潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的,。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵,，并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,，相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,。潔凈室檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性直接影響到產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

1,、按潔凈度級(jí)別劃分為1級(jí),、2級(jí)、3級(jí),、4級(jí),、5級(jí)、6級(jí),、7級(jí),、8級(jí)、9級(jí),。9級(jí)為低等級(jí)別,。2、按氣流組織分類,，潔凈室可分為三類：?jiǎn)蜗蛄?、層流、潔凈室,。沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流,。其中與水平面垂直的單向流是垂直單向流與水平面平行的單向流是水平單向流。亂流非單向流潔凈室凡不符合單向流定義的氣流的潔凈室,?；旌狭鳚崈羰遥?jiǎn)蜗蛄骱头菃蜗蛄鹘M合的氣流的潔凈室,。3,、按所需控制的空氣中懸浮微粒分類,，可將潔凈室分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。工業(yè)潔凈室,，它主要控制參數(shù)是溫,、濕度、風(fēng)速,、氣流組織,、潔凈度。生物潔凈室它與工業(yè)潔凈室一樣所不同的是控制參數(shù)中增加了控制室內(nèi)細(xì)菌的濃度,。4,、潔凈室的檢測(cè)狀態(tài)可分為三類。（1）空態(tài)設(shè)施齊全的潔凈室所有管線接通并運(yùn)行但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備,、材料及生產(chǎn)人員,。（2）靜態(tài)已全部建成的設(shè)施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設(shè)備并按業(yè)主供應(yīng)商商定的方式試遠(yuǎn)轉(zhuǎn)，但場(chǎng)內(nèi)無(wú)生產(chǎn)人員,。（3）動(dòng)態(tài)設(shè)施處于按規(guī)定方式運(yùn)行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場(chǎng)以規(guī)定的方式工作,。北京實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)方便客戶潔凈室內(nèi)的照明設(shè)備需定期清潔，避免成為污染源,。

潔凈室竣工驗(yàn)收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1,、各種管道、自動(dòng)滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器,、風(fēng)機(jī),、凈化空調(diào)機(jī)組、高效空氣過(guò)濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確,、牢固,、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2,、高,、中效空氣過(guò)濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3,、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密,、調(diào)節(jié)靈活、操作方便,。4,、凈化空調(diào)箱、靜壓箱,、風(fēng)管系統(tǒng)及送,、回風(fēng)口無(wú)灰塵,。5、潔凈室的內(nèi)墻面,、頂棚表面和地面應(yīng)光滑,、平整、色澤均勻不起灰塵地板無(wú)靜電現(xiàn)象,。6,、送回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道,、照明和動(dòng)力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時(shí)穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠,。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤(pán),、柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠,。8各種刷涂,、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。

潔凈室或潔凈設(shè)施溫,、濕度測(cè)定,，通常分為兩個(gè)檔次：一般測(cè)試和綜合測(cè)試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試,，第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試,。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合,。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行,。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),，各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定,。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間,。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,，待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量，測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘,。遵循GMP,、ISO等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行潔凈室檢測(cè)，提升產(chǎn)品質(zhì)量信譽(yù),。

1,、主要參數(shù)控制一般空調(diào)側(cè)重溫度、濕度,、新鮮空氣量的供給,，而潔凈室空調(diào)則側(cè)重控制室內(nèi)空氣的含塵量,、風(fēng)速、換氣次數(shù),。在溫濕度有要求的房間,，它們也是主要控制參數(shù)。生物潔凈室對(duì)細(xì)菌含量也是主要的控制參數(shù)之一,。2,、空氣過(guò)濾手段一般空調(diào)有的只有粗效一級(jí)過(guò)濾，要求較高的是粗效中效二級(jí)過(guò)濾處理,。而潔凈空調(diào)則要求三級(jí)過(guò)濾,，即粗、中,、高效三級(jí)過(guò)濾或粗,、中、亞高效三級(jí)過(guò)濾,。生物潔凈室除送風(fēng)系統(tǒng)有三級(jí)過(guò)濾外,，在排風(fēng)系統(tǒng)為了消除動(dòng)物的特殊臭味及避免對(duì)環(huán)境的污染，依據(jù)不同情況尚設(shè)二級(jí)高效過(guò)濾或?yàn)V毒吸附過(guò)濾,。3,、室內(nèi)壓力要求一般空調(diào)對(duì)室內(nèi)壓力無(wú)特殊要求，而潔凈空調(diào)為了避免外界污染空氣的滲入或不同生產(chǎn)車間不同物質(zhì)的相互影響對(duì)不同潔凈區(qū)的正壓值均有不同的要求,。在負(fù)壓潔凈室內(nèi)尚有負(fù)壓度的控制要求,。4、潔凈空調(diào)系統(tǒng)材料和設(shè)備的選擇,、加工工藝,、加工安裝環(huán)境、設(shè)備部件貯存環(huán)境為了避免被外界污染均有特殊的要求,。這也是一般空調(diào)系統(tǒng)所沒(méi)有的,。5、對(duì)氣密性的要求一般空調(diào)系統(tǒng)對(duì)系統(tǒng)的氣密性滲氣量雖有要求,。但潔凈空調(diào)系統(tǒng)的要求要比一般空調(diào)系統(tǒng)高得多其檢測(cè)手段,，各工序的標(biāo)準(zhǔn)均有嚴(yán)格措施及檢測(cè)要求。定期進(jìn)行光照度檢測(cè),，確保工作區(qū)域光線充足且均勻,。浙江潔凈室環(huán)境檢測(cè)服務(wù)至上

氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入,、產(chǎn)生及滯留的粒子,。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

抽樣高效過(guò)濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn),，并提供合格證,。在單向流潔凈室對(duì)安裝的高效空氣過(guò)濾器應(yīng)該逐臺(tái)進(jìn)行檢漏,，亂流潔凈室對(duì)于7級(jí)或更低級(jí)別的潔凈室，只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級(jí)別,，就可以不進(jìn)行檢漏,。技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件：由受檢過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過(guò)率，對(duì)于高效過(guò)濾器應(yīng)不大于過(guò)濾器出廠合格率的2倍,，對(duì)于超高效過(guò)濾器應(yīng)不大于出廠合格透過(guò)率的3倍,。操作過(guò)程及判定過(guò)濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過(guò)濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對(duì)于安裝于送,、排風(fēng)末端的高效過(guò)濾器,，應(yīng)用掃描法進(jìn)行過(guò)濾安裝邊框和全斷面檢漏，掃描法有檢漏儀法光度計(jì)法和采樣量為1L/min的粒子計(jì)數(shù)器法兩種,。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)