氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù),？當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低,，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染,。這個(gè)時(shí)候,，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行徹底的清洗,。具體的清洗方法如下：先用高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙,，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件,；然后用航空汽油或無(wú)水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈,；然后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥,。如果操作正確，經(jīng)過(guò)清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍,。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源,、分析器、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。氦質(zhì)譜檢漏儀原理

氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點(diǎn),，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器,。適用于超高真空系統(tǒng),、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位,，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率,、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源,、分析器,、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。南京多功能氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),。

影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些,？氦檢儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源主要包括8個(gè)方面：第1,，氦檢儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即,，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,，漏入氦氣在途中損失不相等，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入氦檢儀的氦氣量可比性差,。第二,，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算,，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差,。第三，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差,。第四,，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí),，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,，氦檢儀的性能不穩(wěn)定,。第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差,。第八,，之后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質(zhì),、責(zé)任心,、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗(yàn)等。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,，它具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高,，用得普遍的氦檢儀器,。

氦質(zhì)譜檢漏儀的的故障和處理：1、內(nèi)部的泄漏，當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí),，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾,，容易造成誤檢、誤判,。各零部件接口處的密封部位,。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室,、分子泵與質(zhì)譜室,、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封,。采用噴氦法尋找漏點(diǎn),，更換密封件。2,、本底信號(hào)不穩(wěn)定,，1）本底信號(hào)過(guò)高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏,。將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng),，降低環(huán)境本底,。2）本底信號(hào)過(guò)高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染,。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí),，質(zhì)譜室極易被污染,，需返廠進(jìn)行清洗，本底信號(hào)不穩(wěn)定,，檢查電源電壓是否穩(wěn)定,，氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。氦質(zhì)譜檢漏儀被普遍應(yīng)用于壓力容器,、航空航天,、原子能、發(fā)電廠,、制冷工業(yè)等領(lǐng)域,。

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)需注意哪些問(wèn)題？1,、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低,，一是由于所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數(shù)量的空氣,，使氦氣的濃度有所降低,。二是噴出的氣流的方向不可能完全對(duì)準(zhǔn)漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會(huì)使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低,。2,、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由近處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查,。3,、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去找小漏孔。4,、當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的可疑的漏孔點(diǎn)時(shí),，應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住，再對(duì)另一點(diǎn)進(jìn)行噴氦,。5,、當(dāng)噴在某一點(diǎn)時(shí)，如果,，檢漏儀上的顯示有變化,，其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。氦檢儀檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益,。上海移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀原理

氦質(zhì)譜檢漏儀操作注意事項(xiàng)：1,、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時(shí),，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開,。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過(guò)程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個(gè)警告標(biāo)識(shí),。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動(dòng)情況,。以防氣體沖擊帶來(lái)傷害,。3、產(chǎn)品半檢漏時(shí),，按壓住的組件不能挪動(dòng)或者強(qiáng)行扳開,。以防氣體沖擊帶來(lái)傷害。4,、在進(jìn)行重氟油檢漏時(shí),，產(chǎn)品不能直接放進(jìn)油箱中，而應(yīng)把油箱中的托盤拿出,，把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中,。以防止油飛濺燙傷。氦質(zhì)譜檢漏儀原理