氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,，比如磁控濺射臺,、電子束蒸發(fā)臺、ICP,、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時間，耗時耗力,；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少,。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染,，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3,、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下,，這些氣體不易外泄,，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境,。4,、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏,，芯片就會失效,。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用,。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏,。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗方法：1,、反應(yīng)時間、消除時間及其測定,，反應(yīng)時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟,，本底訊號為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間,，記為τR,。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后,，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間,，記為τC,。2、工作真空,、極限真空及入口處抽速,，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù),。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空,。利用流量計可測定儀器入口處抽速。浙江多功能氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域：學(xué)?？蒲袉挝?、真空制造、真空鍍膜,、航空航天等,。

氦檢儀常用的幾種檢漏方法：氦質(zhì)譜檢漏方法較多，根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類型,，一種是漏點型,，另一種是漏率型；在實際檢驗過程中,，應(yīng)根據(jù)檢驗?zāi)康倪x擇較合理的方法,，并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法。測定漏點型氦質(zhì)譜檢漏方法,。確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星,、導(dǎo)彈彈體、彈頭,、輸氣管道,、氣罐、油罐,、鍋爐等,。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法,，較常用,、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦,。

如何正確選擇氦檢儀,？（1）儀器的功能是否能滿足檢漏的要求，如有些儀器沒有逆流檢漏功能,，就不合適正壓法檢漏：有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能,，就不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用,；流水線上要求一定的檢漏速度，因此應(yīng)選擇有雙工位的氦檢儀,。（2）儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求,。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高,，就要認(rèn)真選擇,。（3）被檢件如果害怕油的污染，被應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的氦檢儀,。（4）被檢件容積如果較大,，必須選用預(yù)抽泵抽速答的氦檢儀，否則要另配預(yù)抽泵就比較麻煩,。（5）如果被檢對象不固定,，體積時大時小，靈敏度要求時高時低,，就要選擇功能較全,，靈敏度較高，檢漏范圍寬的氦檢儀,。（6）如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時,，就要選擇小型便攜式儀器,。（7）在滿足檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價格是否低,、操作是否建議,、維修是夠方便等方面的問題。氦檢儀是對密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測量的儀器,。

選購氦檢儀的注意事項有哪些,？1.注意檢漏需求和設(shè)備功能的匹配度，根據(jù)現(xiàn)如今產(chǎn)品批量篩選和檢查泄露的需求進(jìn)行研究可以發(fā)現(xiàn),，不同的產(chǎn)品檢漏操作時所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別,，消費(fèi)者在選購氦檢儀時必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測功能需求進(jìn)行挑選，例如儀器需要批量檢查的需求則必須要確保這種氦檢儀的檢查速度,，立足于自身的需求保證這種氦檢儀的功能得以實現(xiàn)才是較正確的挑選方式,；2.注意檢測靈敏度和操作模式特點，消費(fèi)者在挑選這種檢測儀器時,，必須要分析各種檢測儀器的檢測模式,，確保這種氦檢儀以更高的靈敏度和更廣闊的檢測范圍來提高生產(chǎn)的效率，并且在挑選氦檢儀時也必須要根據(jù)該種產(chǎn)品的靈敏度和口碑進(jìn)行分析,，確保這種氦檢儀的精確度更強(qiáng)能夠滿足于不同產(chǎn)品的檢查需求,。氦質(zhì)譜檢漏儀的主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器,。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù),？當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個時候,，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗,。具體的清洗方法如下：先用細(xì)的高標(biāo)號金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙,，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件,；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈,；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥,。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊,、不能受熱,，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低,。如果操作正確,，經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項