氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時需注意哪些問題,？1、氦質(zhì)譜檢漏儀實際的檢漏靈敏度比理論計算值低,，一是由于所噴出的氦氣流是散開的,，故摻有一定數(shù)量的空氣，使氦氣的濃度有所降低,。二是噴出的氣流的方向不可能完全對準漏孔的方向,，此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進入漏孔的氦氣濃度降低,。2,、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由近處向遠離檢漏儀處逐點進行噴氦檢查,。3,、檢出的大漏孔要經(jīng)修補后再去找小漏孔。4,、當存在兩個相距很近的可疑的漏孔點時,，應先把一個點蓋住，再對另一點進行噴氦,。5,、當噴在某一點時，如果,，檢漏儀上的顯示有變化,，其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),，它是儀器在出廠時經(jīng)過校準的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度,。紹興國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦檢儀機械泵故障及處理：1、機械泵不動作,，檢查項目有：氦檢儀電源電壓是否正常,，開關(guān)是否打開，繞組是否斷路或接地,，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動),。2、機械泵聲音異常,，檢查油位是否合適,，油質(zhì)是否變壞,，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出,，更換油霧過濾器),。氦檢儀質(zhì)譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動,，在確認機械泵,、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流,，則需要更換離子源,。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,，若開路,，需要更換燈絲，若不開路,，檢查其接線柱與其他接頭是否導通,，消除短路現(xiàn)象。2,、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦檢儀故障自身的本底噪聲,，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決,，只需對故障進行定位,，交由維修處理。無錫臺式氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好氦檢儀噴氦法檢測靈敏度高,，可精確定位,。

氦質(zhì)譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求：1、檢漏靈敏度高,，可以檢出很小的漏孔,；2、反應時間短,，可以提高工作效率,；3、能定位,、定量,，不但能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小,，以便確定是否合乎質(zhì)量要求,；4、能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染,；5,、穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠,；6,、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒,，不腐蝕零件,；7,、檢漏范圍大,，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費用,；8,、檢漏時潔凈無油，滿足一些特殊的要求,。

氦檢儀測量數(shù)據(jù)處理：漏率示值誤差,，①漏率的溫度修正，標準漏孔漏率易受溫度變化影響,，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃,，所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算,，并在測試結(jié)果中加以說明,，修正方法如下:方法一:將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值,；方法二:將標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環(huán)境溫度下,，用標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值。在結(jié)構(gòu)組成上,，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室,、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的；

氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設(shè)備檢漏,。半導體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1,、半導體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺,、電子束蒸發(fā)臺,、ICP、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間,，耗時耗力；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高,、水蒸氣很少,。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染,，對半導體的特性改變并破壞其性能,，因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏；3,、一些半導體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下,，這些氣體不易外泄,，設(shè)備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境,。4,、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏,，芯片就會失效,。綜上所述，氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用,。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,。重慶氦質(zhì)譜檢漏儀供應商家

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器,。紹興國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀定制

影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度的原因是什么,？穩(wěn)定時間對檢測的影響，在充氣的時候,，壓縮空氣會因為受壓狀態(tài)而進入一個密閉容器后,，引起一系列的熱力學-動力學變化。即當一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后,，其壓力會發(fā)生降低,，若此時進行測量，則這種壓力的變化會被視作一個由泄漏所引起的壓力變化,，影響測量結(jié)果的準確性,。這種“沖氣效應”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響,。當充氣壓力或測試容積增加時,，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩(wěn)定時間來消除這種影響,。紹興國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀定制

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