基于MEMS技術的SAW器件：

聲表面波(SAW)傳感器是近年來發(fā)展起來的一種新型微聲傳感器,，是種用聲表面波器件作為傳感元件，將被測量的信息通過聲表面波器件中聲表面波的速度或頻率的變化反映出來,，并轉換成電信號輸出的傳感器,。聲表面波傳感器能夠精確測量物理,、化學等信息(如溫度,、應力,、氣體密度)。由于體積小,，聲表面波器件被譽為開創(chuàng)了無線、小型傳感器的新紀元,，同時,，其與集成電路兼容性強，在模擬數(shù)字通信及傳感領域獲得了廣泛的應用,。聲表面波傳感器能將信號集中于基片表面,、工作頻率高，具有極高的信息敏感精度,，能迅速地將檢測到的信息轉換為電信號輸出,，具有實時信息檢測的特性，另外,，聲表面波傳感器還具有微型化,、集成化、無源,、低成本,、低功耗、直接頻率信號輸出等優(yōu)點,。 MEMS的主要材料是什么,？上海MEMS微納米加工之SAW器件

MEMS四種刻蝕工藝的不同需求：

絕緣層上的硅蝕刻即SOI器件刻蝕：先進的微機電組件包含精細的可移動性零組件,，例如應用于加速計、陀螺儀,、偏斜透鏡(tiltingmirrors).共振器(resonators),、閥門、泵,、及渦輪葉片等組件的懸臂梁,。這些許多的零組件，是以深硅蝕刻方法在晶圓的正面制造,，接著藉由橫方向的等向性底部蝕刻的方法從基材脫離,，此方法正是典型的表面細微加工技術。而此技術有一項特點是以掩埋的一層材料氧化硅作為針對非等向性蝕刻的蝕刻終止層,，達成以等向性蝕刻實現(xiàn)組件與基材間脫離的結構(如懸臂梁),。由于二氧化硅在硅蝕刻工藝中，具有高蝕刻選擇比且在各種尺寸的絕緣層上硅晶材料可輕易生成的特性,，通常被采用作為掩埋的蝕刻終止層材料,。 新疆MEMS微納米加工工程測量MEMS常見的產(chǎn)品-聲學傳感器。

弧形柱子點陣的微納加工技術：弧形柱子點陣結構在細胞黏附,、流體動力學調控中具有重要應用,，公司通過激光直寫與反應離子刻蝕（RIE）技術實現(xiàn)該結構的精密加工。首先利用激光直寫系統(tǒng)在光刻膠上繪制弧形軌跡,，**小曲率半徑可達5μm,，線條寬度10-50μm；然后通過RIE刻蝕硅片或石英基板,，刻蝕速率50-200nm/min,，側壁弧度偏差＜±2°。柱子高度50-500μm,，間距20-100μm,，陣列密度可達10?個/cm2。在細胞培養(yǎng)芯片中,，弧形柱子表面通過RGD多肽修飾,，促進成纖維細胞沿曲率方向鋪展，細胞取向率提升70%,，用于肌腱組織工程研究,。在微流控芯片中,，弧形柱子陣列可降低流體阻力30%,，減少氣泡滯留，適用于高通量液滴生成系統(tǒng),，液滴尺寸變異系數(shù)＜5%,。公司開發(fā)的弧形結構設計軟件,，支持參數(shù)化建模與加工路徑優(yōu)化，將設計到加工的周期縮短至3個工作日,。該技術突破了傳統(tǒng)直柱結構的局限性,，為仿生微環(huán)境構建與流體控制提供了靈活的設計空間，在生物醫(yī)學工程與微流控器件中具有廣泛應用前景,。

新材料或將成為國產(chǎn)MEMS發(fā)展的新機會,。截止到目前，硅基MEMS發(fā)展已經(jīng)有40多年的發(fā)展歷程,，如何提高產(chǎn)品性能,、降低成本是全球企業(yè)都在思考的問題，而基于新材料的MEMS器件則成為擺在眼前的大奶酪,，PZT,、氮化鋁、氧化釩,、鍺等新材料MEMS器件的研究正在進行中,，搶先一步投入應用，將是國產(chǎn)MEMS彎道超車的好時機,。另外,，將多種單一功能傳感器組合成多功能合一的傳感器模組，再進行集成一體化,，也是MEMS產(chǎn)業(yè)新機會,。提高自主創(chuàng)新意識，加強創(chuàng)新能力,，也不是那么的遙遠,。基于MEMS技術的RF射頻器件是什么,？

PDMS金屬流道芯片的復合加工工藝：PDMS金屬流道芯片通過在柔性PDMS流道內(nèi)集成金屬鍍層,，實現(xiàn)流體控制與電信號檢測的一體化設計。加工流程包括：首先利用軟光刻技術在硅模上制備50-200μm寬度的流道結構,，澆筑PDMS預聚體并固化成型,；然后通過氧等離子體處理流道表面，使其親水化以促進金屬前驅體吸附,；采用磁控濺射技術沉積50-200nm厚度的金/鉑金屬層,，經(jīng)化學鍍增厚至1-5μm，形成連續(xù)導電流道,；***與PET基板通過等離子體鍵合密封,，確保流體無泄漏。金屬流道的表面粗糙度＜50nm,，電阻＜10Ω/cm,，適用于電化學檢測,、電滲泵驅動等場景。典型應用如微流控電化學傳感器,，在10μL/min流速下,，對葡萄糖的檢測靈敏度達50μA?mM?1?cm?2，線性范圍0.1-20mM,，檢測下限＜50μM,。公司開發(fā)的自動化生產(chǎn)線可實現(xiàn)流道尺寸的精細控制（誤差＜±2%），并支持金屬層圖案化設計,，如叉指電極,、螺旋流道等，滿足不同傳感器的定制需求,，為生物檢測與環(huán)境監(jiān)測領域提供了柔性化,、集成化的解決方案?？绯叨燃庸ぜ夹g結合 EBL 與紫外光刻,，在單一基板構建納米至毫米級復合微納結構。山西MEMS微納米加工方法

MEMS技術常用工藝技術組合有：紫外光刻,、電子束光刻EBL,、PVD磁控濺射、IBE刻蝕,、ICP-RIE深刻蝕,。上海MEMS微納米加工之SAW器件

MEMS制作工藝-聲表面波器件的特點：

1.聲表面波具有極低的傳播速度和極短的波長，它們各自比相應的電磁波的傳播速度的波長小十萬倍,。在VHF和UHF波段內(nèi),，電磁波器件的尺寸是與波長相比擬的。同理,，作為電磁器件的聲學模擬聲表面波器件SAW,，它的尺寸也是和信號的聲波波長相比擬的。因此,，在同一頻段上,，聲表面波器件的尺寸比相應電磁波器件的尺寸減小了很多，重量也隨之大為減輕,。

2.由于聲表面波系沿固體表面?zhèn)鞑?，加上傳播速度極慢，這使得時變信號在給定瞬時可以完全呈現(xiàn)在晶體基片表面上,。于是當信號在器件的輸入和輸出端之間行進時,，就容易對信號進行取樣和變換。這就給聲表面波器件以極大的靈活性，使它能以非常簡單的方式去,。完成其它技術難以完成或完成起來過于繁重的各種功能。

3.采用MEMS工藝,，以鈮酸鋰LNO和鉭酸鋰LTO為例子的襯底,，通過光刻（含EBL光刻）、鍍膜等微納米加工技術,，實現(xiàn)的SAW器件,，在聲表面器件的濾波、波束整形等方面提供了極大的工藝和性能支撐,。 上海MEMS微納米加工之SAW器件