任何儀器在制作過程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況,，某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒有太大關(guān)系,，但是汽車管路作為汽車轉(zhuǎn)配中的重要零部件，關(guān)系著車輛和乘員的安全,。良好的密封才能決定儀器的正常使用,，所以檢漏十分重要!傳統(tǒng)的檢漏方法：如加壓水檢法,、壓差法、鹵素檢漏法,，在檢漏速度,、精度及環(huán)保性能上都有一定程度的缺陷，而氦檢漏技術(shù),，是集真空技術(shù),、計(jì)算機(jī)技術(shù)及質(zhì)譜技術(shù)為一體的應(yīng)用技術(shù)，為汽車空調(diào)兩器及管路提供專業(yè)的檢漏方案,。氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場(chǎng)應(yīng)用,，氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究,、鍍膜市場(chǎng)等,。檢漏時(shí)，如果用氦氣噴吹漏孔,，氦氣便通過漏孔進(jìn)入氦檢儀的質(zhì)譜室中,，使氦檢儀的測(cè)量?jī)x表立即靈敏地反應(yīng)出來，達(dá)到了檢漏的目的,。此款氦檢儀堅(jiān)固耐用,，抗震性能極強(qiáng)，可反復(fù)使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率,。氦檢儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作,。氦檢儀同時(shí)擁有兩種檢漏模式，真空模式及正壓模式,，可根據(jù)客戶不同需求,，選擇不同的檢漏方法。溫州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢

氦檢儀具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點(diǎn),。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間,、清零時(shí)間,、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦檢儀的主要性能指標(biāo),。檢測(cè)氣體使用氦氣的主要原因如下：(1)對(duì)人體和自然環(huán)境沒有毒害,；(2)不能燃燒，作業(yè)安全,；(3)惰性氣體,，和被檢測(cè)對(duì)象不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；(4)分子直徑和質(zhì)量小,，容易穿過微小縫隙,，便于檢漏,；(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài)，不會(huì)堵住微漏孔,；(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣,；(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm，容易定點(diǎn)查清漏氣位置,。由于氦氣比空氣輕很多,，向真空腔體噴氦氣檢漏時(shí)要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點(diǎn)所在,。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜，或漏率極小時(shí),，可針對(duì)重點(diǎn)部位用塑料袋套住,，然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣，實(shí)現(xiàn)對(duì)特定重點(diǎn)部位的檢漏,。滁州無損氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢儀由離子源,、分析器、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。

氦檢儀的工作原理：氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測(cè)氣體電離，再利用電磁場(chǎng)將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測(cè),從中檢測(cè)出事先安排的示蹤氦離子,，主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng),、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺(tái)旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空,。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分,，它包括離子源、聚焦,、質(zhì)量分析器和測(cè)量部分,。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級(jí)真空部分，分子泵對(duì)不同的氣體具有不同的壓縮比特性,，氦氣的壓縮比很小,，可以逆著分子泵的抽氣方向流動(dòng)進(jìn)入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,，氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達(dá)收集極,，產(chǎn)生一個(gè)正比于離子數(shù)量的電流信號(hào)，該信號(hào)經(jīng)過放大和處理即為泄漏率,。

氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè)：真空爐,、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器,、超高真空工程,。高能物理：加速器,、束線、同步輻射光源,?？蒲蓄I(lǐng)域：空間模擬系統(tǒng)、試驗(yàn)裝置,、微電子,、表面分析系統(tǒng)。半導(dǎo)體及電子：工藝設(shè)備,、氣路,、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件,、封裝,。汽車制冷：蒸發(fā)器、空調(diào),、管路,。核工業(yè)：核電閥門、核容器,。航空航天：空間模擬器,、航天器、管路,。電廠：管道,、蒸汽發(fā)生器、熱交換器,、冷凝器,。氦檢儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識(shí)別法,、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏等方法相比,，具有檢測(cè)靈敏度高、速度快和適用范圍寬,，此外氦檢儀選擇無毒,、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,，所以安全可靠,。氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體,。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái),、電子束蒸發(fā)臺(tái),、ICP、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,，耗時(shí)耗力；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高,、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染,，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏,；3,、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄,，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4,、芯片封裝,，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效,。綜上所述,，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度,。無錫自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

氦檢儀的型號(hào)較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異,。溫州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢

氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn),，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng),、零部件及元器件的檢漏,。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位，因此具有可在高壓力下檢漏,、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率,、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s,。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源,、分析器、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。溫州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