的檢測靈敏度達50μA?mM?1?cm?2，線性范圍0.1-20mM,，檢測下限＜50μM,。公司開發(fā)的自動化生產(chǎn)線可實現(xiàn)流道尺寸的精細控制（誤差＜±2%），并支持金屬層圖案化設計,，如叉指電極,、螺旋流道等，滿足不同傳感器的定制需求,，為生物檢測與環(huán)境監(jiān)測領域提供了柔性化,、集成化的解決方案。

在腦科學與精細醫(yī)療領域,，公司開發(fā)的MEA柔性電極采用超薄MEMS工藝，兼具物相容性與高導電性,，可定制化設計“觸凸”電極陣列,，***降低植入式腦機接口的手術創(chuàng)傷，同時提升神經(jīng)信號采集的信噪比。針對藥物遞送與檢測需求,，通過干濕結合刻蝕技術制備的微針器件,，既可實現(xiàn)組織間液的無痛提取，又能集成電化學傳感功能,，為糖尿病動態(tài)監(jiān)測,、透皮給藥系統(tǒng)提供硬件支持。此外,，公司**的MEMS多重轉印工藝,，可將光刻硅片模板快速轉化為PMMA、COC等硬質塑料芯片,，支持10個工作日內完成從設計圖紙到塑料芯片成型的全流程,，極大加速微流控產(chǎn)品的研發(fā)驗證周期。MEMS的超材料介紹與講解,。

MEMS制作工藝-太赫茲傳感器：

超材料(Metamaterial)是一種由周期性亞波長金屬諧振的單元陣列組成的人工復合型電磁材料,通過合理的設計單元結構可實現(xiàn)特殊的電磁特性,主要包括隱身,、完美吸和負折射等特性。目前,隨著太赫茲技術的快速發(fā)展,太赫茲超材料器件已成為當前科研的研究熱點,在濾波器,、吸收器,、偏振器、太赫茲成像,、光譜和生物傳感器等領域有著廣闊的應用前景,。

這項研究提出了一種全光學、端到端的衍射傳感器,，用于快速探測隱藏結構,。這種衍射太赫茲傳感器具有獨特的架構，由一對編碼器和解碼器構成的衍射網(wǎng)絡組成,，每個網(wǎng)絡都承擔著結構化照明和空間光譜編碼的獨特職責,，這種設計較為新穎?；谶@種獨特的架構,，研究人員展示了概念驗證的隱藏缺陷探測傳感器。實驗結果和分析成功證實了該單像素衍射太赫茲傳感器的可行性,，該傳感器使用脈沖照明來識別測試樣品內各種未知形狀和位置的隱藏缺陷,，具有誤報率極低、無需圖像形成和采集以及數(shù)字處理步驟等特點,。 EBL設備制備納米級超透鏡器件的原理是什么,？廣西MEMS微納米加工風格

MEMS的單分子免疫檢測是什么？廣西MEMS微納米加工風格

MEMS制作工藝柔性電子的常用材料-PI：

柔性PI膜是一種由聚酰亞胺（PI）構成的薄膜材料,，它是通過將均苯四甲酸二酐（PMDA）與二胺基二苯醚（ODA）在強極性溶劑中進行縮聚反應,，然后流延成膜，然后經(jīng)過亞胺化處理得到的高分子絕緣材料。柔性PI膜擁有許多獨特的優(yōu)點,，如高絕緣性,、良好的粘結性、強的耐輻射性和耐高溫性能,，使其成為一種綜合性能很好的有機高分子材料,。

柔性PI膜的應用非常廣，尤其在電子,、液晶顯示,、機械、航空航天,、計算機,、光伏電池等領域有著重要的用途。特別是在液晶顯示行業(yè)中,，柔性PI膜因其優(yōu)越的性能而被用作新型材料,，用于制造折疊屏手機的基板、蓋板和觸控材料,。由于OLED顯示技術的快速發(fā)展,，柔性PI膜已成為替代傳統(tǒng)ITO玻璃的新材料之一，廣泛應用于智能手機和其他可折疊設備的制造,。 廣西MEMS微納米加工風格