在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,，由于冶金、原子能,、電子,、宇航技術(shù)的發(fā)展,，要求制造不同用途的高真空,、超高真空,，甚至極高真空設(shè)備,。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu),，有的體積很大,，達(dá)幾十立方米，甚至數(shù)百立方米,，連接管道和內(nèi)部管道的總長(zhǎng)度可達(dá)幾公里,，焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長(zhǎng)度可達(dá)數(shù)十公里,，必須投人很大力量對(duì)設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏,，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問(wèn)題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來(lái)很大困難,。氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做,？南京真空氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源主要包括幾個(gè)方面：一,、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即,，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,，漏入氦氣在途中損失不相等，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差,。二,、進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算,，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差,。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差,。四,、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。上海臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏,。

氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗(yàn)方法：1,、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間及其測(cè)定,，反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開啟,，本底訊號(hào)為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時(shí),，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時(shí)間,，記為τR。消除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到固定值后,，停止送氦,，其訊號(hào)下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時(shí)間,，記為τC。2,、工作真空,、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空,，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù),。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速,。

氦檢儀測(cè)量數(shù)據(jù)處理：漏率示值誤差,，①漏率的溫度修正，標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響,，溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃,，所以如果實(shí)際環(huán)境溫度和標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中溫度不一致，需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中漏率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來(lái)計(jì)算,，并在測(cè)試結(jié)果中加以說(shuō)明,，修正方法如下:方法一:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率修正至實(shí)際環(huán)境溫度下，用標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值,；方法二:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中環(huán)境溫度下,，用標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值。氦檢儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,，用得較普遍的氦檢儀器,。

氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點(diǎn),，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器,。適用于超高真空系統(tǒng),、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位,，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率,、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源,、分析器,、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見(jiàn)故障的處理要求是什么,？上海全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦

氦檢儀為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,，提供了有利條件。南京真空氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù),？當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染,。這個(gè)時(shí)候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行徹底的清洗,。具體的清洗方法如下：先用細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,，這里不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件,；然后用航空汽油和無(wú)水乙醇清洗,，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥,。整個(gè)清洗過(guò)程中需要注意,，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁,，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確,，經(jīng)過(guò)清洗維護(hù)后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍,。南京真空氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)