12.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠,、節(jié)能,、開放和可擴展性,。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào),、供熱、供冷,、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控,。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量,。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時,，電加熱器與風(fēng)機應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng),、超溫斷電保護,；當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水,、無風(fēng)斷電保護,。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風(fēng)機,、水泵等動力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施,。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機,。安徽實驗室潔凈室檢測目的

空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量,；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,；超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,；5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力,、效率應(yīng)相近,；6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近,；7對化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū)),，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效,、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作,。7.4.2風(fēng)機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用；2應(yīng)按潔凈室（區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,，3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定,；4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié)；5應(yīng)便于安裝,、維修及過濾器更換,。滿布或布置率較高時，外殼強度應(yīng)滿足檢修要求,。安徽實驗室潔凈室檢測目的充分利用回風(fēng)量,；選擇低阻力高效率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機等入手,。

4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮，設(shè)計時應(yīng)選用低噪聲設(shè)備,。在某些情況下,，由于技術(shù)或經(jīng)濟上的原因而難以做到時，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施,，如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi),。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切，必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備,，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲,。國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中，不少潔凈室將機械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi),，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低,。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型,、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施,，不合理的設(shè)計方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲,。

D.3.2靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進行,。2儀器宜采用各種型式的微壓計,，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室（區(qū))時,，應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,，并應(yīng)按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計數(shù)器,。2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠,；在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處,，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊,、過濾器框架及其密封處的掃描,。潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。

隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高,，甚至到了理論純水的程度,，尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴格，而且對細菌,、微粒,、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求,；醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水，對水中含菌量,、熱源均有嚴格要求,。除了嚴格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計是保證使用點水質(zhì)的關(guān)鍵,。實踐證明,，采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),，以減少純水在管道內(nèi)的停留時間,，減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響，同時,，基于流水不腐的道理,，高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。中效或高中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段,。北京潔凈設(shè)備3Q驗證潔凈室檢測服務(wù)至上

潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè),、高新技術(shù)密切聯(lián)系在一起。安徽實驗室潔凈室檢測目的

7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級,，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定,。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū)）空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者,，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：1運行班次或使用時間不同,；2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染,，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康,、安全有影響；3對溫,、濕度控制要求差別大,；4潔凈室(區(qū)）內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),，6系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng),。安徽實驗室潔凈室檢測目的