氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),，它是儀器在出廠時經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度,，但平常實際使用時其靈敏度是低于該參數(shù)的，稱之為檢漏靈敏度,。然后在具體檢漏過程中,，氦檢儀的檢漏方法也較多，有噴吹法,、氦罩法,、檢漏盒法、充壓法,、吸嘴法,、累積檢漏法、背壓法,、選擇性抽氣法,、逆流氦檢漏法等眾多形式，可結(jié)合實際情況靈活運用,。如較簡單常用的噴吹法,，與鹵素氦檢儀的真空法類似，將被檢件抽真空,，調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通，隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,，如果存在漏洞,，噴吹一定時間后，氦檢儀即可發(fā)出信號,。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的,。紹興模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi),；2.檢測的介質(zhì)比較常用,，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響,；4.檢測的數(shù)據(jù)精確,；5.自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源,。氫質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供不同的測試方法,，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機械泵,、外置機械泵,、光譜、儀管,、閥組,、檢漏儀電子元件和操作頁面,，以及可選功能組件。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用,，例如,，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機,、火箭,、衛(wèi)星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術(shù),。南京全自動氦質(zhì)譜檢漏儀價錢氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏,。

氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體？1,、氦氣的質(zhì)量輕,，易于穿過漏孔，進(jìn)入系統(tǒng)時流動和擴散快,，因此響應(yīng)快,，檢漏靈敏度高。2,、氦離子質(zhì)荷比小,，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子,、二階碳離子相差較大,，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求,，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙,，從而提高氦離子的傳輸率。3,、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小,，檢漏時本底信號小,。

氦檢儀的撿漏方法有哪些？背壓法（壓氦法）真空模式,。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣,，迫使氦氣進(jìn)入泄漏工件，再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出,?？筛鶕?jù)工件大小定制罐體大小。可檢測工件的整體漏點,。檢測精度較高,。適用行業(yè)：電子元器件，電子封裝等,。氦質(zhì)譜檢漏背壓法優(yōu)點：檢測靈敏度高,；可以進(jìn)行批量化檢測；一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法,。首先將儀器調(diào)整好,，再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣，氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部,，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣,。器件加壓壓力和時間根據(jù)GB2423，2328文件而定,，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空,，待真空抽至設(shè)定值后自動將夾具連至儀器的測量系統(tǒng)。這時壓入存在漏孔器件內(nèi)部的氦氣泄漏出來被檢測,，其漏率在漏率表上顯示出來,。一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數(shù)量的器件,，這一批的總漏率沒超過報廢預(yù)定值,，說明這一批合格；總漏率超過報廢預(yù)定值可以取出一半,，剩下的一半繼續(xù)檢漏,，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件,。氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見故障的處理要求是什么？

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點體現(xiàn)在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,，而且便于攜帶,，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達(dá)數(shù)百帕左右,，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益,。（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點,，量程自動轉(zhuǎn)換,，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機,。整機由微機控制,，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,，可采用干式泵,，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,，提供了有利條件,。氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。紹興推車式氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢

掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術(shù),，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng),。紹興模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家

氦檢儀開機如何操作？1,、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”,，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥,，開漏孔開關(guān),，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥,。2,、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”，燈亮,，擴散泵開始加熱,。3、等20分鐘左右,，擴散泵排氣管應(yīng)熱,，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī),。4,、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī),，表頭指針應(yīng)從左打向右,，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開),，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后,，可啟動燈絲，燈亮,，“發(fā)射電流”有指示,，開、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda),，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔,。將工件用外接泵抽上真空后,，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏,。檢漏完,，關(guān)節(jié)流閥。紹興模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家

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