MEMS制作工藝柔性電子的常用材料-PI：

柔性PI膜是一種由聚酰亞胺（PI）構(gòu)成的薄膜材料,，它是通過將均苯四甲酸二酐（PMDA）與二胺基二苯醚（ODA）在強(qiáng)極性溶劑中進(jìn)行縮聚反應(yīng)，然后流延成膜,，然后經(jīng)過亞胺化處理得到的高分子絕緣材料,。柔性PI膜擁有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，如高絕緣性,、良好的粘結(jié)性,、強(qiáng)的耐輻射性和耐高溫性能，使其成為一種綜合性能很好的有機(jī)高分子材料,。

柔性PI膜的應(yīng)用非常廣,，尤其在電子、液晶顯示,、機(jī)械,、航空航天、計(jì)算機(jī),、光伏電池等領(lǐng)域有著重要的用途,。特別是在液晶顯示行業(yè)中,，柔性PI膜因其優(yōu)越的性能而被用作新型材料，用于制造折疊屏手機(jī)的基板,、蓋板和觸控材料,。由于OLED顯示技術(shù)的快速發(fā)展，柔性PI膜已成為替代傳統(tǒng)ITO玻璃的新材料之一,，廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)和其他可折疊設(shè)備的制造,。 自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)基于機(jī)器視覺，實(shí)現(xiàn)微流控芯片尺寸測(cè)量,、缺陷識(shí)別與統(tǒng)計(jì)分析一體化,。山東MEMS微納米加工之超表面制作

MEMS技術(shù)的主要分類：光學(xué)方面相關(guān)的資料與技術(shù)。光學(xué)隨著信息技術(shù),、光通信技術(shù)的迅猛發(fā)展,，MEMS發(fā)展的又一領(lǐng)域是與光學(xué)相結(jié)合，即綜合微電子,、微機(jī)械,、光電子技術(shù)等基礎(chǔ)技術(shù)，開發(fā)新型光器件,，稱為微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS),。微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)能把各種MEMS結(jié)構(gòu)件與微光學(xué)器件、光波導(dǎo)器件,、半導(dǎo)體激光器件,、光電檢測(cè)器件等完整地集成在一起。形成一種全新的功能系統(tǒng),。MOEMS具有體積小,、成本低、可批量生產(chǎn),、可精確驅(qū)動(dòng)和控制等特點(diǎn),。新疆MEMS微納米加工的生物傳感器MEMS的光學(xué)超表面是什么？

微機(jī)電系統(tǒng)是指集微型傳感器,、執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路,、接口電路、通信和電源于一體的微型機(jī)電系統(tǒng),，是一個(gè)智能系統(tǒng),。主要由傳感器、作動(dòng)器和微能源三大部分組成,。微機(jī)電系統(tǒng)具有以下幾個(gè)基本特點(diǎn),，微型化、智能化,、多功能,、高集成度,。微機(jī)電系統(tǒng)。它是通過系統(tǒng)的微型化,、集成化來探索具有新原理,、新功能的元件和系統(tǒng)微機(jī)電系統(tǒng)。微機(jī)電系統(tǒng)涉及航空航天,、信息通信,、生物化學(xué)、醫(yī)療,、自動(dòng)控制,、消費(fèi)電子以及兵器等應(yīng)用領(lǐng)域。微機(jī)電系統(tǒng)的制造工藝主要有集成電路工藝,、微米/納米制造工藝,、小機(jī)械工藝和其他特種加工工種。微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)主要包括設(shè)計(jì)與仿真技術(shù),、材料與加工技術(shù),、封裝與裝配技術(shù)、測(cè)量與測(cè)試技術(shù),、集成與系統(tǒng)技術(shù)等,。

