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10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計人必要損耗量確定,并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量,、含油量,、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機,,5含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置,。由HEPA或ULPA與風機組合在一起,構(gòu)成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。半導體凈化車間無塵室檢測
12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求,,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50052的有關(guān)規(guī)定確定,。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。帶電導體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制,、三相三線制,、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng),。12.1.3電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備,,應(yīng)由變壓器或低壓饋電線路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備,、動力設(shè)備,,宜設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設(shè)置的檢修電源,。12.1.4潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)(含制冷機),,應(yīng)由變電所專線供電,。安徽實驗室無塵室檢測評估(潔凈室)等級大體可以分為十萬級、萬級,、千級,、百級、十級,。數(shù)字越小,,潔凈等級越高,。
10.1.1潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體,、常用氣體、干燥壓縮空氣,,其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求,。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng),應(yīng)根據(jù)氣體用量,、氣體品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅顩r等因素,,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體,、特種氣體的制備,、儲存、分配系統(tǒng),,除應(yīng)符合本規(guī)范外,,還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設(shè)計規(guī)范》GB50030等的有關(guān)規(guī)定,。10.1.4潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管,,應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當與水,、電管線共架時,,比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部,,比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水,、電管線上部。
無塵車間工程主要包括無塵車間設(shè)計,、施工和運行管理前后相關(guān)的三個環(huán)節(jié),。質(zhì)量源于設(shè)計,設(shè)計是**,。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程,,包括圍護結(jié)構(gòu)(俗稱“房中房”);空調(diào)凈化系統(tǒng),;供電,、自控,、弱電系統(tǒng);純水,、特氣,、物料供應(yīng)系統(tǒng);廢氣,、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施,。運行管理包括:實時檢測,人員培訓,,設(shè)備維護,,以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。三個環(huán)節(jié)涵蓋了空態(tài),、靜態(tài),、動態(tài)三個占有狀態(tài);環(huán)境受控又融合了風險評估,、生產(chǎn)認證的概念和程序,;加之潔凈技術(shù)跨行業(yè)、跨專業(yè),、跨學科的特點:使之無塵車間工程的難度和復(fù)雜性增加,。因此對于無塵車間工程行業(yè)來說,優(yōu)化設(shè)計,、現(xiàn)場施工環(huán)境的協(xié)調(diào)與管控,、工程相關(guān)技術(shù)細節(jié)的經(jīng)驗積累,對客戶需求的理解和實現(xiàn),,以及對設(shè)計變更的準備和響應(yīng)程度等都是衡量無塵車間施工團隊能力的重要指標,。潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子濃度限值進行劃分的等級標準,。
5.2.1潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程,、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修,、物料運輸?shù)纫蟠_定,。在單向流潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序,、人員流動路線和物料傳輸布置時,應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施,。5.2.2工藝布局應(yīng)避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設(shè)置人員人口、物料入口和設(shè)備出入口,并應(yīng)在各自的人口處設(shè)置相應(yīng)的凈化設(shè)施,。5.2.3在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制,、噪聲控制等要求的前提下,空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機房布置;空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置,??臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度,、濕度、壓力等按要求進行控制,??梢允情_放式或封閉式。上海過濾器無塵室檢測目的
無塵室的潔凈技術(shù)不斷發(fā)展完善,,為更多領(lǐng)域的發(fā)展帶來新的可能,。半導體凈化車間無塵室檢測
11.2.1有風機的凈化設(shè)備當其風機底座與箱體軟連接時,搬運時應(yīng)將底座架起固定,,就位后放下,。11.2.2凈化設(shè)備安裝應(yīng)在建筑內(nèi)部裝飾和凈化空調(diào)系統(tǒng)施工安裝完成,并進行***清掃,、擦拭干凈之后進行,,但與圍護結(jié)構(gòu)相連的設(shè)備或其排風、排水管道必須與圍護結(jié)構(gòu)同時施工時,,與圍護結(jié)構(gòu)應(yīng)圓弧過渡,曲率半徑不應(yīng)小于30mm,,連接縫應(yīng)采用密封措施,,做到嚴密清潔。11.2.1有風機的凈化設(shè)備當其風機底座與箱體軟連接時,,搬運時應(yīng)將底座架起固定,,就位后放下。11.2.2凈化設(shè)備安裝應(yīng)在建筑內(nèi)部裝飾和凈化空調(diào)系統(tǒng)施工安裝完成,,并進行***清掃,、擦拭干凈之后進行,但與圍護結(jié)構(gòu)相連的設(shè)備或其排風,、排水管道必須與圍護結(jié)構(gòu)同時施工時,,與圍護結(jié)構(gòu)應(yīng)圓弧過渡,曲率半徑不應(yīng)小于30mm,,連接縫應(yīng)采用密封措施,,做到嚴密清潔。半導體凈化車間無塵室檢測