10.3.1潔凈廠房?jī)?nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求,、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)人必要損耗量確定,并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量,、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房?jī)?nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動(dòng)力站;4應(yīng)選用能耗少,、噪聲低的設(shè)備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機(jī)，5含水量要求嚴(yán)格時(shí),宜選用加熱再生吸附干燥裝置,。無塵室的存在對(duì)于許多前沿科技的發(fā)展起著至關(guān)重要的作用,。上海過濾器無塵室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定,。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)潔,、明快,，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫,、隔熱,、防火、防潮、少產(chǎn)塵,、易清潔等要求,。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào),，并應(yīng)具有防火,、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū),。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層,、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造,，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝,、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。浙江溫濕度無塵室檢測(cè)分析無塵室極主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,。

15.1.1承擔(dān)潔凈室施工的單位應(yīng)按本規(guī)范的相關(guān)規(guī)定,，建立質(zhì)量管理體系。15.1.2潔凈室的各級(jí)施工人員應(yīng)有必要的潔凈室施工經(jīng)歷,，明確的分工和職責(zé),。15.1.3特殊工種作業(yè)人員應(yīng)持證上崗。15.1.4施工單位應(yīng)編制施工組織設(shè)計(jì),，制定具體工程的施工程序,，并按程序?qū)κ┕と^程實(shí)行質(zhì)量控制。15.1.5施工過程中,，不得違反設(shè)計(jì)文件擅自改動(dòng)系統(tǒng),、參數(shù)、設(shè)備選型,、配套設(shè)施和主要使用功能,。當(dāng)修改設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)經(jīng)原設(shè)計(jì)單位確認(rèn),、簽字,，并得到建設(shè)單位的同意，在通知監(jiān)理方之后執(zhí)行,。15.1.6施工安裝的全過程,、竣工設(shè)施的詳細(xì)情況、所有操作和維護(hù)程序,，都應(yīng)采用文件形式確認(rèn),。為施工安裝的運(yùn)作提供文字依據(jù)，為責(zé)任和獎(jiǎng)懲提供明確依據(jù),，為質(zhì)量改進(jìn)提供原始依據(jù),。15.1.7應(yīng)加強(qiáng)施工現(xiàn)場(chǎng)的防火工作,，嚴(yán)格執(zhí)行防火安全規(guī)定，施工隊(duì)伍進(jìn)人現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)建立防火組織,，責(zé)任到人,。15.1.8應(yīng)做好安全技術(shù)工作的書面交底，并認(rèn)真做好記錄,，加強(qiáng)防范意識(shí),。

E.1.1風(fēng)量風(fēng)速檢測(cè)必須首先進(jìn)行，凈化空調(diào)各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得,。E.1.2風(fēng)量檢測(cè)前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常,，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無障礙,，所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上,，且必須實(shí)際測(cè)量被測(cè)風(fēng)口、風(fēng)管尺寸,。E.1.3測(cè)定室內(nèi)微風(fēng)速儀器的小刻度或讀數(shù)不應(yīng)大于0.02m/s,，一般可用熱球式風(fēng)速儀，需要測(cè)出分速度時(shí),，應(yīng)采用超聲波三維風(fēng)速計(jì),。E.1.4對(duì)于單向流潔凈室，可采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量,，垂直單向流潔凈室的測(cè)定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板,、格柵除外)的水平截面，如有阻隔面,，該測(cè)定截面應(yīng)抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風(fēng)面0.5m的垂直于地面的截面,，截面上測(cè)點(diǎn)間距不應(yīng)大于1m,，一般取0.3m,。測(cè)點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于20個(gè)，均勻布置,。E.1.5對(duì)于非單向流潔凈室,，內(nèi)安裝過濾器的風(fēng)口可采用套管法、風(fēng)量罩法或風(fēng)管法測(cè)定風(fēng)量,，為測(cè)定回風(fēng)口或新風(fēng)口風(fēng)量,，也可用風(fēng)口法?？諝鈶腋×Ｗ訚舛仁芸氐南薅臻g,。

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測(cè)應(yīng)符合下列要求：1室內(nèi)空氣溫度和相對(duì)濕度測(cè)定之前，空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行至少8h,。2溫度的檢測(cè)可采用玻璃溫度計(jì),、數(shù)字式溫濕度計(jì)；濕度的檢測(cè)可采用通風(fēng)式干濕球溫度計(jì)、數(shù)字式溫濕度計(jì),、電容式濕度檢測(cè)儀或露點(diǎn)傳感器等,。根據(jù)溫濕度的波動(dòng)范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測(cè)試儀表,。溫度檢測(cè)儀表的極小刻度不宜高于0.4℃,，濕度檢測(cè)儀表的極小刻度不宜高于2%。測(cè)點(diǎn)為房間中間一點(diǎn),，應(yīng)在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄,。測(cè)完室內(nèi)溫濕度后，還應(yīng)同時(shí)測(cè)出室外溫濕度,。一般正壓無塵室比較常見,，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力。浙江溫濕度無塵室檢測(cè)周期

單向流和非單向流組合的氣流,。上海過濾器無塵室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

11.5.1工藝設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能,。11.5.2工藝設(shè)備安裝時(shí)，現(xiàn)場(chǎng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行24h以上,；現(xiàn)場(chǎng)除正常照明外,，應(yīng)配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源,。11.5.3任何用于大設(shè)備的提升,、牽引或定位的**設(shè)備在進(jìn)人潔凈室安裝現(xiàn)場(chǎng)前，應(yīng)徹底清潔,，并應(yīng)檢查有無脫屑,、剝落的表面或不宜進(jìn)入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設(shè)備安裝時(shí)應(yīng)妥善保護(hù)墻壁與地面,，設(shè)備的軟膠輪應(yīng)予包裹,，避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應(yīng)劃傷或污染所在表面,。設(shè)備安裝位置穿越不同潔凈級(jí)別區(qū)域時(shí),，穿越處縫隙應(yīng)用柔性材料填充、密封,，并應(yīng)裝飾處理,。上海過濾器無塵室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)