基于MEMS技術(shù)的SAW器件的工作模式和原理：

聲表面波器件一般使用壓電晶體(例如石英晶體等)作為媒介，然后通過外加一正電壓產(chǎn)生聲波,，并通過襯底進(jìn)行傳播，然后轉(zhuǎn)換成電信號輸出,。聲表面波傳感器中起主導(dǎo)作用的主要是壓電效應(yīng),，其設(shè)計時需要考慮多種因素:如相對尺寸、敏感性,、效率等,。一般地，無線無源聲表面波傳感器的信號頻率范圍從40MHz到幾個GHz,。圖2所示為聲表面波傳感器常見的結(jié)構(gòu),，主要部分包括壓電襯底天線、敏感薄膜,、IDT等,。傳感器的敏感層通過改變聲表面波的速度來實現(xiàn)頻率的變化。

無線無源聲表面波系統(tǒng)包:發(fā)射器,、接收器,、聲表面波器件、通信頻道,。發(fā)射器和接收器組合成收發(fā)器或者解讀器的單一模塊,。圖3為聲表面波系統(tǒng)及其相互關(guān)聯(lián)的基礎(chǔ)部件,。解讀器將功率傳送給聲表面波器件，該功率可以是收發(fā)器輸入的連續(xù)波,，脈沖或者喝啾,。一般地，聲表面波器件獲得的功率大小具有一定限制,，以降低發(fā)射功率,，從而得到相同平均功率的喝啾。根據(jù)各向同性的輻射體,，接收的信號一般能通過高效的輻射功率天線發(fā)射,。 汽車上的MEMS傳感器有哪些？標(biāo)準(zhǔn)MEMS微納米加工平臺

國內(nèi)政策大力推動MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展：國家政策大力支持傳感器發(fā)展,，國內(nèi)MEMS企業(yè)擁有好的發(fā)展環(huán)境,。我國高度重視MEMS和傳感器技術(shù)發(fā)展，在2017年工信部出臺的《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動指南（2017-2019）》中,，明確指出要著力突破硅基MEMS加工技術(shù),、MEMS與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）集成、非硅模塊化集成等工藝技術(shù),，推動發(fā)展器件級、晶圓級MEMS封裝和系統(tǒng)級測試技術(shù),。國家政策高度支持MEMS制造企業(yè)研發(fā)創(chuàng)新,，政策驅(qū)動下，國內(nèi)MEMS制造企業(yè)獲得發(fā)展良機(jī),。新疆MEMS微納米加工節(jié)能規(guī)范柔性電極表面改性技術(shù)通過 PEG 復(fù)合涂層,，降低蛋白吸附 90% 并提升體內(nèi)植入生物相容性。

基于MEMS技術(shù)的SAW器件：

聲表面波(SAW)傳感器是近年來發(fā)展起來的一種新型微聲傳感器,，是種用聲表面波器件作為傳感元件,，將被測量的信息通過聲表面波器件中聲表面波的速度或頻率的變化反映出來，并轉(zhuǎn)換成電信號輸出的傳感器,。聲表面波傳感器能夠精確測量物理,、化學(xué)等信息(如溫度、應(yīng)力,、氣體密度),。由于體積小，聲表面波器件被譽(yù)為開創(chuàng)了無線,、小型傳感器的新紀(jì)元,，同時，其與集成電路兼容性強(qiáng),，在模擬數(shù)字通信及傳感領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用,。聲表面波傳感器能將信號集中于基片表面,、工作頻率高，具有極高的信息敏感精度,，能迅速地將檢測到的信息轉(zhuǎn)換為電信號輸出,，具有實時信息檢測的特性，另外,，聲表面波傳感器還具有微型化,、集成化、無源,、低成本,、低功耗、直接頻率信號輸出等優(yōu)點,。

