深硅刻蝕工藝在高深寬比結(jié)構(gòu)中的技術(shù)突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過優(yōu)化Bosch工藝參數(shù),，實現(xiàn)了深度100-500μm,、寬深比1:10至1:20的微結(jié)構(gòu)加工,。刻蝕過程中采用電感耦合等離子體（ICP）源,，結(jié)合氟基氣體（如SF6）與碳基氣體（如C4F8）的交替刻蝕與鈍化,，確保側(cè)壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm,。該技術(shù)應(yīng)用于地質(zhì)勘探模擬芯片時,，可精確復(fù)制地下巖層的微孔結(jié)構(gòu)，用于油氣滲流特性研究,；在生化試劑反應(yīng)腔中,，高深寬比流道增加了反應(yīng)物接觸面積，使酶促反應(yīng)速率提升40%,。公司還開發(fā)了雙面刻蝕與通孔對齊技術(shù),，實現(xiàn)三維立體流道網(wǎng)絡(luò)加工，為微反應(yīng)器,、微換熱器等復(fù)雜器件提供了關(guān)鍵制造能力,，推動MEMS技術(shù)在能源、環(huán)境等領(lǐng)域的跨學(xué)科應(yīng)用,。10-100μm 幾十微米級微流控芯片可實現(xiàn)多樣化結(jié)構(gòu)設(shè)計與精密加工,。安徽微流控芯片之PI柔性器件

標(biāo)準(zhǔn)化PDMS芯片產(chǎn)線：公司自建的PDMS芯片產(chǎn)線采用全自動化模塑工藝，涵蓋原料混煉,、真空脫泡,、高溫固化（80℃/2 h）及等離子親水化處理等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。產(chǎn)線配備高精度模具（公差±2 μm）與光學(xué)檢測系統(tǒng),，可批量生產(chǎn)單分子檢測芯片,、液滴生成芯片等產(chǎn)品。例如,，液滴芯片通過流聚焦結(jié)構(gòu)生成單分散乳液（CV<3%）,，通量達(dá)10,000滴/秒，用于單細(xì)胞RNA測序時,，細(xì)胞捕獲效率超過95%,。此外，PDMS芯片的表面改性技術(shù)（如二氧化硅涂層）可降低生物污染,，在長期細(xì)胞培養(yǎng)中保持表面親水性超過30天,。該產(chǎn)線已為多家IVD企業(yè)提供定制化服務(wù)，例如開發(fā)的核酸快檢芯片,，將樣本到結(jié)果的時間縮短至30分鐘,，靈敏度達(dá)98%，成為基層醫(yī)療機(jī)構(gòu)的主要檢測工具,。河北微流控芯片批量定制微米級微流控芯片通過電鏡觀測確保結(jié)構(gòu)精度,，適用于液滴分散與單分子分析,。

Cascade 有兩個測試用戶：馬里蘭大學(xué)Don DeVoe教授的微流體實驗室和加州大學(xué)Carl Meinhart教授的微流體實驗室。德國thinXXS公司開發(fā)了另一套微流控分析設(shè)備,。該設(shè)備提供了一個由微反應(yīng)板裝配平臺、模塊載片以及連接器和管道所組成的結(jié)構(gòu)工具包,?？蓡为氋徺I模塊載片。 ThinXXS還制造獨有芯片,，生產(chǎn)微流體和微光學(xué)設(shè)備和部件并提供相應(yīng)的服務(wù),。將微流控技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)檢測已經(jīng)計劃很多年了，thinXXS一直都在進(jìn)行這方面的綜合研究,，但未提供詳細(xì)資料,。但是，據(jù)了解,，該技術(shù)采用了先進(jìn)的MEMS傳感器的微納米制造工藝,，所以芯片得到了非常好的測試效果。

高聚物材料加工工藝：是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法,、熱壓法,、LIGA技術(shù)、激光刻蝕法和軟光刻等,。模塑法是先利用半導(dǎo)體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模,，然后在陽模上澆注液體的高分子材料，將固化后的高分子材料與陽模剝離后就得到了具有微結(jié)構(gòu)的基片,，之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片,。這一方法簡單易行，不需要高技術(shù)設(shè)備,，是大量生產(chǎn)廉價芯片的方法,。熱壓法也需要事先獲得適當(dāng)?shù)年柲！６鄻踊⒘骺匦酒庸ぐ咐采w數(shù)字 PCR,、單分子檢測,、POCT 等多個領(lǐng)域。

目前微流控創(chuàng)新的許多應(yīng)用都被報道用于惡性tumour的檢測和cure,。據(jù)報道,，apparatus微流控芯片用于研究特定身體（如大腦，肺,，心臟,，腎臟，腸道和皮膚）的生理過程,。值得注意的是,，微流控創(chuàng)新在之前的COVID 19大流行形勢中發(fā)揮著重要作用,，特別是在cure策略和冠狀病毒顆粒分析中，通過與qRT-PCR策略相結(jié)合,。因此,，微流控創(chuàng)新技術(shù)已證明它是一種優(yōu)越的技術(shù)?；谶@些事實,，可以得出結(jié)論，微流控芯片在復(fù)制生物體的復(fù)雜性之前還有很長的路要走,。微流控芯片技術(shù)用于PCR反應(yīng),。河北微流控芯片批量定制

微流控芯片材料多樣，PDMS 軟硅膠適用于生物相容性場景,，玻璃適合高透檢測,。安徽微流控芯片之PI柔性器件

腸道微流控芯片（GoC）：GoC系統(tǒng)模仿人類腸道的生理學(xué)。它解釋了腸道的主要功能,，即消化,、營養(yǎng)物質(zhì)的吸收、腸神經(jīng)的調(diào)節(jié),、體內(nèi)廢物的排泄,、以及伴隨微生物共生體的人體腸道的病理生理學(xué)。GoC模型主要用于精確復(fù)制具有所需微流控參數(shù)的腸道體內(nèi)環(huán)境,。Kim等人研究了當(dāng)人類GoC被腸道微生物群落占據(jù)時腸道的蠕動運動,。通過對齊兩個微通道（上部和下部）來設(shè)計微型器件，該微通道雕刻在PDMS層上,，該PDMS是通過基于MEMS的微納米制造工藝制作的模板翻模制備而來,，且PDMS層由涂有ECM的多孔柔性膜隔開。如圖所示,，該裝置被模仿人類腸道生理學(xué)的人腸上皮細(xì)胞包裹,。這樣的系統(tǒng)可以模擬人類腸道在某些特定因素下的蠕動運動，即流體流速,。安徽微流控芯片之PI柔性器件