MEMS微納加工的產(chǎn)業(yè)化能力與技術(shù)儲(chǔ)備：公司在MEMS微納加工領(lǐng)域構(gòu)建了完整的技術(shù)體系與產(chǎn)業(yè)化能力，涵蓋從設(shè)計(jì)仿真（使用COMSOL,、Lumerical等軟件）到工藝開發(fā)（10+種主流加工工藝）,、批量生產(chǎn)（萬級(jí)潔凈車間，月產(chǎn)能50,000片）的全鏈條服務(wù),。技術(shù)儲(chǔ)備方面,，持續(xù)投入下一代微納加工技術(shù)，包括：①納米壓印技術(shù)實(shí)現(xiàn)10nm級(jí)結(jié)構(gòu)復(fù)制,，支持單分子測(cè)序芯片開發(fā),；②激光誘導(dǎo)正向轉(zhuǎn)移（LIFT）技術(shù)實(shí)現(xiàn)金屬電極的無掩膜直寫，加工速度提升5倍,；③可降解聚合物加工工藝，開發(fā)聚乳酸基微流控芯片,，適用于體內(nèi)短期植入檢測(cè),。在設(shè)備端，引進(jìn)了電子束曝光機(jī)（分辨率5nm）,、電感耦合等離子體刻蝕機(jī)（ICP,，刻蝕速率20μm/min）、全自動(dòng)鍵合機(jī)（對(duì)準(zhǔn)精度±1μm）等裝備,，構(gòu)建了快速打樣與規(guī)模生產(chǎn)的柔性制造平臺(tái),。未來,，公司將聚焦“微納加工+生物傳感+智能集成”的戰(zhàn)略方向，推動(dòng)MEMS技術(shù)在精細(xì)醫(yī)療,、環(huán)境監(jiān)測(cè),、消費(fèi)電子等領(lǐng)域的深度應(yīng)用，通過持續(xù)創(chuàng)新保持技術(shù)**地位,，成為全球先進(jìn)的微納器件解決方案供應(yīng)商,。柔性電極表面改性技術(shù)通過 PEG 復(fù)合涂層，降低蛋白吸附 90% 并提升體內(nèi)植入生物相容性,。

超薄石英玻璃雙面套刻加工技術(shù)解析：在厚度100μm以上的超薄石英玻璃基板上進(jìn)行雙面套刻加工,，是實(shí)現(xiàn)高集成度微流控芯片與光學(xué)器件的關(guān)鍵技術(shù)。公司采用激光微加工與紫外光刻結(jié)合工藝,，首先通過CO?激光切割實(shí)現(xiàn)玻璃基板的高精度成型（邊緣誤差＜±5μm）,，然后利用雙面光刻對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)（精度±1μm）進(jìn)行微結(jié)構(gòu)加工。正面通過干法刻蝕制備5-50μm深度的微流道,，背面采用離子束濺射沉積100nm厚度的金屬電極層,，經(jīng)光刻剝離形成微米級(jí)電極陣列。針對(duì)玻璃材質(zhì)的脆性特點(diǎn),，開發(fā)了低溫鍵合技術(shù)（150-200℃）,，使用硅基粘合劑實(shí)現(xiàn)雙面結(jié)構(gòu)的密封，鍵合強(qiáng)度＞3MPa,，耐水壓＞50kPa,。該技術(shù)應(yīng)用于光聲成像芯片時(shí)，正面微流道實(shí)現(xiàn)樣本輸送,，背面電極陣列同步激發(fā)光聲信號(hào),，光-電信號(hào)延遲＜10ns，成像分辨率達(dá)50μm,。此外,，超薄玻璃的高透光性（＞95%@400-1000nm）與化學(xué)穩(wěn)定性，使其成為熒光檢測(cè),、拉曼光譜分析等**芯片的優(yōu)先基板,，公司已實(shí)現(xiàn)4英寸晶圓級(jí)批量加工，成品率＞90%,，為光學(xué)微系統(tǒng)集成提供了可靠的制造平臺(tái),。超透鏡的電子束直寫和刻蝕工藝其實(shí)并不復(fù)雜。西藏MEMS微納米加工廠家

MEMS技術(shù)常用工藝技術(shù)組合有：紫外光刻,、電子束光刻EBL,、PVD磁控濺射、IBE刻蝕、ICP-RIE深刻蝕,。山東MEMS微納米加工之超表面制作

MEMS制作工藝-微流控芯片：

微流控芯片技術(shù)(Microfluidics)是把生物,、化學(xué)、醫(yī)學(xué)分析過程的樣品制備,、反應(yīng),、分離、檢測(cè)等基本操作單元集成到一塊微米尺度的芯片上,，自動(dòng)完成分析全過程,。微流控芯片（microfluidicchip）是當(dāng)前微全分析系統(tǒng)（MiniaturizedTotalAnalysisSystems）發(fā)展的熱點(diǎn)領(lǐng)域。

微流控芯片分析以芯片為操作平臺(tái),同時(shí)以分析化學(xué)為基礎(chǔ),以微機(jī)電加工技術(shù)為依托,以微管道網(wǎng)絡(luò)為結(jié)構(gòu)特征,以生命科學(xué)為目前主要應(yīng)用對(duì)象,，是當(dāng)前微全分析系統(tǒng)領(lǐng)域發(fā)展的重點(diǎn),。它的目標(biāo)是把整個(gè)化驗(yàn)室的功能,包括采樣、稀釋,、加試劑,、反應(yīng)、分離,、檢測(cè)等集成在微芯片上,且可以多次使用,。 山東MEMS微納米加工之超表面制作