加速度傳感器是很早廣泛應(yīng)用的MEMS之一,。MEMS，作為一個機(jī)械結(jié)構(gòu)為主的技術(shù),，可以通過設(shè)計使一個部件(圖中橙色部件)相對底座substrate產(chǎn)生位移（這也是絕大部分MEMS的工作原理）,，這個部件稱為質(zhì)量塊（proofmass）。質(zhì)量塊通過錨anchor,，鉸鏈hinge,，或彈簧spring與底座連接。鉸鏈或懸臂梁部分固定在底座,。當(dāng)感應(yīng)到加速度時,，質(zhì)量塊相對底座產(chǎn)生位移。通過一些換能技術(shù)可以將位移轉(zhuǎn)換為電能,，如果采用電容式傳感結(jié)構(gòu)（電容的大小受到兩極板重疊面積或間距影響）,，電容大小的變化可以產(chǎn)生電流信號供其信號處理單元采樣。通過梳齒結(jié)構(gòu)可以極大地擴(kuò)大傳感面積,，提高測量精度,，降低信號處理難度。加速度計還可以通過壓阻式,、力平衡式和諧振式等方式實現(xiàn),。MEMS常見的產(chǎn)品-聲學(xué)傳感器。

MEMS微納加工的產(chǎn)業(yè)化能力與技術(shù)儲備：公司在MEMS微納加工領(lǐng)域構(gòu)建了完整的技術(shù)體系與產(chǎn)業(yè)化能力,，涵蓋從設(shè)計仿真（使用COMSOL,、Lumerical等軟件）到工藝開發(fā)（10+種主流加工工藝）、批量生產(chǎn)（萬級潔凈車間,，月產(chǎn)能50,000片）的全鏈條服務(wù),。技術(shù)儲備方面，持續(xù)投入下一代微納加工技術(shù),，包括：①納米壓印技術(shù)實現(xiàn)10nm級結(jié)構(gòu)復(fù)制,，支持單分子測序芯片開發(fā),；②激光誘導(dǎo)正向轉(zhuǎn)移（LIFT）技術(shù)實現(xiàn)金屬電極的無掩膜直寫，加工速度提升5倍,；③可降解聚合物加工工藝,，開發(fā)聚乳酸基微流控芯片，適用于體內(nèi)短期植入檢測,。在設(shè)備端,，引進(jìn)了電子束曝光機(jī)（分辨率5nm）、電感耦合等離子體刻蝕機(jī)（ICP,，刻蝕速率20μm/min）,、全自動鍵合機(jī)（對準(zhǔn)精度±1μm）等裝備，構(gòu)建了快速打樣與規(guī)模生產(chǎn)的柔性制造平臺,。未來,，公司將聚焦“微納加工+生物傳感+智能集成”的戰(zhàn)略方向，推動MEMS技術(shù)在精細(xì)醫(yī)療,、環(huán)境監(jiān)測,、消費(fèi)電子等領(lǐng)域的深度應(yīng)用，通過持續(xù)創(chuàng)新保持技術(shù)**地位,，成為全球先進(jìn)的微納器件解決方案供應(yīng)商,。磁傳感器和MEMS磁傳感器有什么區(qū)別？江蘇個性化MEMS微納米加工

MEMS的柔性電極是什么,？標(biāo)準(zhǔn)MEMS微納米加工平臺

物聯(lián)網(wǎng)普及極大拓展MEMS應(yīng)用場景,。物聯(lián)網(wǎng)的產(chǎn)業(yè)架構(gòu)可以分為四層：感知層、傳輸層,、平臺層和應(yīng)用層，MEMS器件是物聯(lián)網(wǎng)感知層重要組成部分,。物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展帶動智能終端設(shè)備普及,，推動MEMS需求放量，據(jù)全球移動通信系統(tǒng)協(xié)會GSMA統(tǒng)計,，全球物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備數(shù)量已從2010年的20億臺,，增長到2019年的120億臺，未來受益于5G商用化和WiFi 6的發(fā)展,，物聯(lián)網(wǎng)市場潛力巨大,，GSMA預(yù)測，到2025年全球物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備將達(dá)到246億臺,，2019到2025年將保持12.7%的復(fù)合增長率,。標(biāo)準(zhǔn)MEMS微納米加工平臺