潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造,此空間我們稱之為潔凈室,。按照國(guó)際慣例,,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上,。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求,。蔚亞科技第三方檢測(cè)專業(yè)可行,,性價(jià)比佳。江蘇潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上
3.壓差檢測(cè):潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素,。壓差檢測(cè)通過(guò)對(duì)潔凈室各區(qū)域的壓差進(jìn)行測(cè)量,,確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求,從而防止外部污染物進(jìn)入潔凈室,。4.氣流速度檢測(cè):潔凈室內(nèi)的氣流速度對(duì)于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過(guò)快可能導(dǎo)致塵埃粒子飛揚(yáng),,而氣流速度過(guò)慢則可能導(dǎo)致塵埃粒子沉積,。因此,氣流速度檢測(cè)是評(píng)估潔凈室氣流組織情況的重要手段,。5.表面潔凈度檢測(cè):潔凈室內(nèi)的各種表面,,如墻壁、地面,、設(shè)備外殼等,,也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測(cè)通過(guò)對(duì)這些表面的塵埃粒子數(shù)量進(jìn)行檢測(cè),,評(píng)估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況,。浙江實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)技術(shù)好噪音水平檢測(cè)有助于評(píng)估潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境舒適度。
潔凈室,、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,,以排替,、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來(lái)實(shí)現(xiàn)的。為此,,測(cè)定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量,、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性,、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要,。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi),、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi),、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù),。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快,、更有效地排除室內(nèi)工藝過(guò)程產(chǎn)生的污染物,,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。
對(duì)單向流如5級(jí)凈化房間內(nèi)及層流工作臺(tái)測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于10分鐘后開(kāi)始,;對(duì)非單向流如7級(jí),、8級(jí)以上的凈化房間測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于30分鐘開(kāi)始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點(diǎn),,打開(kāi)培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時(shí)再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置,。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束,將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng),。在30-35℃培養(yǎng)時(shí)間不少于48小時(shí),。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對(duì)照試驗(yàn)檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對(duì)照培養(yǎng)。c.菌落計(jì)數(shù)用肉眼直接計(jì)數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏,。若培養(yǎng)皿上有2個(gè)或2個(gè)以上菌落重疊可分辨時(shí)仍以2個(gè)或2個(gè)以上的菌落計(jì)數(shù),。工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔,為送,、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件,。
壓差檢測(cè)要求:(1)靜壓差的測(cè)定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門(mén)全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,,一直檢測(cè)到直通室外的房間,。(3)測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒(méi)有氣流影響的任何地方均可,測(cè)管口面與氣流流線平行,。(4)所測(cè)量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa,。壓差檢測(cè)步驟:(1)先關(guān)閉所有的門(mén)。(2)用微差壓計(jì)測(cè)量各潔凈室之間,、潔凈室走廊之間,、走廊與外界之間的壓差,。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值,。(1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,,應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,,不應(yīng)小于10Pa,。(3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5級(jí)(100級(jí))的單向流潔凈室在開(kāi)門(mén)時(shí),門(mén)內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值,。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量,、至合格為止,。空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,,通??諝庵泻瑝m濃度高則空氣潔凈度低。湖北實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)值得推薦
潔凈室內(nèi)使用的化學(xué)品和消毒劑需符合相關(guān)安全標(biāo)準(zhǔn),。江蘇潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上
B.2.1.2計(jì)數(shù)效率測(cè)量U描述符所用體系的計(jì)數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1],。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū),其中心對(duì)應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計(jì)數(shù)效率為50%,,粒徑示為U,。超微粒徑U的允差為土10%,見(jiàn)圖B.1中的1.1U和0.9U,。這一計(jì)數(shù)效率允差的規(guī)定,,是基于對(duì)擴(kuò)散元件透過(guò)率的計(jì)算,該擴(kuò)散元件對(duì)粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過(guò)率不低于40%,,對(duì)粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過(guò)率不高于60%,。若離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器(CNC)的計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),則不能用其測(cè)量或驗(yàn)證U描述符,。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè),則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來(lái)降低計(jì)數(shù)效率,。此時(shí),,經(jīng)改進(jìn)的離散粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率就成為原計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率與粒徑限制器透過(guò)率的乘積。江蘇潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上