沉降菌測定法:沉降菌指落在地面或物體表面的灰塵中攜帶的細菌。在無菌操作臺開啟的狀態(tài)下,,取內(nèi)徑90毫米的無菌培養(yǎng)皿若干,無菌操作分別注入融化并冷卻至45℃的營養(yǎng)瓊脂培養(yǎng)基越15毫升,,倒置于30~35℃培養(yǎng)箱培養(yǎng)48小時,,證明無菌后備用。將已鋪有營養(yǎng)瓊脂培養(yǎng)基的培養(yǎng)皿放在指定區(qū)域距地面約1米的規(guī)定處(一般每10平方米放置一個平皿),,在空氣中暴露30分鐘,,采集沉降菌,蓋好平皿蓋兒,,置30-35℃培養(yǎng)箱內(nèi)培養(yǎng)48小時,,取出計數(shù),車間內(nèi)應(yīng)為操作狀態(tài),。檢測沉降菌數(shù)量,,每碟小于或等于10個,便能達到10萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn),。凈室被習(xí)慣 地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),。電子廠房環(huán)境檢測技術(shù)好
《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50472-2008)。本標(biāo)準(zhǔn)“附錄D潔凈室(區(qū))性能測試和認(rèn)證”的要點:1)風(fēng)速和風(fēng)量的檢測,。對于單向流潔凈室,檢測平面應(yīng)取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面,。2)靜壓差的檢測,。檢測靜壓差的時候應(yīng)該關(guān)閉全部門窗。檢測儀器的靈敏度應(yīng)小于1.0Pa,。有多個潔凈室時,,應(yīng)由里向外按順序檢測,。3)空氣過濾器安裝后的檢漏。光學(xué)粒子計數(shù)器的采樣量應(yīng)大于1L/min,。應(yīng)在過濾器的上風(fēng)側(cè)引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子,,其濃度應(yīng)大于3.5x10pc/m。微粒儀距離濾器表面20~30mm處等速采樣,,并以5~20mm/s速度移動,。4)潔凈度的檢測。少采樣點和每次少采樣量與ISO14644基本相同,。5)溫度和濕度的檢測,。檢測點的覆蓋面積不大于100m2。每個房間不少于2個檢測點,。檢測點應(yīng)設(shè)在潔凈室工作高度,,且距吊頂、墻和地面不少于300mm,。6)噪聲的檢測,。每100m2設(shè)1個檢測點。檢測點距地面1.1~1.5m,,距墻大于3m,。7)照度的檢測。檢測點應(yīng)設(shè)在潔凈室工作高度,,宜距地面0.85m,每25m2設(shè)1個檢測點,。上海電子廠房環(huán)境檢測技術(shù)好動態(tài)設(shè)施處于按規(guī)定方式運行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場以規(guī)定的方式工作。
潔凈室(Clean Room),,亦稱無塵車間,、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制,,沒有潔凈室,,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,,潔凈室被定義為具備空氣過濾,、分配、優(yōu)化,、構(gòu)造材料和裝置的房間,,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e,。潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,,是檢驗潔凈室質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn),該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,,分為若干等級,,常用的有國際標(biāo)準(zhǔn)和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),一些凈化工程公司,,在通行標(biāo)準(zhǔn)之外,,還設(shè)有自身執(zhí)行的高于國際化通行標(biāo)準(zhǔn)的凈化指標(biāo),凈化能力和環(huán)境適應(yīng)力遠超國際品牌,。
(三)潔凈室控管之項目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子,。
2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3. 溫度和濕度之控制,。
4. 壓力之調(diào)節(jié),。
5. 有害氣體之排除。
6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性,。
7. 靜電之防制,。
8. 電磁干擾預(yù)防。
9. 安全因素之考慮,。
10. 節(jié)能之考量,。
(四)潔凈室之分類
1.亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng),。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài),。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單,、系統(tǒng)建造成本,,潔凈室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所,,可并用無塵工作臺,,提高潔凈室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,,易污染制程產(chǎn)品,。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再運行,欲達需求之潔凈度,,往往須耗時相當(dāng)長一段時間,。
按氣流組織分類,潔凈室可分為三類:單向流,、層流,、潔凈室。
潔凈室(CleanRoom),,亦稱無塵車間,、無塵室或清凈室,。是指一個具有低污染水平的環(huán)境,,這里所指的污染來源有灰塵,,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,,和化學(xué)揮發(fā)性氣體,。更準(zhǔn)確地講,一個凈室具有一個受控的污染級別,,污染級別可用每立方米的顆粒數(shù),,或者用比較大顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物),,更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵,。凈室被應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn),、生化技術(shù),、生物技術(shù)、精密機械,、制藥,、醫(yī)院等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度,、潔凈度要求尤其嚴(yán)格,、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi),才不會對制程產(chǎn)生影響,。作為生產(chǎn)設(shè)施,,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。生物潔凈室它與工業(yè)潔凈室一樣所不同的是控制參數(shù)中增加了控制室內(nèi)細菌的濃度,。北京電子廠房環(huán)境檢測優(yōu)化價格
風(fēng)機過濾單元(FFU)是一種空氣自凈裝置,,可室內(nèi)吊頂安裝或放置在支架上,使局部級別達到百級,。電子廠房環(huán)境檢測技術(shù)好
溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫,、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試,。較早檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度,、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場合,。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時,,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉(zhuǎn),,各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間,。所做測量應(yīng)適合實際使用的目的,,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘,。電子廠房環(huán)境檢測技術(shù)好
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