MEMS制作工藝-聲表面波器件SAW：

聲表面波是一種沿物體表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?，它能夠在兼作傳聲介質(zhì)和電聲換能材料的壓電基底材料表面進行傳播,。它是聲學和電子學相結(jié)合的一門邊緣學科。由于聲表面波的傳播速度比電磁波慢十萬倍,，而且在它的傳播路徑上容易取樣和進行處理,。因此，用聲表面波去模擬電子學的各種功能,，能使電子器件實現(xiàn)超小型化和多功能化,。隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的發(fā)展進步，聲表面波研究向諸多領(lǐng)域進行延伸研究,。上世紀90年代,，已經(jīng)實現(xiàn)了利用聲表面波驅(qū)動固體。進入二十一世紀,，聲表面波SAW在微流體應用研究取得了巨大的發(fā)展,。應用聲表面波器件可以實現(xiàn)固體驅(qū)動、液滴驅(qū)動,、微加熱,、微粒集聚\混合、霧化,。 MEMS具有以下幾個基本特點,？遼寧MEMS微納米加工設備工程

MEMS制作工藝柔性電子的常用材料：

碳納米管（CNT）由于其高的本征載流子遷移率，導電性和機械靈活性而成為用于柔性電子學的有前途的材料,，既作為場效應晶體管（FET）中的溝道材料又作為透明電極,。管狀碳基納米結(jié)構(gòu)可以被設想成石墨烯卷成一個無縫的圓柱體，它們獨特的性質(zhì)使其成為理想的候選材料,。因為它們具有高的固有載流子遷移率和電導率,，機械靈活性以及低成本生產(chǎn)的潛力。另一方面,，薄膜基碳納米管設備為實現(xiàn)商業(yè)化提供了一條實用途徑,。 重慶MEMS微納米加工代加工MEMS被認為是21世紀很有前途的技術(shù)之一。

超聲影像芯片的全集成MEMS設計與性能突破：針對超聲PZT換能器及CMUT/PMUT新型傳感器的收發(fā)需求,，公司開發(fā)了**SoC超聲收發(fā)芯片,，采用0.18mm高壓SOI工藝實現(xiàn)發(fā)射與開關(guān)復用，大幅節(jié)省芯片面積的同時提升性能,。在發(fā)射端,，通過MEMS高壓驅(qū)動電路設計，實現(xiàn)±100V峰值輸出電壓與1A持續(xù)輸出電流,，較TI同類產(chǎn)品提升30%,，滿足深部組織成像的能量需求；接收端集成12位ADC,，采樣率可達100Msps,，信噪比（SNR）達73.5dB，有效提升弱信號檢測能力,。芯片采用多層金屬布線與硅通孔（TSV）技術(shù),，實現(xiàn)3D堆疊集成，封裝尺寸較傳統(tǒng)方案縮小40%,。在二次諧波抑制方面,，通過優(yōu)化版圖布局與寄生參數(shù)補償，將5MHz信號的二次諧波降至-40dBc,，優(yōu)于行業(yè)基準-45dBc,，***提升圖像分辨率。目前TX芯片已完成流片,，與掌上超聲企業(yè)合作開發(fā)便攜式超聲設備,，可實現(xiàn)腹部、心血管等部位的實時成像,，探頭尺寸*30mm×20mm,，重量＜50g,，推動超聲診斷設備向小型化,、智能化邁進，助力基層醫(yī)療場景普及,。

國內(nèi)政策大力推動MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展：國家政策大力支持傳感器發(fā)展,，國內(nèi)MEMS企業(yè)擁有好的發(fā)展環(huán)境。我國高度重視MEMS和傳感器技術(shù)發(fā)展,，在2017年工信部出臺的《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動指南（2017-2019）》中,，明確指出要著力突破硅基MEMS加工技術(shù)、MEMS與互補金屬氧化物半導體（CMOS）集成,、非硅模塊化集成等工藝技術(shù),，推動發(fā)展器件級,、晶圓級MEMS封裝和系統(tǒng)級測試技術(shù)。國家政策高度支持MEMS制造企業(yè)研發(fā)創(chuàng)新,，政策驅(qū)動下,，國內(nèi)MEMS制造企業(yè)獲得發(fā)展良機。以PI為特色的柔性電子在太赫茲超表面器件上的應用很廣,。

太赫茲柔性電極的雙面結(jié)構(gòu)設計與加工：太赫茲柔性電極以PI為基底,，采用雙面結(jié)構(gòu)設計，上層實現(xiàn)太赫茲波發(fā)射/接收,，下層集成信號處理電路,，解決了傳統(tǒng)剛性太赫茲器件的便攜性難題。加工工藝包括：首先在雙面拋光的PI基板上,，利用電子束光刻制備亞微米級金屬天線陣列（如蝴蝶結(jié),、螺旋結(jié)構(gòu)），特征尺寸達500nm,，周期1-2μm,，實現(xiàn)對0.1-1THz頻段的高效耦合；背面通過薄膜沉積技術(shù)制備氮化硅絕緣層,，濺射銅箔形成共面波導傳輸線,，線寬控制精度±10nm，特性阻抗匹配50Ω,。電極整體厚度＜50μm,，彎曲狀態(tài)下信號衰減＜3dB，適用于人體安檢,、非金屬材料檢測等場景,。在生物醫(yī)學領(lǐng)域，太赫茲柔性電極可非侵入式檢測皮膚水分含量,，分辨率達0.1%,，檢測時間＜1秒，較傳統(tǒng)電阻法精度提升5倍,。公司開發(fā)的納米壓印技術(shù)實現(xiàn)了天線陣列的低成本復制,，單晶圓（4英寸）產(chǎn)能達1000片以上，良率＞85%,，推動太赫茲技術(shù)從實驗室走向便攜式設備,，為無損檢測與生物傳感提供了全新維度的解決方案。MEMS微流控芯片是什么,？本地MEMS微納米加工之超透鏡定制

超聲芯片封裝采用三維堆疊技術(shù),，縮小尺寸 40% 并提升信噪比至 73.5dB，優(yōu)化成像質(zhì)量,。遼寧MEMS微納米加工設備工程

新材料或?qū)⒊蔀閲a(chǎn)MEMS發(fā)展的新機會,。截止到目前,，硅基MEMS發(fā)展已經(jīng)有40多年的發(fā)展歷程，如何提高產(chǎn)品性能,、降低成本是全球企業(yè)都在思考的問題,，而基于新材料的MEMS器件則成為擺在眼前的大奶酪,，PZT,、氮化鋁、氧化釩,、鍺等新材料MEMS器件的研究正在進行中,，搶先一步投入應用，將是國產(chǎn)MEMS彎道超車的好時機,。另外,，將多種單一功能傳感器組合成多功能合一的傳感器模組，再進行集成一體化,，也是MEMS產(chǎn)業(yè)新機會,。提高自主創(chuàng)新意識，加強創(chuàng)新能力,，也不是那么的遙遠,。遼寧MEMS微納米加工設備工程