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壓差檢測(cè)要求:(1)靜壓差的測(cè)定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門(mén)全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,,一直檢測(cè)到直通室外的房間,。(3)測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒(méi)有氣流影響的任何地方均可,測(cè)管口面與氣流流線平行,。(4)所測(cè)量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa,。壓差檢測(cè)步驟:(1)先關(guān)閉所有的門(mén)。(2)用微差壓計(jì)測(cè)量各潔凈室之間,、潔凈室走廊之間,、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù),。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值,。(1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa,。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,,不應(yīng)小于10Pa。(3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5級(jí)(100級(jí))的單向流潔凈室在開(kāi)門(mén)時(shí),,門(mén)內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值,。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量,、排風(fēng)量,、至合格為止。CMA資質(zhì)方面:認(rèn)可第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu),,CMA計(jì)量認(rèn)證資質(zhì),。上海潔凈室檢測(cè)值得推薦
B.2.1.3粒徑限制器為獲得測(cè)量或驗(yàn)證U描述符所需的計(jì)數(shù)效率特性,可在計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側(cè)的離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器的采樣管上,,安裝一個(gè)粒徑限制器,。改動(dòng)后,,計(jì)數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內(nèi),。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子,,以準(zhǔn)確且可再現(xiàn)的方式降低透過(guò)率。粒徑限制器多種多樣,,其大小和配置各異,,只要它們具有所要求的透過(guò)率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴(kuò)散元件和虛擬撞擊器,。透過(guò)率隨粒子的物理特性,、限制器構(gòu)造和體積流量而變化。因此,,使用粒徑限制器時(shí)要小心,,它們只能用于規(guī)定的流量,安裝時(shí)要防靜電累積,。為了減少電荷累積,,粒徑限制器應(yīng)有良好的接地。北京排風(fēng)柜檢測(cè)優(yōu)化價(jià)格采用智能化管理系統(tǒng),,提高潔凈室檢測(cè)數(shù)據(jù)的管理效率,。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,,從而我們稱(chēng)之為潔凈室,。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的,。也就是說(shuō),,所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,,而是控制在極少量的單位,。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響
在單向流潔凈室內(nèi),,干凈氣流不是一股或幾股,,而是充滿(mǎn)全室斷面,所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用,,而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排至室外,,達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以,,前聯(lián)邦德國(guó)有人稱(chēng)單向流潔凈室的氣流為“活塞流”,、“平推流”前蘇聯(lián)稱(chēng)之為“被擠壓的弱空氣射流”,。干凈空氣就好比一個(gè)空氣活塞,沿著房間這個(gè)“氣缸”,,向前(下)推進(jìn),,而使塵粒只能前(下)進(jìn),沒(méi)有返回,,把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間,。塵埃粒子的粒徑分布分析有助于評(píng)估潔凈室的過(guò)濾效率。
(三)空氣過(guò)濾器的泄露1,、儀器設(shè)備及環(huán)境測(cè)量?jī)x器塵埃粒子計(jì)數(shù)器,、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下,。2、抽樣高效過(guò)濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前,,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn),,并提供合格證。在單向流潔凈室對(duì)安裝的高效空氣過(guò)濾器應(yīng)該逐臺(tái)進(jìn)行檢漏,,亂流潔凈室對(duì)于7級(jí)或更低級(jí)別的潔凈室,,只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級(jí)別,就可以不進(jìn)行檢漏,。3,、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過(guò)率,對(duì)于高效過(guò)濾器應(yīng)不大于過(guò)濾器出廠合格率的2倍,,對(duì)于超高效過(guò)濾器應(yīng)不大于出廠合格透過(guò)率的3倍,。5、操作過(guò)程及判定過(guò)濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過(guò)濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室,。對(duì)于安裝于送,、排風(fēng)末端的高效過(guò)濾器,應(yīng)用掃描法進(jìn)行過(guò)濾安裝邊框和全斷面檢漏,,掃描法有檢漏儀法光度計(jì)法和采樣量**小為1L/min的粒子計(jì)數(shù)器法兩種,。潔凈室檢測(cè)是保障產(chǎn)品質(zhì)量、提升企業(yè)形象,、滿(mǎn)足客戶(hù)需求的重要措施,。上海潔凈室檢測(cè)值得推薦
潔凈室檢測(cè)通常包括空氣潔凈度、溫濕度,、壓差等多個(gè)參數(shù),。上海潔凈室檢測(cè)值得推薦
每臺(tái)風(fēng)機(jī)出風(fēng)面至少1點(diǎn)平均風(fēng)速范圍:m/s±20%額定風(fēng)量測(cè)定用風(fēng)量罩測(cè)試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開(kāi)口應(yīng)完全罩住過(guò)濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置:回風(fēng)口,風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過(guò)濾器之間沒(méi)有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度,、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度計(jì)設(shè)置氣溶膠濃度調(diào)節(jié)F.檢漏掃描整個(gè)過(guò)濾器和安裝所有邊框和接點(diǎn),。采樣頭掃描速率≤5cm/s(3cm*3cm),。采樣頭掃描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采樣頭距離濾器表面距離≤3cm.檢漏掃描所有結(jié)構(gòu)部件:a)支架和建筑物之間b)支架和濾器邊框之間c)整個(gè)濾器d)密封條,、框架及支架之間e)采樣頭掃描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f)采樣頭掃描速率≤3cm/s(5cm*1cm)g)采樣頭距離濾器表面距離≤3cmG.高效過(guò)濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn)泄露率≤6.高效過(guò)濾器完整性檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)(高效過(guò)濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn))ISO14644-3,。上海潔凈室檢測(cè)值得推薦