氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),，由于檢漏效率高，簡便易操作,，儀器反應(yīng)靈敏,，精度高，不易受其他氣體的干擾,，在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用,。氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器,。由離子源,、分析器、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩,，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,，這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道,，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測,。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法,。氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用。江蘇真空氦質(zhì)譜檢漏儀品牌

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀,。氦氣的本底噪聲低,，分子量及粘滯系數(shù)小,，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散,；另外,，氦系惰性氣體,，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體,。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng),，從而可知漏孔所在及漏氣量大小,。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏,。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的,。江蘇真空氦質(zhì)譜檢漏儀定制氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀,。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,，一種為常規(guī)檢漏,，另一種為逆擴(kuò)散檢漏,。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測,。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計的,。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的,。對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解,，了解有哪些漏源,，才能快,，準(zhǔn),，狠的完成檢漏,。

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高,、反應(yīng)速度快,、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器,、航空航天,、原子能、發(fā)電廠,、制冷工業(yè)等領(lǐng)域,。檢漏儀在使用過程中,，往往會因為產(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度,，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命,。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的,，掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng),。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種,，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用,。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏,，另一種為逆擴(kuò)散檢漏,。

氦檢儀噪聲是哪兒來的,？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲,，另一個就是本底噪聲,。實際上，目前通過對電子線路的改進(jìn),，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個程度,，因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,，可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度,。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成，與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,，加速電壓,、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性,；2,、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡膠,、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣）,，電離真空計特別是磁放電真空計對氦氣的記憶效應(yīng)（被污染的情況下更為嚴(yán)重）,；3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴(kuò)散與對氦氣抽速的不穩(wěn)定性,；4,、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透,；5、殘余氣體分子對氦離子的散射等等,。這些因素對本底噪聲及靈敏度的影響都很大。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分,，它包括離子源,、聚焦,、質(zhì)量分析器和測量部分,。無錫自動氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

敏度、反應(yīng)時間,、消除時間,、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。江蘇真空氦質(zhì)譜檢漏儀品牌

氦質(zhì)譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求：1、檢漏靈敏度高,，可以檢出很小的漏孔,；2、反應(yīng)時間短,，可以提高工作效率,；3,、能定位,、定量,，不但能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小,，以便確定是否合乎質(zhì)量要求,；4、能無損檢漏,，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；5,、穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠,；6,、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,，無毒,，不腐蝕零件,；7、檢漏范圍大,，從大漏孔到小漏孔都能檢測到,，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用；8,、檢漏時潔凈無油,，滿足一些特殊的要求。江蘇真空氦質(zhì)譜檢漏儀品牌